SU148927A1 - Прибор дл определени кристаллографической направленности монокристаллов - Google Patents

Description

Известны приборы дл  определени  кристаллографической направленности монокристаллов, в которых определение ориентации монокристаллов производитс  по способу световых фигур. Предлагаемый прибор отличаетс  от известных тем, что, с целью увеличени  точности определени , на пути светового луча смонтирована группа зеркал дл  многократного отражени . Кроме того, прибор универсален, так как позвол ет измен ть измерительную базу «образец-экран. Это достигаетс  тем, что предметный столик смонтирован на шариковых направл ющих .

На чертеже показана схема прибора, иллюстрирующа  его действие . В качестве источника света используют лампу накаливани  / (8 в, 30 вт) с нитью накала, имеющей точечную проекцию на плоскость , перпендикул рную оптической оси. Свет, пройд  конденсатор 2, фокусируетс  на сменной диафрагме 5 величина которой ступенчато регулируетс  от 0,2 до 2 мм. Далее луч света, отразивщись от зеркала 4, направл етс  в длиннофокусный объектив 5 (типа Юпитер-11 фр. 135 мм), после чего суживающийс  пучок света, последовательно отража сь от зеркал 6, 7 и образца 8, попадает на матовый экран 9. Объектив фокусируетс  таким образом, чтобы изображение отверсти  диафрагмы 5 совпало с плоскостью экрана 9. Юстировка установки производитс  с помощью эталонного образца (например, зеркала), устанавливаемого на базировочную плоскость вместо образца 8. При этом изображение в виде свет щейс  точки поворотом зеркала 7 выводитс  в центр экрана. Изображение на матовом экране рассматриваетс  на просвет с помощью зеркала 0 в смотровое окно.

Зеркала б и // и образец 8 укреплены на перемещающейс  по стрелке платформе. На чертеже она .изображена в переднем крайнем положении. При этом рассто ние «образец-экран равно 114,5 мм, а одно деление щкалы, равное 1 мм, соответствует отклонению 15. В

№ 148927- 2 крайнем заднем ноложении нлатформы образец 8 занимает место зеркала 6, а место образца - зеркало П. При этом рассто ние «образец- экран по ходу луча равно 523 мм, а одно деление шкалы в этом случае соответствует отклонению кристаллографической оси на 3 мин.

Шкала экрава имеет боковой подсвет, что делает ее отчетливо различимой при наблюдении.

В установке базировочна  площадка под образец расположена горизонтально , в св зи с этим возрастает точность базировки слитков и упрощаетс  базировка пластин и кристаллов, которые могут просто накладыватьс  на предметное стекло. В этом случае слаба  точка, отра женна  от поверхности стекла,  вл етс  указателем базовой плоскости , а расположение этой точки относительно световой фигуры, получающейс  в результате рассе ни  света образцом, немедленно указывает на совпадение или несовпадение базовой и определ емой кристаллографической плоскостей.

Предлагаемый прибор компактен и удобен в обращении.

Из-за удобного горизонтального расположени  базовой плоскости в установке отказалось возможным применить известную ранее приклейку слитков на предметный столик дл  разрезки на станках абразивной резки полотнами.

Прибор может быть использован в лабораторной практике и в цехах механической обработки полупроводниковых материалов.

Предмет изобретени 

Claims (2)

1.Прибор дл  определени  кристаллографической направленности монокристаллов по способу световых фигур, смонтированный в светозащищенном корпусе, снабженный источником освещени , длиннофокусным объективом, матовым экраном и предметным столиком дл  креплени  измер емых образцов, отличающийс  тем, что, с целью повыщени  точности определени , на пути луча смонтирована система зеркал, многократно отражающа  луч.

2.Форма выполнени  устройства по п. 1, отличающа с  тем, что, с целью изменени  измерительной базы «образец-экран, платформа с предметным столиком смонтирована на щариковых направл ющих .