SU1471176A1

SU1471176A1 - Программный регул тор расхода

Info

Publication number: SU1471176A1
Application number: SU874303851A
Authority: SU
Inventors: Григорий Николаевич Шатило; Виктор Семенович Незнамов; Николай Анатольевич Тарасенко
Original assignee: Предприятие П/Я В-2190
Priority date: 1987-08-31
Filing date: 1987-08-31
Publication date: 1989-04-07

Abstract

Изобретение относитс к нанесению покрытий в вакууме ,в частности, к устройствам подачи и регулировани натекани газа в вакуумную камеру. Цель изобретени - расширение области применени . В программном регул торе расхода последовательно установленны св занные с исполнительным блоком 1 первый регулируемый дроссель 5, электропневмоклапан 7, второй регулируемый дроссель 6 и пневмоклапан 4. Блок 2 сравнени состоит из усилителей 8 и 9, задатчика 17 давлени и посто нного дроссел . Программный блок 1 состоит из электропневмоклапанов 18-22 и N+1 регулируемых дросселей 11-16. Применение изобретени позволит осуществить гибкую автоматизированную подачу компонентов газа, повысить износостойкость. 3 ил.

Description

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, в частности к устройствам подачи и регулирования натекания газа в вакуумную $ камеру.

Целью изобретения является расширение области применения.

На фиг. 1 показана принципиальная схема устройства; на фиг. 2 - уст- 10 ройство, общий вид; на фиг. 3 - то же, вид сбоку.

Регулятор состоит из программного блока 1 регулятора давления, блока 2 сравнения, исполнительного блока 3, 15 пневмоклапана 4, регулируемых дросселей 5 и 6,электропневмоклапана 7. Программный блок 1 содержит сумматор, включающий два усилителя 8 и 9, постоянный 10 и регулируемые 11 — 16дрос-20 сели, задатчик 17 давления, электропневмоклапаны 18-22. Выход регулятора-натекателя соединен с вакуумной камерой и отрицательной камерой усилителя 8,. а через контакты пневмо- 25 клапана 4, регулируемый дроссель 8, электропневмоклапан 7 и регулируемый дроссель 5 - с выходом регулятора (исполнительный блок) давления. Вход регулятора 1 соединен с трубопрово- 30 дом подачи газа. Камера управления регулятора 1 соединена с выходом усилителя 8 и отрицательной камерой усилителя 9. Каналы питания усилителей 8 и 9 через постоянный дроссель 10 35 соединены с задатчиком 17 давления и отрицательной камерой усилителя 8, а через регулируемый дроссель 10 с коллектором, соединяющим регулируемые дроссели 12-16. Выходы регу- до лируемых дросселей 12-16 соединены с элёктропневмоклапанами 18-22, Все элементы регулятора, кроме регулятора 1 давления, установлены на панели 23 (фиг. 3). Последняя склеена 45 из двух листов органического стекла. В одном листе профрезерованы каналы связи. На панели 23 со стороны элементов установлены штуцеры: 24 - соединения с вакуумной камерой; 25 и 26 для соединения с регулятором 1 давления и 27 - для подключения воздуха. Воздух очищается фильтром 28.

Выход регулятора подключен к вакуумной камере 29. 55

Регулятор работает следующим образом.

Необходимый газ подается в вакуумную камеру 29 через регулятор 1 дав-.

ления, регулируемый дроссель 5, электропневмоклапан 7, регулируемый дроссель 6 и параллельно дросселю 6 через контакты пневмоклапана 4. Во время подачи газа абсолютное давление в камере находится в пределах 1,33-1,33-10 *Па, а относительное давление перед дросселем поддерживается пневмоклапаном 4 и равно нулю. Дроссель 6 настраивается при минимальном расходе газа, принятом за единицу, на перепад давлений, равный разнице между абсолютным и относительным давлениями. При отсутствии расхода газа давление перед дросселем 6 равно давлению в вакуумной камере. При расходе газа через дроссель 6, большем, чем принятый за единицу, перед дросселем появляется избыточное давление, которое открывает контакт реле 4 и газ подается дополнительно через сопло реле 4.

Таким образом, независимо от расхода газа избыточное давление перед дросселем постоянное и равно нулю, лишь при расходе газа меньшем, чем принятое за единицу, или при отсутствии расхода - меньше нуля. Регулируемый дроссель 5 настраивается на пропускную способность газа, равную минимальному расходу газа, принятому за единицу, при-минимальном давлении перед дросселем·, принятом за диапазон изменения давления регулятора 1. Давление газа на регуляторе 1 повторяет выходное давление воздуха блока 3 сравнения. Давление на выходе последнего устанавливается сумматором, состоящим из усилителей 8 и 9, и зависит от суммы давлений, поданных на их входы от вакуумной камеры, задатчика 17.и программного блока!, состоящего из регулируемых дросселей 11-16. От проводимости дросселя 11 зависит коэффициент усиления блока сравнения. Дроссель 12 наст раивается таким образом, что при отключенном электропневмоклапане 18 и соединенном с атмосферой дросселе 12 давление на выходе усилителя 8 равно нулю, а при включенном электропневмоклапане 18 (дроссель 12 перекрыт) давление на выходе усилителя 8 равно давлению, принятому за единицу. Про водимость остальных дросселей сумма тора настраивается в соотношении 1:2:4:8:16. При последовательном включении электропневмоклапанов 181471176 на выходе усилителя 8 повышается давление в соотношении, соответствующем проводимостям дросселей на их входе, а следовательно, повышается и давление газа перед дросселем 5.

Таким образом, при включении электропневмоклапанов 18-22 по программе, заданной в двоичном коде, получают соответствующее давление газа перед дросселем 5, а следовательно, и расход. Количество регуляторов подключают по необходимому количеству компонентов газа при нанесении покрытий. Изменяя программу, можно получить любое соотношение компонентов, а также изменение соотношений в любом промежутке времени технологического процесса.

Предлагаемая конструкция программного регулятора расхода позволяет осуществить гибкую автоматизированную подачу газа, улучшить качество износостойких покрытий.

Claims

Формула изобретения

Программный регулятор расхода, содержащий программный блок, блок сравнения, исполнительный блок и канал обратной связи,.о т л и чающий с я тем, что, с целью расширения области применения, в него введены первый регулируемый дроссель, электропневмоклапан, второй регулируемый дроссель и пневмоклапан, при этом канал питания электропневмоклапана через первый регулируемый дроссель соединен с выходом исполнительного блока, а его выход - с управляющей камерой пневмоклапана и через контакт пневмоклапана параллельно второму регулируемому дросселю - с выходом регулятора, блок сравнения состоит из двух усилителей, постоянного дросселя и задатчика давления, при этом каналы питания усилителей через постоянный дроссель соединены с задатчиком давления, подключенным к первой отрицательной камере второго усилителя, положительная камера которого соединена с выходом первого усилителя, причем управляющая камера исполнительного блока соединена с выходом второго усилителя и с отрицательной камерой,первого усилителя, выход регулятора соединен каналом обратной связи с второй отрицательной камерой второго усилителя, а канал питания исполнительного блока соединен с газовой магистралью, программный блок состоит из N электропневмоклапанов по числу разрядов входного сигнала и N+1 регулируемых дросселей, при этом каналы питания усилителей через (N+l)-ft регулируемый дроссель связаны с коллектором, который через соответствующий N-й регулируемый дроссель подключен к выходам соответствующих электропневмоклапанов.

Εϊ

Фиг. J