SU1462099A1 - Фотоэлектрическое устройство дл наведени на границу света и тени - Google Patents

Фотоэлектрическое устройство дл наведени на границу света и тени Download PDF

Info

Publication number
SU1462099A1
SU1462099A1 SU874207939A SU4207939A SU1462099A1 SU 1462099 A1 SU1462099 A1 SU 1462099A1 SU 874207939 A SU874207939 A SU 874207939A SU 4207939 A SU4207939 A SU 4207939A SU 1462099 A1 SU1462099 A1 SU 1462099A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
elements
light
photomatrix
screen
photoelectric device
Prior art date
Application number
SU874207939A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Михайлович Весельев
Виктор Дмитриевич Лизунов
Вера Сергеевна Блохина
Original Assignee
Сибирский государственный научно-исследовательский институт метрологии
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сибирский государственный научно-исследовательский институт метрологии filed Critical Сибирский государственный научно-исследовательский институт метрологии
Priority to SU874207939A priority Critical patent/SU1462099A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1462099A1 publication Critical patent/SU1462099A1/ru

Links

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

Из.обретеиие относитс  к контрольно-измерительной технике, в частности к устройствам дл  наведени  на границу света и тени, и предназначено дл  высокоточной регистрации положени  границы объекта при линейно- угловых измерени х. Целью изобретени   вл етс  повьшение чувствительности за счет обеспечени  достаточной плос

Description

Фиг, г
U620
кости засветки фотоэлемента, повышение точности и расширение пределов измерений за счет возможности использовани  чувствительных элементов с малыми поперечными размерами. Дл  этого перед квадратной фотоматрицей устанавливают фотошаблон 9 с четырьм  пр моугольными проз1 ачными элементами 14 и 15 в непрозрачном экране 13. Два элемента 14 равны по величине и расположены симметрично относительно оси фотошаблона 9 и обеспечивают идентификацию углового положени  граница 16 объекта. Два других элемента 15 имеют равные площади и соотношени  сторон а,1/2аа, b,2b, и при включении по фотобалансной схеме обеспечивают измерение линейного смещени  границы 16. 2 ил.
1
Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, а именно IK устройствам дл  наведени  на грани- ijty света и тени, и предназначено дл  высокоточной регистрации положени . Границы объекта при линейно-угловых Измерени х.
Цель изобретени  - повышение чувствительности за счет обеспечени  достаточной плоскости засветки при малой величине элементов фотошаблона, Повьш1ение точности и расширение преде Лов измерений за счет возможности использовани  чувствительных элементов с малыми поперечными размерами.
На фиг. 1 изображена оптическа  фхема фотоэлектрического устройства; Йа фиг. 2 - фотоматрица (а) и фото- фаблон (б).
Устройство содержит последовательно установленные источник 1 света с конденсором 2 и поворотной призмой 3, управл емый предметный стол 4, Объектив -5, светоделит ельный кубик 6 дл  образовани  двух, изображений объекта измерени , одно из которых наблюдаетс  через окул р 7 в плоскости сетки 8, а другое изображение фокусируетс  в плоскость фотошаблона 9, наход щегос  в контакте с фотоматрицей 10, позихщей 11 обозначен исследуемый объект.
Фотоматрица 10 состоит из четырех фоточувствительных квадратных элементов 12 с равными площад ми, электрически изолированными друг от дрзг- га и включенными между собой попарно по фотобалансной схеме. Фотошаблон 9 Вьтолнен в виде непрозрачного экрана 13 с пр моугольными прозрачными
0
5
0
5 0
5
0
элементами 14 и 15, позицией 16 обозначена светоконтрастна  граница объекта 11 .
Параллельные элементы 14 равны по площади, длине и ширине и предназначены дл  определени  угловой координаты границы 17. Элементы 15 расположены перпендикул рно элементам 14, предназначены дл  наведени  на границу света и тени, при этом размеры сторон вертикальных элементов вьтол- нены в соотношении
а, 1/2 а-,; , ; , где а и b - длина и ширина элементов 15. .
Устройство работает следующим образом .
Объект 11 измерени  устанавливаетс  на управл емый предметный стол 4, освещаетс  источником 1 света и фокусируетс  в плоскости сетки 8, наблюдаемой .через окул р 7.
Фотоматрица и визирна  сетка расположены на одинаковом рассто ний от светоделительной грани светодели- тельного кубика 6.
При помощи управл емого стола 4 изображение объекта измерени  устанавливают параллельно йгтрихам сетки 8 в центре перекрести  визуально, а затем устанавливают изображение светоконтрастной границы 16 объекта перпендикул рно элементам 14, по сигналу рассогласовани  координатной фотоматрицы 10 перемещают изображение, светоконтрастной границы 16 объекта 11 по фотошаблону 9 в сторону вертикальных элементов 15 и при пересече- .НИИ границы изображени  16 линии симметрии элементов 15 сигналы, снимаемые с элементов координатной фотоматрицы 10, включенных по фотобалансной схеме, станов тс  равными. Этот момент принимаетс  за момент наведени  на границу света и тени. При сме щении границы изображени  объекта в одну или другую сторону от линии симметрии возникает Ъигнал рассогласовани .

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Фотоэлектрическое устройство дл  наведени  на границу света и тени, coдepжa9 ee последовательно установленные источник света, предметный стол, выполненный с возможностью пе-- ремещени  в своей плоскости, объектив , фотоматрицу с четырьм  фоточувствительными элементами, электрически изолированными друг от друга и
    включенными по фотобалансной схеме, отличающеес  тем, что, с целью повышени  чувствительности, точности и расширени  пределов измерени  в области малых поперечных размеров , оно снабжено фотошаблоном в виде непрозрачного экрана с четырьм  прозрачными элементами пр моугольной
    формы, расположенными соответственно в каждом из квадратов экрана, два элемента равны по величине и расположены симметрично относительно одной из осей экрана, два других элемента
    равны по площади и их соответствующие стороны удовлетвор ют соотношени м
    1
    ., 2
    где а и b - длина и ширина элементов, а фотоматрица выполнена четырехквад- ратной и размещена в контакте с фотошаЬлоном .
    а,, , a«b.
    10 3
    4
SU874207939A 1987-03-10 1987-03-10 Фотоэлектрическое устройство дл наведени на границу света и тени SU1462099A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874207939A SU1462099A1 (ru) 1987-03-10 1987-03-10 Фотоэлектрическое устройство дл наведени на границу света и тени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874207939A SU1462099A1 (ru) 1987-03-10 1987-03-10 Фотоэлектрическое устройство дл наведени на границу света и тени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1462099A1 true SU1462099A1 (ru) 1989-02-28

Family

ID=21290001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874207939A SU1462099A1 (ru) 1987-03-10 1987-03-10 Фотоэлектрическое устройство дл наведени на границу света и тени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1462099A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР 968601, кл. G 01 В 9/04, 1982. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4303340A (en) Optical micrometer measuring system
RU64757U1 (ru) Оптическое угломерное устройство
US3068741A (en) Objective reading of scales
SU1462099A1 (ru) Фотоэлектрическое устройство дл наведени на границу света и тени
US4557602A (en) Edge detector in optical measuring instrument
SE7708731L (sv) Sett och anordning for automatisk pavisning och verdering av optiska sprickmarkeringar pa ytan av arbetsstycken
US4907882A (en) Surveying instrument for automatically taking measurements
US3496364A (en) Linear encoder having a fringe pattern produced by optical imaging
CN108088372B (zh) 一种基于新型计量光栅的位移测量系统及方法
RU98596U1 (ru) Двухканальный цифровой автоколлиматор
US3557458A (en) Coding theodolite
EP0019941B1 (en) Reduction projection aligner system
US3591297A (en) Photometric instrument
JPH0346774B2 (ru)
SU600388A1 (ru) Имитатор плоскости дл аттестации плоскомеров
JPS55154402A (en) Shape measuring apparatus
RU2037772C1 (ru) Проекционно-измерительное устройство
SU968601A2 (ru) Фотоэлектрическое устройство дл наведени на границу света и тени
US3791742A (en) Coordinate position measuring by imaging a movable grating onto a parallel reference grating
SU498591A1 (ru) Трехканальный фотоэлектрический микроскоп
SU953457A1 (ru) Оптико-электронное измерительное устройство
US3899247A (en) Optical position indicator
SU469943A1 (ru) Устройство дл контрол качества и юстировки зрительных труб
SU827972A1 (ru) Устройство дл измерени линейныхРАзМЕРОВ (ЕгО ВАРиАНТы)
SU698374A1 (ru) Фотоэлектрический импульсный датчик перемещений