SU1483301A1

SU1483301A1 - Диффузионно-магниторазр дный индикатор гели

Info

Publication number: SU1483301A1
Application number: SU874309114A
Authority: SU
Inventors: Валентина Трофимовна Кузьмина
Original assignee: Предприятие П/Я А-1614
Priority date: 1987-09-25
Filing date: 1987-09-25
Publication date: 1989-05-30

Abstract

Изобретение относитс к устройствам дл индикации изменени давлени гели и может найти применение при контроле герметичности изделий и систем. Целью изобретени вл етс повышение чувствительности индикатора к изменению давлени гели в испытуемой среде путем уменьшени величины и нестабильности фонового разр дного тока индикатора. Индикатор содержит магниторазр дный насос 1, мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 мембраны и трубопровод 4. Мембрана 2 герметично подсоединена к системе откачки, а нагреватель 3 мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла. Мембрана 2 подсоединена к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого материала с малым коэффициентом теплопередачи. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к испытательной технике, в частности к устройствам для индикации изменения давления гелия, и может быть использовано при контроле герметичности изделий и систем.

Цель изобретения - повышение чувствительности индикатора к изменению давления гелия в испытуемой сре- ю де путем уменьшения величины и нестабильности фонового разрядного тока индикатора,

На чертеже показана схема диффузионно-магниторазрядного индикатора 15 гелия.

Диффузионно-магниторазрядный индикатор гелия содержит магниторазряд— ный насос 1, мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 20 мембраны и трубопровод 4. Мембрана 2 герметично подсоединена к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого теплоизоляционного материала, например 25 кварца или стекла. Нагреватель 3 мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла.

Индикатор работает следующим образом . зо

Включается магниторазрядный насос 1, трубопровод 4 подсоединяется к системе откачки, затем включается нагреватель 3. По достижении установившегося разрядного тока индикатор может быть использован для регистрации изменения давления гелия в испытуемой среде (в атмосфере или вакууме), в частности для контроля герметичности изделий и систем. При этом трубопровод 4 изолируется от системы откачки и соединяется с системой подачи испытуемой среды к мембране 2 индикатора. После регистрации индикатором содержания гелия в _i(испытуемой среде трубопровод 4 изолируется от системы подачи испытуемой среды и соединяется с системой откачки - испытуемая среда удаляется от мембраны 2 индикатора. ,

Повышение чувствительности предлагаемого индикатора обеспечивается герметичным подсоединением мембраны к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого материала с малым коэффициентом теплопередачи (кварц, стекло и др.), а также размещением нагревателя 3 мембраны 2 с внешней стороны мембранного узла, в результате чего уменьшается фоновый разрядный ток индикатора, особенно при повышении температуры нагревателя 3. Уменьшение нестабильности также достигается герметичным подсоединением кварцевой мембраны 2 к системе откачки посредством трубопровода 4, благодаря чему место подсоединения мембраны 2 и трубопровода 4, где расположен нагреватель 3, является своего рода аккумулятором тепла, что способствует стабилизации температуры мембраны 2.

При этом ликвидируется один из источников фонового тока индикатора, поскольку атмосферный воздух удаляется от мембраны 2, проницаемость которой при увеличении температуры резко возрастает не только для гелия, но и для других газов, особенно для водорода и азота.

П р и м е р. К корпусу малогабаритного магнит.оразрядного насоса 1 подсоединен стеклянно-кварцевый переход, к торцу кварцевой трубки которого приварена тонкая (5-10 мкм) кварцевая мембрана диаметром 1,5-2,5 мм. К кварцевой трубке вокруг периметра мембраны герметично подсоединяется, например привариваете^, кварцевая воронка - трубопровод. С внешней стороны мембранного узла на кварцевую трубку, к которой приварена мембрана установлен нагреватель мембраны и на трубопровод в непосредственной близости к мембране намотана нихромовая проволока, через которую пропускается электрический ток.

Чувствительность предлагаемого индикатора (3-8)'10*^ мм рт.ст. при проницаемости мембран (3,5-10)* 10“^ л/с и скорости откачки гелия ·*2Ί0”* л/с.

Таким образом, предлагаемый индикатор позволяет регистрировать изменение давления гелия в испытуемой среде в (1-3)'10⁴ раз меньше по сравнению с известным.

Claims

Формула изобретения

1. Диффузионно-магниторазрядный индикатор гелия, содержащий магниторазрядный насос, соединенный с ним мембранный узел, включающий кварцевую мембрану и нагреватель мембраны, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности индикатора, он снабжен системой откачки, мембрана герметично установлена в мембранном узле, полость его со стороны мембраны, противоположной магниторазрядному насосу, соединена с системой откачки, а нагреватель мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла.
2. Индикатор по п.1, о т л и чающийся тем, что соединение полости с системой откачки выполнено посредством трубопровода из термостойкого теплоизоляционного материала. .