SU149230A1

SU149230A1 - Method for measuring thicknesses, e.g. films

Info

Publication number: SU149230A1
Application number: SU746615A
Authority: SU
Inventors: Ф.П. Денисов
Original assignee: Ф.П. Денисов
Priority date: 1961-10-03
Filing date: 1961-10-03
Publication date: 1961-11-30

Description

Способы измерени толщин, например тонких пленок, известны.Methods for measuring thicknesses, e.g. thin films, are known.

Отличительна особенность описываемого способа состоит в том, что толщину пленки-образца определ ют по соотнощению одновременно измеренных наведенных активностей в пленке-образце и нленке-эталоне известной толщи-ны.A distinctive feature of the described method is that the film thickness of the sample is determined by the ratio of simultaneously measured induced activities in the film of the sample and the film of the standard of known thickness.

Такой способ повыщает точность измерени толщин тонких пленок.This method improves the accuracy of measuring thin film thicknesses.

Сущность описываемого способа основываетс на известной закономерности , св зывающей количество радиоактивных атомов, образовавщихс при действии дерных излучений на вещество, с количеством исходного вещества, т. е. с его толщиной при неизменных остальных параметрах .The essence of the described method is based on a well-known regularity linking the number of radioactive atoms formed by nuclear radiation on a substance with the amount of the initial substance, i.e., its thickness with the remaining parameters unchanged.

Образец-пленка, толщину которой необходимо измерить, и контрольный эталон известной толщины, изготовленный из того же материала, одновременно в одних и тех же геометрических услови х облучаютс в пучке активирующего излучени (протоны, нейтроны,г-кванты). Толщина пленки определ етс по отнощению образовавщихс в результате облучени активностей в образце-пленке и контрольном ее эталоне.A sample film, the thickness of which must be measured, and a reference standard of known thickness, made of the same material, are simultaneously irradiated in the same geometrical conditions in an activating radiation beam (protons, neutrons, r-quanta). The thickness of the film is determined by the ratio of the activities resulting from the irradiation of the activities in the sample film and its control standard.

После облучени активности образца и эталона Пленки измер ютс на одинаковых установках,After irradiating the activity of the sample and the standard, the films are measured at the same settings,

В случае использовани дл активизации пленок частиц большой энергии -необходимо учитывать эффект выбивани активированных дер отдачи из образца и эталона пленки.In the case of using high energy particles for activating the films, it is necessary to take into account the effect of knocking out activated recoils from the sample and film standard.

Дл этого образец и эталон пленки необходимо заключить между двум фольгами, улавливающими вылетающие дра отдачи.To do this, the sample and film standard must be enclosed between two foils that catch flying out recoil drafts.

При этом должна быть определена активность материала пленок.In this case, the activity of the film material should be determined.

№ 149230-2предмет изобретени No. 149230-2 of the invention

Способ измерени толщин, например пленок, отличающийс тем, что, € целью шовышени точности измерени толщин тонких пленок, измер ют одновременно наведенную активность в пленке-образце и пленке-эталоне известной толщины и по их соотношению определ ют толщину пленки-образца.A method for measuring thicknesses, e.g. films, characterized in that, in order to achieve the accuracy of measuring thin film thicknesses, the induced activity in the sample film and the reference film of known thickness are measured simultaneously and the thickness of the sample film is determined by their ratio.