SU1483301A1 - Диффузионно-магниторазр дный индикатор гели - Google Patents
Диффузионно-магниторазр дный индикатор гели Download PDFInfo
- Publication number
- SU1483301A1 SU1483301A1 SU874309114A SU4309114A SU1483301A1 SU 1483301 A1 SU1483301 A1 SU 1483301A1 SU 874309114 A SU874309114 A SU 874309114A SU 4309114 A SU4309114 A SU 4309114A SU 1483301 A1 SU1483301 A1 SU 1483301A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- membrane
- indicator
- pumping system
- heater
- pipeline
- Prior art date
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к устройствам дл индикации изменени давлени гели и может найти применение при контроле герметичности изделий и систем. Целью изобретени вл етс повышение чувствительности индикатора к изменению давлени гели в испытуемой среде путем уменьшени величины и нестабильности фонового разр дного тока индикатора. Индикатор содержит магниторазр дный насос 1, мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 мембраны и трубопровод 4. Мембрана 2 герметично подсоединена к системе откачки, а нагреватель 3 мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла. Мембрана 2 подсоединена к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого материала с малым коэффициентом теплопередачи. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к испытательной технике, в частности к устройствам для индикации изменения давления гелия, и может быть использовано при контроле герметичности изделий и систем.
Цель изобретения - повышение чувствительности индикатора к изменению давления гелия в испытуемой сре- ю де путем уменьшения величины и нестабильности фонового разрядного тока индикатора,
На чертеже показана схема диффузионно-магниторазрядного индикатора 15 гелия.
Диффузионно-магниторазрядный индикатор гелия содержит магниторазряд— ный насос 1, мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 20 мембраны и трубопровод 4. Мембрана 2 герметично подсоединена к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого теплоизоляционного материала, например 25 кварца или стекла. Нагреватель 3 мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла.
Индикатор работает следующим образом . зо
Включается магниторазрядный насос 1, трубопровод 4 подсоединяется к системе откачки, затем включается нагреватель 3. По достижении установившегося разрядного тока индикатор может быть использован для регистрации изменения давления гелия в испытуемой среде (в атмосфере или вакууме), в частности для контроля герметичности изделий и систем. При этом трубопровод 4 изолируется от системы откачки и соединяется с системой подачи испытуемой среды к мембране 2 индикатора. После регистрации индикатором содержания гелия в i (испытуемой среде трубопровод 4 изолируется от системы подачи испытуемой среды и соединяется с системой откачки - испытуемая среда удаляется от мембраны 2 индикатора. ,
Повышение чувствительности предлагаемого индикатора обеспечивается герметичным подсоединением мембраны к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого материала с малым коэффициентом теплопередачи (кварц, стекло и др.), а также размещением нагревателя 3 мембраны 2 с внешней стороны мембранного узла, в результате чего уменьшается фоновый разрядный ток индикатора, особенно при повышении температуры нагревателя 3. Уменьшение нестабильности также достигается герметичным подсоединением кварцевой мембраны 2 к системе откачки посредством трубопровода 4, благодаря чему место подсоединения мембраны 2 и трубопровода 4, где расположен нагреватель 3, является своего рода аккумулятором тепла, что способствует стабилизации температуры мембраны 2.
При этом ликвидируется один из источников фонового тока индикатора, поскольку атмосферный воздух удаляется от мембраны 2, проницаемость которой при увеличении температуры резко возрастает не только для гелия, но и для других газов, особенно для водорода и азота.
П р и м е р. К корпусу малогабаритного магнит.оразрядного насоса 1 подсоединен стеклянно-кварцевый переход, к торцу кварцевой трубки которого приварена тонкая (5-10 мкм) кварцевая мембрана диаметром 1,5-2,5 мм. К кварцевой трубке вокруг периметра мембраны герметично подсоединяется, например привариваете^, кварцевая воронка - трубопровод. С внешней стороны мембранного узла на кварцевую трубку, к которой приварена мембрана установлен нагреватель мембраны и на трубопровод в непосредственной близости к мембране намотана нихромовая проволока, через которую пропускается электрический ток.
Чувствительность предлагаемого индикатора (3-8)'10*^ мм рт.ст. при проницаемости мембран (3,5-10)* 10“^ л/с и скорости откачки гелия ·*2Ί0”* л/с.
Таким образом, предлагаемый индикатор позволяет регистрировать изменение давления гелия в испытуемой среде в (1-3)'104 раз меньше по сравнению с известным.
Claims (2)
- Формула изобретения1. Диффузионно-магниторазрядный индикатор гелия, содержащий магниторазрядный насос, соединенный с ним мембранный узел, включающий кварцевую мембрану и нагреватель мембраны, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности индикатора, он снабжен системой откачки, мембрана герметично установлена в мембранном узле, полость его со стороны мембраны, противоположной магниторазрядному насосу, соединена с системой откачки, а нагреватель мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла.
- 2. Индикатор по п.1, о т л и чающийся тем, что соединение полости с системой откачки выполнено посредством трубопровода из термостойкого теплоизоляционного материала. .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874309114A SU1483301A1 (ru) | 1987-09-25 | 1987-09-25 | Диффузионно-магниторазр дный индикатор гели |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874309114A SU1483301A1 (ru) | 1987-09-25 | 1987-09-25 | Диффузионно-магниторазр дный индикатор гели |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1483301A1 true SU1483301A1 (ru) | 1989-05-30 |
Family
ID=21328902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874309114A SU1483301A1 (ru) | 1987-09-25 | 1987-09-25 | Диффузионно-магниторазр дный индикатор гели |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1483301A1 (ru) |
-
1987
- 1987-09-25 SU SU874309114A patent/SU1483301A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Голоскоков В.В.,. Кузьмина В.Т.в Левина Л.Е., Панюшкин В.В . и Пименов В.В. Магниторазр дный индикатор гели . ПТЭ, 1973, № 1, с.175- 178. Spies J. Vakuum Technik. 1966, 15, 8, с.185-191. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0352371B1 (en) | Detector for helium leaks | |
CN101084433B (zh) | 选择性气敏传感器 | |
SU1483301A1 (ru) | Диффузионно-магниторазр дный индикатор гели | |
GB932012A (en) | High vacuum pumping systems | |
GB763689A (en) | Improvements in or relating to methods of and apparatus for detecting leaks in vacuum systems | |
GB606722A (en) | An improved leakage indicating device for gas filled electric cables, pipe lines, orthe like | |
EP0177788A3 (en) | Pressure checking system for continuously controlling vehicle tyre pressures | |
GB1476015A (en) | Pressure and temperature sensors | |
Meissner | Liquid Nitrogen Cold Traps | |
Harrison et al. | Nickel Diffusion Leak for Hydrogen | |
SU862001A2 (ru) | Реле разности давлений | |
CN211877302U (zh) | 一种气压表校准装置 | |
SU1117472A1 (ru) | Датчик давлени | |
US2718904A (en) | Pressure sensitive diaphragm assembly | |
WO2022219674A1 (ja) | 水素リークディテクター | |
SU842435A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
US2596744A (en) | Moisture indicating instrument | |
FR2207598A5 (en) | Mass spectrometry leak testing - is rapid and does not impose mechanical stresses of vacuum testing | |
SU787923A1 (ru) | Теплоэлектрический манометр | |
SU979921A1 (ru) | Реле перепада давлений | |
SU688825A1 (ru) | Массовый расходомер | |
Young | Ultrahigh Vacuum Leak Sealing Material | |
SU767583A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
SU976317A1 (ru) | Устройство дл контрол герметичности изделий,заполн емых индикаторным газом | |
JPS60131814A (ja) | 液体ヘリウムの移送方法 |