SU1490484A1 - Displacement monitoring method - Google Patents
Displacement monitoring method Download PDFInfo
- Publication number
- SU1490484A1 SU1490484A1 SU874345231A SU4345231A SU1490484A1 SU 1490484 A1 SU1490484 A1 SU 1490484A1 SU 874345231 A SU874345231 A SU 874345231A SU 4345231 A SU4345231 A SU 4345231A SU 1490484 A1 SU1490484 A1 SU 1490484A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- movement
- energy
- changes
- flows
- magnitude
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике. Целью изобретени вл етс повышение точности за счет исключени вли ни изменений коэффициента передачи фотоэлектрического канала и изменений исходных энергетических потоков на результат контрол . Формируют энергетические потоки, сдвинутые в пространстве в направлении перемещени , модулируют их во времени в соответствии с периодическими функци ми, не содержащими четных гармоник и сдвинутыми на четверть периода, и в пространстве в зависимости от величины и направлени перемещени , формируют суммарный энергетический поток, который преобразуют в информационный электрический сигнал. Дополнительный суммарный энергетический поток, получаемый путем отвода части исходных потоков, модулированных во времени, преобразуют в опорный электрический сигнал. По результату сравнени фаз информационного и опорного сигналов суд т о величине и направлении перемещени . Положительный эффект обеспечивают путем модул ции во времени энергетических потоков в соответствии с периодическими функци ми, взаимно сдвинутыми на четверть периода. Если эти функции не содержат четных гармоник, то изменение потоков при перемещении вызывает соответствующий сдвиг фазы информационного сигнала, т.е. осуществл етс преобразование перемещени в сдвиг фазы, который не зависит от абсолютных значений потоков, а зависит только от их соотношени , следовательно, не зависит от коэффициента передачи. Независимость от изменений исходных энергетических потоков обеспечиваетс формированием такого опорного сигнала, фаза которого отслеживает изменени исходных потоков. 1 з.п. ф-лы, 6 ил.This invention relates to instrumentation technology. The aim of the invention is to improve the accuracy by eliminating the influence of changes in the transmission coefficient of the photoelectric channel and changes in the initial energy flux on the result of the control. They form energy flows shifted in space in the direction of movement, modulate them in time in accordance with periodic functions that do not contain even harmonics and are shifted by a quarter period, and in space, depending on the magnitude and direction of movement, form the total energy flow that is transformed into an informational electrical signal. An additional total energy flow, obtained by diverting a part of the initial streams modulated in time, is converted into an electric reference signal. Based on the result of comparing the phases of the information and reference signals, the magnitude and direction of movement is judged. The positive effect is provided by modulating in time the energy fluxes in accordance with periodic functions that are mutually shifted by a quarter of a period. If these functions do not contain even harmonics, then the change in flux during movement causes a corresponding phase shift of the information signal, i.e. the conversion is carried out into a phase shift that does not depend on the absolute values of the flows, but depends only on their ratio, therefore does not depend on the transmission coefficient. Independence from changes in the original energy fluxes is provided by the formation of such a reference signal, the phase of which tracks the changes in the original fluxes. 1 hp f-ly, 6 ill.
Description
1one
(21)4345231/24-28(21) 4345231 / 24-28
(22)16.10,87(22) 10/16/87
(46) 30.06.89. Бюл. № 24 (72) Е.Ф.Товкач(46) 06/30/89. Bul № 24 (72) E.F.Tovkach
(53)531 .7 (088.8(53) 531 .7 (088.8
(56) Авторское свидетельство СССР № 468283, кл. Н 03 М 1/22, 1975.(56) USSR Author's Certificate No. 468283, cl. H 03 M 1/22, 1975.
(54)СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПЕРЕ№ЩЕНИЙ -(57) Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике. Целью изобретени вл етс повышение точности за -счет исключени вли ни изменений коэффициента передачи фо- тозлектрического канала и изменений исходных энергетических потоков(54) METHOD OF CONTROL OF TRANSFER - (57) The invention relates to instrumentation engineering. The aim of the invention is to improve the accuracy by eliminating the effect of changes in the transmission coefficient of the photoelectric channel and changes in the initial energy fluxes.
на результат контрол . Формируют энергетические потоки, сдвинутые в пространство в направлении перемещени , модулируют их во времени в соответствии с периодическими функци ми , не содержап1ими четных гармоник и сдвинутыми на четверть периода, и в пространстве в зависимости от величины и направлени перемещени , формируют суммарный энергетический поток , который преобразуют в информа- ционный электрический сигнал. Дополнительный суммарный энергетический поток, получаемый путем отвода части исходных потоков, модулированных во времени, преобразуют в опорный электрический сигнал. По результату сравнени фаз информационного и опорного сигналов суд т о величине и направлении перемещени . Положительный эффект обеспечивают путем модул ции во времени энергетических потоков в соответствии с периодическими функци ми, взаимно сдвинутыми на четверть периода. Если эти функции не содержат четных гармоник, то изменение потоков при перемещении вы- .зывает соответствующий сдвиг фазы информационного сигнала, т.е. осуществл етс преобразование перемещени в сдвиг фазы, который не зависит от абсолютных значений потоков, а зависит только от их соотношени , следовательно, не зависит от коэффициента передачи. Независимость от изменений исходных энергетических потоков обеспечиваетс формированием такого опорного сигнала, фаза которого отслеживает изменени исходных потоков. 1-з.п.ф-лы, 6 ил.on the result of the control. Energy flows are shifted into space in the direction of movement, modulated in time according to periodic functions that do not contain even harmonics and shifted by a quarter of the period, and in space, depending on the magnitude and direction of movement, form the total energy flow that is transformed into an information electrical signal. An additional total energy flow, obtained by diverting a part of the initial streams modulated in time, is converted into an electric reference signal. Based on the result of comparing the phases of the information and reference signals, the magnitude and direction of movement is judged. The positive effect is provided by modulating in time the energy fluxes in accordance with periodic functions that are mutually shifted by a quarter of a period. If these functions do not contain even harmonics, then the change in flux during movement causes an appropriate phase shift of the information signal, i.e. the conversion is carried out into a phase shift that does not depend on the absolute values of the flows, but depends only on their ratio, therefore does not depend on the transmission coefficient. Independence from changes in the original energy fluxes is provided by the formation of such a reference signal, the phase of which tracks the changes in the original fluxes. 1-hp f-ly, 6 ill.
г g
..
;о;about
оabout
4 00 k44 00 k4
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл бесконтактного контрол линейных перемещений оптическим методом, а также дл автоколлимационного контрол угловых отклонений объектов.The invention relates to instrumentation technology and can be used for contactless control of linear movements by the optical method, as well as for autocollimation control of the angular deviations of objects.
Цель изобретени - повышение точности за счет исключени вли ни изменений коэффициента передачиThe purpose of the invention is to improve accuracy by eliminating the effect of changes in the transmission coefficient.
фотоэлектрического канала и изменений исходных энергетических потоков на результат контрол .photovoltaic channel and changes in the initial energy flux on the result of the control.
На фиг.1 изображена функциональна схема устройства дл осуществлени предлагаемого способа (дл случа автоколлим ционного контрол угловых отклонений объекта); на фиг.2 и фиг.З - сечени энергетических потоков в плоскости модулирующейFigure 1 shows the functional diagram of the device for implementing the proposed method (for the case of autocollimation monitoring of the angular deviations of the object); Fig. 2 and Fig. 3 - cross-sections of energy flows in the plane of modulating
диафрагмы при двух положени х последней; на фиг,А - пространственные модулирующие функции А,(х) и Aj(x); на фиг.5 - позиционна характеристика , соответствующа предлагаемому способу; на фиг.6 - временные диафрагмы , иллюстрирующие предлагаемый способ дл случа модулирующих (во времени) сигналов треугольной формы .the diaphragm at the two last positions; in Fig, A - spatial modulating functions A, (x) and Aj (x); Fig. 5 is a positional characteristic corresponding to the proposed method; 6 shows temporary diaphragms illustrating the proposed method for the case of modulating (in time) triangular-shaped signals.
Способ осуществл ют следующим образом.The method is carried out as follows.
Формируют энергетические потоки, взаимно сдвинутые в пространстве в направлении перемещени .The energy flows are formed mutually shifted in space in the direction of movement.
Модулируют во времени энергетические потоки по законам, выражаемым периодическими функци ми, не содержащими четных гармоник и взаимно сдвинутыми на четверть периода.They modulate in time the energy fluxes according to the laws expressed by periodic functions that do not contain even harmonics and are mutually shifted by a quarter of the period.
Модулируют в пространстве энергетические потоки в зависимости от величины и направлени перемещени .The energy flows are modulated in space, depending on the magnitude and direction of movement.
Формируют суммарный энергетический поток из энергетических потоков, модулированных во времени и в пространстве .Form the total energy flow of energy flows modulated in time and in space.
Формируют информационный сигнал, пропорциональный суммарному энергетическому потоку.Form an information signal proportional to the total energy flow.
Формируют дополнительный суммарны энергетический поток путем отвода чати исходных энергетических потоков, модулированных во времени.An additional total energy flux is formed by diverting the initial energy fluxes modulated in time.
Формируют опорный сигнал, пропорциональный дополнительному суммарному энергетическому потоку.Form a reference signal proportional to the additional total energy flow.
Сравнивают фазу информационного сигнала с фазой опорного и по резуль татам сравнени суд т о величине и направлении перемещени .The phase of the information signal is compared with the phase of the reference signal and the magnitude and direction of movement is judged by the comparison results.
Устройство дл осуществлени предлагаемого способа (дл случа автоколлимационного контрол угловых от- клонений объекта) содержит контрольный элемент 1, вьтолненный, например в виде зеркала, жестко св занный с контролируемым объектом (не показан) автоколлимационную оптическую систем 2 (систему 2), установленную так, что контрольный элемент 1 находитс в поле зрени системы 2, светодели- гель 3, оптически сопр женный с системой 2, источники 4 и 5 излучени и модулирующую диафрагму 6, размеп1ен- ные соответственно в двух сопр женных фокальных плоскост х системы 2, образованных светоделителем 3, фотоA device for carrying out the proposed method (for the case of autocollimating control of angular deviations of an object) contains a control element 1, made, for example, in the form of a mirror, rigidly connected to a controlled object (not shown) of an autocollimation optical system 2 (system 2), installed in such a way that the control element 1 is in the field of view of the system 2, the beam splitter 3, optically conjugated to the system 2, the sources 4 and 5 of the radiation and the modulating diaphragm 6, spaced respectively into two conjugate focal points System 2 planes formed by the beam splitter 3, photos
10ten
ISIS
2020
2525
30thirty
3535
4040
Д5 , у Q в 9048А D5, at Q in 9048A
приемник 7 информационного потока, установленный по ходу информационного потока излучени за модулирующей диафрагмой 6, установленные по ходу опорного потока излучени оптическую систему 8 и фотоприемник 9 опорного потока, генератор 10 модулирующих сигналов, выходы которого подключены соответственно к управл ющим входам источников 4 и 5 излучени , и измеритель 11 сдвига фаз, входы которого подключены соответственно к выходам фотоприемника 7 информационного потока и фотоприемника 9 опорного потока, а выход вл етс выходом устройства..an information flow receiver 7, installed along the radiation information flow behind the modulating aperture 6, an optical system 8 and a reference flow photo-receiver 9, the modulating signal generator 10, the outputs of which are connected to the control inputs of the radiation sources 4 and 5, respectively, and a phase shift meter 11, the inputs of which are connected respectively to the outputs of the information flow photo-receiver 7 and the reference flow photo-receiver 9, and the output is the output of the device ..
Устройство работает следующим образомИсточники 4 и 5 излучени формируют энергетические потоки, которые проход т через автоколлимационную оптическу1р систему 2 (ход лучей показан условно), отражаютс от контрольного элемента 1, вновь проход т через автоколлимационную оптическую систему 2, отражаютс от светоделител 3 и попадают на модулирующую диафрагму 6, на которой строитс автокотг- лимационное изображение источников 4 и 5 излучени (фиг.2). При отклонени х контрольного элемента 1 изображение источников 4 и 5 излучени перемещаютс по модулирующей диафрагме 6, чем достигаетс пространственна модул ци энергетических потоков. Суммарный энергетический поток попадает на фотоприемник 7 информационного потока, который преобразует его в информационный электрический сигнал, фаза которого зависит от углового положени контрольного элемента 1. Немодулированна в пространстве (но модулированна во времени генератором 10 модулирующих сигналов) часть энергетических потоков источников 4 и 5 излучени отражаетс от светоделител 3 и через оптическую систему 8 попсщает на фотоприемник 9 опорного потока, который преобразует дополнительный суммарный энергетический поток в опорный электрический сигнал, с которым сравниваетс информационный сигнал в измерителе 11 сдвига фаз.The device operates as follows. The radiation sources 4 and 5 form energy flows that pass through the autocollimation optical system 2 (the path of the rays is shown conditionally), are reflected from the control element 1, pass through the autocollimation optical system 2 again, are reflected from the beam splitter 3 and fall onto the modulating diaphragm 6, on which an autoglow image of radiation sources 4 and 5 is built (Fig. 2). When the control element 1 deviates, the image of radiation sources 4 and 5 moves along the modulating diaphragm 6, thus achieving spatial modulation of the energy fluxes. The total energy flow enters the photodetector 7 of the information flow, which converts it into an informational electrical signal, the phase of which depends on the angular position of the control element 1. Unmodulated in space (but modulated in time by the generator of 10 modulating signals) is reflected from the beam splitter 3 and through the optical system 8, it is sent to the photodetector 9 of the reference flux, which converts the additional total energy sweat ok into the reference electrical signal with which the information signal in the phase shift meter 11 is compared.
5555
Способ контрол перемещений разработан на основе следующих принципиальных положений.The method of motion control is developed on the basis of the following principal provisions.
/ На фиг.2 изображены сечени энергтических потоков Р, и PJ в плоскости модулирующей диафрагмы 6. Потоки Р и Р разнесены в пространстве на рассто ние Ь. Модул ци потоков в пространстве осуществл етс при взаимном перемещениипотоков Р, и Р относительно диафрагмы 6 по оси X. Заштрихованные части потоков Р, и Р, попадают во внутрь диафрагмы 6 и образуют суммарный поток, который преобразуетс в информационный электрический сигнал, амплитуда которого пропорциональна суммарному потоку. При взаимном перемеп1ении потоков Р и Pj относительно диафрагмы 6 измен етс дол МО1ЧНОСТИ каждого из потоков Р, и Р,, попадаю1цих в диафрагму 6 Распределение потоков Р и Р в диаф- рагме 6 при взаимном перемещении на величину Xj, показано на фиг.З. При данной конфигурации сечений потоков Р и Р пространственные модулирующие функции А(х) и А(х) (зависи- мости потока, попадающего в дифрагму 6, от величины перемещени X) будут иметь вид, показанный на фиг.4, из которого видно, что потоки Р и Р„ в пределах характерного размера а измен ютс при перемещени х линейно соответственно в сторону увеличени и уменьшени ./ Figure 2 shows the cross sections of the energy flows P, and PJ in the plane of the modulating diaphragm 6. The flows P and P are separated in space by the distance b. The flux in space is modulated by moving the streams P and P relative to the diaphragm 6 along the X axis. The shaded parts of the streams P, and P fall inside the diaphragm 6 and form a total flux, which is converted into an informational electrical signal whose amplitude is proportional to the total flow. When reciprocating the flows P and Pj relative to the diaphragm 6, the proportion of each of the flows P and P changes into the diaphragm 6. The distribution of the flows P and P in the diaphragm 6 with mutual displacement by the value Xj is shown in FIG. With this configuration of flow sections P and P, the spatial modulating functions A (x) and A (x) (depending on the flow falling into the diffraction 6 on the magnitude of the displacement X) will have the form shown in Fig. 4, which can be seen that the fluxes P and P "within the limits of the characteristic size a vary with the movements linearly, respectively, upwards and downwards.
Рассмотрим простейшую модулирующую функцию, не содержащую четных гармоник sin cot. Функцией, сдвинутой на четверть периода, йвл етс cos со С. В этом случае потоки и Р будут промодулированы во времени в соответствии с функци ми sin cot и cos cot и в пространстве в соответствии с функци ми А,(х) и А (х) ,Consider the simplest modulating function that does not contain even harmonics sin cot. The function shifted by a quarter of the period is cos with C. In this case, the flows and P will be modulated in time in accordance with the functions of the sin cot and cos cot and in space in accordance with the functions A, (x) and A (x ),
Поскольку модул ци по X и t независима , то величины потоков соответственно равныSince the modulation of X and t is independent, the flux values are respectively
P,(x,t) А((х)-Р. sincot; P() A,j(x) Po. cosQt ,P, (x, t) A ((x) -P. Sincot; P () A, j (x) Po. CosQt,
где P - потоки до модул ции. Суммарный поток равенwhere P is the pre-modulation streams. Total flow is
P(x,t)P, (x,t)+P,,(x.t) P (x, t) P, (x, t) + P ,, (x.t)
Рр А,(Х) sincot + А(х) cosco t.Pp A, (x) sincot + A (x) cosco t.
Сигнал, пропорциональный суммарному потоку,равенThe signal proportional to the total flow is
S(x,t) K-P(xft) - ,(х)« sin cot + А,(х) cos СО t S (x, t) KP (xft) -, (x) "sin cot + A, (x) cos CO t
К- P, - iA,(xK-P, - iA, (x
+ A,CX). -b+ A, CX). -b
АЛх)1ALH) 1
A-;(x)J A -; (x) J
(3)(3)
где К - коэффициент пропорциональности .where K is the proportionality coefficient.
Величина К-Р имеет смысл коэффициента передачи фотоэлектрического канала.The value of K-P has the meaning of the transmission coefficient of the photoelectric channel.
Как видно из выражени (3), сумманый сигнал S(x,t) приобретает сдвиг фазы ID arctg А(х)/А,(х), который не зависит от коэЛфициента передачи KPjj и определ етс только формой модулирующих функций А,(х) и ).As can be seen from expression (3), the summed signal S (x, t) acquires a phase shift ID arctg A (x) / A, (x), which does not depend on the transmission coefficient KPjj and is determined only by the shape of the modulating functions A, (x ) and).
Если функции А,(х) и А(х) представить (в пре делах характерного размера а) в видеIf the functions A, (x) and A (x) are presented (within the characteristic size a) in the form
А,(х)Oh)
Vo(l-cx);Vo (l-cx);
(4)(four)
3535
1+СХ.,.1 + СХ.,.
то Ц arctg then q arctg
при и Cf tj .with and Cf tj.
Представим фазу в виде ( + + uqi , тогда из выражени (5) получим:We represent the phase as (+ + uqi, then from expression (5) we get:
йЦ arctg СХ,iC arctg CX,
ТГ iTTG iT
где7- ACf -- (6)where7- ACf - (6)
5050
Зависимость (6) представл ет собой позиционную характеристику, ее вид представлен на фиг.З.Dependence (6) is a positional characteristic, its appearance is shown in FIG.
Таким образом, способ позвол ет gg получить позиционную характеристику, котора не зависит от величины коэффициента передачи фотоэлектрического канала, чем обеспечиваетс повышение точности контрол перемещений.Thus, the method allows gg to obtain a positional characteristic that does not depend on the magnitude of the transmission coefficient of the photoelectric channel, thus providing an increase in the accuracy of motion control.
Дл осуществлени измерений сдви- га фазы 1 (или &L() необходимо иметь сигнал опорной фазы. Таким сигналом может быть любой исходный сигнал sin Qt. или cos cot. Фаза ( в выражении (4) т определ лась по отношению к сигналу einQt.To measure phase 1 shift (or & L (), you must have a reference phase signal. This signal can be any original sin Qt signal. Or cos cot. Phase (in expression (4), t was determined relative to the signal ein Qt .
Приведенные выше рассуждени основывались на том, что немодулиро- . ванные энергетические потоки одинаков и равны Р{, .Однако реально эти потоки равны Р. Однако реально эти потоки всегда будут не равны и, кроме того могут измен тьс со временем. Эти изменени выэьгаают погрешности в определении перемещени , так как сдвиг фазы Ср в этом случае зависит от немодулированных потоков Р, иThe above reasoning was based on the fact that it is unmodulated. Bath energy flows are the same and equal to P {. However, in reality these flows are equal to P. However, in reality these flows will always be unequal and, moreover, may change with time. These changes result in errors in the definition of displacement, since the phase shift Cp in this case depends on the unmodulated flows P, and
POI ®-4-arctg| tl b (7)POI ®-4-arctg | tl b (7)
в точке Х-0 А,(0) - - А(0), тогдаat the point X-0 A, (0) - - A (0), then
arctgarctg
Pot .Pot.
(8)(eight)
0101
Если отвести одинаковые части потоков до модул ции в пространстве и образовать дополнительный суммарный поток P«(t), то сигнал, пропорциональный дополнительному суммарному потоку, будет равенIf we take the same parts of the streams before modulation in space and form an additional total flow P "(t), then the signal proportional to the additional total flow will be equal to
S (t) - .sinO)t ч- SS (t) - .sinO) t h-S
+ P.coscJt - K.Jp;, + PO I + P.coscJt - K.Jp ;, + PO I
огog
n sin Oat + arctg ) on sin Oat + arctg) o
где К- - коэффициент ответвлени по токов.where K- is the branching factor for currents.
Как видно из выражени (9), фаза сигнала Sa(t) равна фазе сигнала S() в точке X 0. Таким образом, сигнал Sa(t) можно использовать в качестве опорного сигнала, фаза которого мен етс при изменении потоков РО, и Ро4 синхронно с фазой ин- формационного сигнала. Очевидно, что разность фаз информационного и опорнго сигналов не будет зависеть от из с о 15 As can be seen from expression (9), the phase of the signal Sa (t) is equal to the phase of the signal S () at the point X 0. Thus, the signal Sa (t) can be used as a reference signal, the phase of which changes with changing fluxes PO, and Po4 synchronously with the phase of the information signal. It is obvious that the phase difference between the informational and oporno signals will not depend on
2020
2525
30thirty
3535
)40) 40
45 , §0 оменений потоков Р и P.JJ . Это позвол ет дополнительно повысить точность контрол перемещений.45, §0 of the flows of the P and P.JJ. This further improves the accuracy of motion control.
Сущность способа рассмотрена на примере простейшей модулирующей функции sincOt. Тем не менее все рассуждени справедливы и дл периодических сигналов любой формы, не содержащих четных гармоник, У таких сигналов при сдвиге на четверть периода происходит сдвиг фазы всех гармоник (нечетных) также на четверть периода. На фиг.6 приведены временные диаграммы дл случа модулирующих во времени сигналов треугольной формы и перемещени на величину Хд. Пунктиром показан опорный сигнал.The essence of the method is considered on the example of the simplest modulating function sincOt. Nevertheless, all reasoning is also valid for periodic signals of any shape that do not contain even harmonics. Such signals when shifted by a quarter of a period occur a phase shift of all harmonics (odd) also by a quarter of a period. Figure 6 shows time diagrams for the case of triangular-modulating signals in time and displacement by the value of Hd. The dotted line shows the reference signal.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874345231A SU1490484A1 (en) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | Displacement monitoring method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874345231A SU1490484A1 (en) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | Displacement monitoring method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1490484A1 true SU1490484A1 (en) | 1989-06-30 |
Family
ID=21342982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874345231A SU1490484A1 (en) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | Displacement monitoring method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1490484A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2579812C1 (en) * | 2014-11-20 | 2016-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | Method for measurement of displacement (versions) |
-
1987
- 1987-10-16 SU SU874345231A patent/SU1490484A1/en active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2579812C1 (en) * | 2014-11-20 | 2016-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | Method for measurement of displacement (versions) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4091281A (en) | Light modulation system | |
US4461083A (en) | Length or angle measuring instrument | |
US2942118A (en) | Radiant energy angular tracking apparatus | |
US20010013583A1 (en) | Displacement information detection apparatus | |
JPH0132450B2 (en) | ||
JPS5576907A (en) | Optical comparator | |
JPH0130089B2 (en) | ||
JPS6346367B2 (en) | ||
SU1490484A1 (en) | Displacement monitoring method | |
US3859460A (en) | Passive image stabilization system | |
US4231662A (en) | Phase shift correction for displacement measuring systems using quadrature | |
US4822164A (en) | Optical inspection device and method | |
US4158131A (en) | Method and apparatus for automatic parallax determination | |
JPS6260646B2 (en) | ||
US3088033A (en) | Automatic multiple grid scanning tracker | |
US10542203B2 (en) | Encoder and image capturing apparatus | |
SU756193A1 (en) | Photoelectric rotation angle sensor | |
US3853405A (en) | Heat or light source tracking device | |
SU1350496A1 (en) | Photoelectric function displacement converter | |
SU433522A1 (en) | PHOTO-ELECTRICAL PULSE REVERSIBLE MOVING CONVERTER | |
JPS6210641Y2 (en) | ||
JPS58176516A (en) | Optical modulation pattern | |
SU1188535A1 (en) | Optronic device for measuring linear and angular displacements | |
JPH0317210Y2 (en) | ||
JPH0422261Y2 (en) |