SU1521261A1 - Устройство для вывода частиц - Google Patents

Устройство для вывода частиц

Info

Publication number
SU1521261A1
SU1521261A1 SU4400255/21A SU4400255A SU1521261A1 SU 1521261 A1 SU1521261 A1 SU 1521261A1 SU 4400255/21 A SU4400255/21 A SU 4400255/21A SU 4400255 A SU4400255 A SU 4400255A SU 1521261 A1 SU1521261 A1 SU 1521261A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
extraction
source
gas
holes
pumping
Prior art date
Application number
SU4400255/21A
Other languages
English (en)
Inventor
Л.Н. Орликов
Original Assignee
Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники filed Critical Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники
Priority to SU4400255/21A priority Critical patent/SU1521261A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1521261A1 publication Critical patent/SU1521261A1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Изобретение относится к электронно- и ионно-лучевой технологии и предназначено для вывода из вакуума в атмосферу пучков заряженных частиц. Цель изобретения - снижение мощности откачных средств, обеспечивающих перепад давления между источником частиц и атмосферой. При включении откачки источника 1 частиц из сопла через отверстия 2 вывода пучка в источник начинает поступать газ, давление которого снижается по мере движения к отверстию 2. В результате введения электродов 4, на которые подается напряжение, в области пониженного давления зажигается разряд. Дуга, зажигаемая между электродами, стремится занять устойчивое положение, поэтому стремится к наружному срезу сопла, что приводит к формированию магнитогазодинамической ударной волны, направленной от отверстия вывода пучка, которая блокирует поступающий в источник газа. Благодаря непрерывному горению дуги возникает возможность уменьшить мощность откачных средств. 1 ил.
SU4400255/21A 1988-03-29 1988-03-29 Устройство для вывода частиц SU1521261A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4400255/21A SU1521261A1 (ru) 1988-03-29 1988-03-29 Устройство для вывода частиц

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4400255/21A SU1521261A1 (ru) 1988-03-29 1988-03-29 Устройство для вывода частиц

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1521261A1 true SU1521261A1 (ru) 1998-04-20

Family

ID=60528527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4400255/21A SU1521261A1 (ru) 1988-03-29 1988-03-29 Устройство для вывода частиц

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1521261A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2102384A1 (en) High Impedance Plasma Ion Implantation Method and Apparatus
IT1310029B1 (it) Vaporizzatore a microplasma pulsato.
EP0375338A3 (en) High intensity radiation apparatus
KR960702844A (ko) 중합체 물질을 대기압하에서 글로우 방전 플라즈마로 처리하는 방법 및 장치(nethod and apparatus for glow discharge plasma treatment of polymer materials at atmospheric pressure)
CA1268242A (en) Apparatus and method for uniform ionization of high pressure gaseous media
SU1521261A1 (ru) Устройство для вывода частиц
AU7020891A (en) Plasma blasting method
Bogomolov et al. The production of ions of solids from the PIG source with an additional anode
WO1989010001A3 (en) Plasma wave tube and method
RU2211952C2 (ru) Импульсный электрический реактивный двигатель
Gitt et al. Gas Discharge Electron Gun Emitting a Beam Into a Medium Pressure Gas.
RU1811763C (ru) Плазменный прерыватель тока
SU1641161A1 (ru) Способ управления срабатыванием газового разрядника
SU1461364A1 (ru) Устройство для транспортировки сильноточного пучка электронов
RU2045102C1 (ru) Плазменный эмиттер ионов
Apollonov et al. Large-aperture CO2 amplifier
JPS5765349A (en) Sprayer
HU202021B (en) Vacuum-erosion plasma accelerator
RU2154329C2 (ru) Устройство создания искусственной молнии
RPP et al. Fluctuations of charged particle and light emission in vacuum arcs
SU1759211A1 (ru) Способ возбуждения разряда в импульсном электроионизационном лазере
GB648272A (en) Improvements in electrical generating apparatus
Kaljatsky et al. On the impulse electrical breakdown of centimeter vacuum gaps
SU1121100A1 (ru) Способ обработки изделий из ферритовых материалов давлением
SU505052A2 (ru) Газоразр дный прибор