SU1521261A1 - Устройство для вывода частиц - Google Patents
Устройство для вывода частицInfo
- Publication number
- SU1521261A1 SU1521261A1 SU4400255/21A SU4400255A SU1521261A1 SU 1521261 A1 SU1521261 A1 SU 1521261A1 SU 4400255/21 A SU4400255/21 A SU 4400255/21A SU 4400255 A SU4400255 A SU 4400255A SU 1521261 A1 SU1521261 A1 SU 1521261A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- extraction
- source
- gas
- holes
- pumping
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Изобретение относится к электронно- и ионно-лучевой технологии и предназначено для вывода из вакуума в атмосферу пучков заряженных частиц. Цель изобретения - снижение мощности откачных средств, обеспечивающих перепад давления между источником частиц и атмосферой. При включении откачки источника 1 частиц из сопла через отверстия 2 вывода пучка в источник начинает поступать газ, давление которого снижается по мере движения к отверстию 2. В результате введения электродов 4, на которые подается напряжение, в области пониженного давления зажигается разряд. Дуга, зажигаемая между электродами, стремится занять устойчивое положение, поэтому стремится к наружному срезу сопла, что приводит к формированию магнитогазодинамической ударной волны, направленной от отверстия вывода пучка, которая блокирует поступающий в источник газа. Благодаря непрерывному горению дуги возникает возможность уменьшить мощность откачных средств. 1 ил.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4400255/21A SU1521261A1 (ru) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | Устройство для вывода частиц |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4400255/21A SU1521261A1 (ru) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | Устройство для вывода частиц |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1521261A1 true SU1521261A1 (ru) | 1998-04-20 |
Family
ID=60528527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4400255/21A SU1521261A1 (ru) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | Устройство для вывода частиц |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1521261A1 (ru) |
-
1988
- 1988-03-29 SU SU4400255/21A patent/SU1521261A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2102384A1 (en) | High Impedance Plasma Ion Implantation Method and Apparatus | |
IT1310029B1 (it) | Vaporizzatore a microplasma pulsato. | |
EP0375338A3 (en) | High intensity radiation apparatus | |
KR960702844A (ko) | 중합체 물질을 대기압하에서 글로우 방전 플라즈마로 처리하는 방법 및 장치(nethod and apparatus for glow discharge plasma treatment of polymer materials at atmospheric pressure) | |
CA1268242A (en) | Apparatus and method for uniform ionization of high pressure gaseous media | |
SU1521261A1 (ru) | Устройство для вывода частиц | |
AU7020891A (en) | Plasma blasting method | |
Bogomolov et al. | The production of ions of solids from the PIG source with an additional anode | |
WO1989010001A3 (en) | Plasma wave tube and method | |
RU2211952C2 (ru) | Импульсный электрический реактивный двигатель | |
Gitt et al. | Gas Discharge Electron Gun Emitting a Beam Into a Medium Pressure Gas. | |
RU1811763C (ru) | Плазменный прерыватель тока | |
SU1641161A1 (ru) | Способ управления срабатыванием газового разрядника | |
SU1461364A1 (ru) | Устройство для транспортировки сильноточного пучка электронов | |
RU2045102C1 (ru) | Плазменный эмиттер ионов | |
Apollonov et al. | Large-aperture CO2 amplifier | |
JPS5765349A (en) | Sprayer | |
HU202021B (en) | Vacuum-erosion plasma accelerator | |
RU2154329C2 (ru) | Устройство создания искусственной молнии | |
RPP et al. | Fluctuations of charged particle and light emission in vacuum arcs | |
SU1759211A1 (ru) | Способ возбуждения разряда в импульсном электроионизационном лазере | |
GB648272A (en) | Improvements in electrical generating apparatus | |
Kaljatsky et al. | On the impulse electrical breakdown of centimeter vacuum gaps | |
SU1121100A1 (ru) | Способ обработки изделий из ферритовых материалов давлением | |
SU505052A2 (ru) | Газоразр дный прибор |