SU1505565A1

SU1505565A1 - Apparatus for microfiltration of gaseous media

Info

Publication number: SU1505565A1
Application number: SU874189434A
Authority: SU
Inventors: Александр Владимирович Барышев; Татьяна Викторовна Доронина; Вадим Иванович Иванов; Игорь Владимирович Коробов; Дмитрий Борисович Дубовиков
Original assignee: Предприятие П/Я В-8495; Предприятие П/Я Х-5476
Priority date: 1987-02-02
Filing date: 1987-02-02
Publication date: 1989-09-07

Abstract

Изобретение касаетс микрофильтрации газовых сред в трубопроводах технологического оборудовани и может быть использовано на предпри ти х электронной промышленности. Целью изобретени вл етс повышение эффективности процесса микрофильтрации газов при импульсном изменении давлени в магистрали. Поставленна цель достигаетс тем, что фильтрующее устройство дополнительно снабжено дросселирующим элементом 12, установленным между опорной сеткой 6 и выходным отверстием 4 корпуса 2. При этом дросселирующий элемент 12 выполнен в виде полого стакана со щел ми 13 на его боковой поверхности, дно которого обращено к опорной сетке 6. Использование предлагаемого устройства позвол ет уменьшить проскок частиц в газовую линию по сравнению с известным устройством (без дроссел и мембраны) в 3-6 раз при возникновении импульса давлени на входе и в 50-60 раз на выходе фильтра. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.The invention concerns the microfiltration of gaseous media in the piping of process equipment and can be used in the electronics industry. The aim of the invention is to increase the efficiency of the process of microfiltration of gases during a pulse pressure change in the line. The goal is achieved by the fact that the filtering device is additionally equipped with a throttling element 12 installed between the supporting grid 6 and the outlet 4 of the housing 2. In this case the throttling element 12 is made in the form of a hollow cup with slots 13 on its side surface, the bottom of which faces the supporting grid 6. The use of the proposed device allows to reduce the leakage of particles into the gas line compared to the known device (without throttles and membranes) by 3-6 times when a pressure pulse occurs at the inlet and at 50-60 times the output of the filter. 1 hp ff, 1 ill.

Description

7272

7J7J

ел :лate: l

СПSP

9д СЛ9d SL

Изобретение оГноситс к области икрофильтрации газовых сред в трубопроводах технологического оборудовани и может быть использовано на предпри ти х электронной промьшшен- ности.The invention REPRESENTS the field of microscopic filtering of gaseous media in pipelines of process equipment and can be used in electronic industry.

Цель изобретени - повышение эффективности процесса микрофильтрации газов при импульсном изменении давлени в магистрали.The purpose of the invention is to increase the efficiency of the process of microfiltration of gases with a pulse pressure change in the line.

На чертеже представлено устройство , осевой разрез.The drawing shows the device, the axial section.

Устройство дл микрофильтрации газовых сред состоит из корпусных частей 1 и 2, снабженных входным 3 и выходным 4 штуцерами, причем корпусные части снабжены уплотнительным кольцом 5. Между корпусными част ми 1 и 2 размещены опорные сетки 6 с установленным между ними через прокладки 7 фильтрующим элементом 8.Между втулкой 9 и выходным отверстием 4 установлена гибка мембрана 10, прижимаема к опорной сетке 6 пружиной 11. На мембране 10 размещен дросселирующий элемент, выполненный в виде полого стакана 12 со щел ми 13 на боковой поверхности, а корпусна часть 2 имеет седло 14. Кольцо 15 служит дл герметизации входной камеры от выходной. Между седлом 14 и мембраной 10 имеетс кольцевой зазор а - переменное дросселирующее сечение . The device for microfiltration of gaseous media consists of body parts 1 and 2, equipped with inlet 3 and outlet 4 fittings, the body parts provided with a sealing ring 5. Between the body parts 1 and 2 there are support grids 6 with a filter element 8 installed between them Between the sleeve 9 and the outlet 4, a flexible membrane 10 is installed, pressed against the support grid 6 by a spring 11. On the membrane 10 there is a throttling element made in the form of a hollow cup 12 with slots 13 on the side surface, and and part 2 has a seat 14. The ring 15 serves to seal the inlet chamber from the outlet. Between the seat 14 and the membrane 10 there is an annular gap, a is a variable throttling section.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

00

5five

При импульсном изменении давлени на входе или выходе устройства мен етс зазор а дросселирующего элемента , что приводит к постепенному изменению потока газа через фильтрующий элемент, в результате чего уменьшаетс проскок микрочастиц через фильтр.When a pressure pulse changes at the inlet or outlet of the device, the gap in the throttling element changes, which leads to a gradual change in the gas flow through the filter element, as a result of which microparticle slip through the filter is reduced.

Использование предлагаемого устройства позвол ет уменьшить проскок частиц в газовую линию по сравнению с известным устройством (без дроссел и мембраны) в 3-6 раз при возникновении импульса давлени на входе и в 50-60 раз - на выходе фильтра.The use of the proposed device allows to reduce the leakage of particles into the gas line compared to the known device (without throttles and membranes) by 3-6 times when a pressure pulse occurs at the inlet and 50-60 times at the filter output.

Claims

1. A device for microfiltration of gaseous media containing detachable

housing with inlet and outlet openings, as well as supporting grids, between which a filtering element is placed, characterized in that

the goal of increasing the efficiency of the process of microfiltration of gases with a pulse pressure change in the line, it is equipped with a throttling element installed between the reference grid and the housing bore hole.

2. A device according to Claim 1, characterized in that the throttling element is provided with a flexible membrane, which is spring-loaded relative to the outlet orifice, fixed in the housing.