SU1452018A1 - Vacuum robot - Google Patents
Vacuum robot Download PDFInfo
- Publication number
- SU1452018A1 SU1452018A1 SU874290981A SU4290981A SU1452018A1 SU 1452018 A1 SU1452018 A1 SU 1452018A1 SU 874290981 A SU874290981 A SU 874290981A SU 4290981 A SU4290981 A SU 4290981A SU 1452018 A1 SU1452018 A1 SU 1452018A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- gear
- platform
- vacuum
- chamber
- movement
- Prior art date
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к вакуумной технике и предназначено дл автоматизации операций загрузки, транспортировани и передачи изделий в вакуумном оборудовании. Цель изобретени - повышение точности позиционировани платформы робота, его надежности и снижение материалоемкости. При транспортировке и передаче издели движение от привода 18 через фрикционную муфту 58 передаетс на вакуумный ввод 17, шестерню 52 и верхний венец шестерни 32 одного блока шестерен, от которого далее вращаетс шестерн 51 с барабаном 48, от которого через тросиковую систему движение передаетс на захват 13. Линейное перемещение захвата происходит от рейки 25. При достижении позиции перегрузки издели ползун 24 останавливаетс упором 56. Дл фиксации углового положени захвата 13, а следовательно, и платформы 21, прижим 60 механизма 19 фиксации воздействует на платформу 21. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.The invention relates to vacuum technology and is intended to automate the loading, transportation and transfer of products in vacuum equipment. The purpose of the invention is to improve the positioning accuracy of the robot platform, its reliability and the reduction of material intensity. When transporting and transferring the product, the movement from the actuator 18 through the friction clutch 58 is transmitted to the vacuum input 17, gear 52 and the upper crown of the gear 32 of one gear unit, from which gear 51 with drum 48 then rotates, and through which the movement is transmitted to the gripper 13 The linear movement of the gripper occurs from the slat 25. When the product reaches the overload position, the slider 24 stops by the abutment 56. To fix the angular position of the gripper 13, and hence the platform 21, the clamp 60 of the impact locking mechanism 19 tvuet on platform 21. 2 ZP f-ly, 3 ill.
Description
Изобретение относитс к вакуумной технике и предназначено дл автоматизации операций загрузки, транспортировани и передачи изделий в вакуумном оборудовании .The invention relates to vacuum technology and is intended to automate the loading, transportation and transfer of products in vacuum equipment.
Цель изобретени - повышение точности позиционировани платформы, надежности и снижение материалоемкости.The purpose of the invention is to improve the positioning accuracy of the platform, reliability and reduced material consumption.
На фйг. 1 показан вакуумный робот, фун- кциональна схема; на фиг.2 - то же, кине-. мётическа схема; на фиг.З - кинематиче- : ека схема захвата и тросиковой передачи управлени захватом.On fig. 1 shows a vacuum robot, the functional scheme; figure 2 - the same, kine-. magic scheme; in FIG. 3, a kinematic-: eka capture and wire transfer control circuit of the capture.
Вакуумный робот состоит из герметичной цилиндрической камеры 1, на боковой поверхности которой расположены радиальные каналы 2 с фланцами манипул тора 3, размещенного внутри камеры 1, шлюзовых устройств 4 и 5 дл загрузки и выгрузки изделий, шиберных затворов 6, средств 7 вакуумировани и системы 8 управлени (ЭВМ).The vacuum robot consists of an airtight cylindrical chamber 1, on the side surface of which there are radial channels 2 with flanges of the manipulator 3 located inside the chamber 1, sluice devices 4 and 5 for loading and unloading products, slide gates 6, means 7 for evacuating and control system 8 (COMPUTER).
Манипул тор 3 размещен на верхнем съемном фланце 9 камеры 1 и состоит из t механизма 10 углового перемещени и механизма 11 линейного перемещени изде- ЛИЯ, блока 12 шестерен, захвата 13, тросиковой системы 14 перемещени захва- та, вакуумного ввода 15 и привода 16 дл передачи движени механизма 10 и 11, вакуумного ввода 17 и привода 18 дл переда- чи движени тросиковой системе 14 управлени захватом, механизма 19 и привода 20 дл фиксации углового положени механизма 10, выполненного в виде платформы 21, свободно вращающейс на шариковых опорах 22, установленных на фланце 9.The manipulator 3 is located on the upper detachable flange 9 of the camera 1 and consists of t angular movement mechanism 10 and linear motion device 11, 12 gear unit, gripper 13, gripping movement system 14, vacuum inlet 15 and actuator 16 for transferring the mechanism 10 and 11, the vacuum inlet 17 and the actuator 18 for transmitting the movement to the gripping control cable 14, the mechanism 19 and the actuator 20 for fixing the angular position of the mechanism 10, made in the form of a platform 21, freely rotating on ball bearings 22, on the flange 9.
Механизм 11 линейного перемещени представл ет собой корпус 23, жестко за- ,крепленный на платформе 21, в направл ющих которого установлены подвижно телескопический ползун 24, состо щий из двух подвижных и кинематически св зан- ных между собой секций - рейки 25 и каретСОThe linear movement mechanism 11 is a body 23, rigidly fixed, mounted on a platform 21, in the guides of which a movable telescopic slider 24 is installed, consisting of two movable and kinematically interconnected sections — the slats 25 and the socket CO.
сwith
ел ю о ate you oh
,-л, l
соwith
ки 26. При этом рейка 25 перемещаетс в направл ющих корпуса 23, а каретка 26 перемещаетс в направл ющих рейки 25. Кинематическа св зь между рейкой и кареткой осуществл етс с помощью гибкой ленты 27, нат нутой на два вращающих- с ролика 28 и 29, установленных на противоположных концах рейки 25..Концы ленты жестко закреплены нв переднем конце корпуса 23, а середина ленты жестко закреплена на заднем .конце каретки 26.26. In this case, the rail 25 moves in the guides of the housing 23, and the carriage 26 moves in the guide rails 25. The kinematic connection between the rail and the carriage is carried out by means of a flexible belt 27 pulled over two rotating rollers 28 and 29 mounted on opposite ends of the rail 25 .. The ends of the tape are rigidly fixed to the front end of the housing 23, and the middle of the tape is rigidly fixed to the rear end of the carriage 26.
На каретке 26 имеетс упор 30, ограничивающий перемещение рейки 25 в крайнем заднем положении.On the carriage 26, there is a stop 30, limiting the movement of the rail 25 in the rearmost position.
Блок 12 шестерен выполнен в виде шестерен 31 и 32, расположенных на платформе 21 с возможностью свободного вращени относительно нее и друг друга на шариковых опорах, установленных на платформе 21.The gear unit 12 is made in the form of gears 31 and 32 arranged on the platform 21 with the possibility of free rotation relative to it and each other on the ball bearings mounted on the platform 21.
I Шестерн 31 служит дл передачи движени механизмам углового и линейного перемещени . Нижний венец шестерни 31 кинематически соединен через зубчатые ко-. леса 33,34 и 35 с рейкой 25, а верхний венец шестерни 31 кинематически соединен с шестерней 36 выходного вала 37 вакуумного ввода 15.I Gear 31 serves to transmit motion to angular and linear movement mechanisms. The lower crown of the gear 31 is kinematically connected through the gear boxes. scaffolding 33.34 and 35 with rail 25, and the upper crown gear 31 is kinematically connected with the gear 36 of the output shaft 37 of the vacuum input 15.
Вакуумный ввод 15 выполнен на основе волновой герметичной передачи 38. Входной вал 39 волновой передачи 38 соединен через редуктор 40 с взлом шагового двигател 41, число оборотов которого контролируетс датчиком 42.The vacuum inlet 15 is made on the basis of a wave hermetic transmission 38. The input shaft 39 of the wave transmission 38 is connected via a reduction gear 40 to the breaking of a stepper motor 41, the speed of which is monitored by the sensor 42.
Механизм захвата 13 расположен на переднем конце каретки 26 и состоит из двух самоцентрирующих губок 43 и 44, соединенных между собой пружиной 45 и ку- . лачком 46.The gripping mechanism 13 is located at the front end of the carriage 26 and consists of two self-centering jaws 43 and 44 connected by a spring 45 and a ku-. Lakom 46.
Губки 43 и 44 и кулачок 46 установлены свободно на ос х. На выступах губок 43 и 44 установлены ролики 47. Ролик 47 губки 43 кинематически соединен с кулачком 46 и роликом 47 губки 44.The lips 43 and 44 and the cam 46 are mounted freely on the axles. On the protrusions of the jaws 43 and 44, the rollers 47 are mounted. The roller 47 of the jaw 43 is kinematically connected to the cam 46 and the roller 47 of the jaw 44.
Тросикова система 14 перемещени захвата 13 состоит из барабана 48 и тросика 49. соедин ющего барабан 48 с захватом 13. Барабан 48 жестко установлен на оси 50, свободно вращающейс в подшипниках, расположенных на корпусе 23. На оси 50 жестко закреплена шестерн 51, кинематически св занна с нижним венцом шестер-. ни 32 блока шестерен. Верхний венец шестерни 32 соединен с шестерней 52 .выходного вала вакуумного ввода 17 движени .The cable movement system 14 of the gripper 13 consists of a drum 48 and a cable 49. connecting the drum 48 with the gripper 13. The drum 48 is rigidly mounted on an axis 50, freely rotating in bearings located on the housing 23. On an axis 50, gear 51 is rigidly fixed zanna with the lower crown gears-. nor 32 gear units. The upper crown of the gear 32 is connected to the gear 52 of the output shaft of the motion vacuum input 17.
Тросик49 выполнен в виде двух симметрично расположенных ветвей, последовательно нат нутых на свободно вращающиес ролики 53 и 54 и охватываю0The cable 49 is made in the form of two symmetrically arranged branches, successively tensioned on freely rotating rollers 53 and 54 and spanning
5five
00
5five
00
5five
00
5five
00
5five
щих барабан 48 и кулачок 46 захвата 13. Ролик 53 установлен на переднем конце корпуса 53, а ролик 54 установлен на заднем конце рейки 25 ползуна 24. Концы тросика 49 соедин ютс с помощью устройства 55, обеспечивающего нат жение и ограничение перемещени тросика 49 за счет упоров 56, установленных на корпусе 23.The drum 48 and the cam 46 of the gripper 13. The roller 53 is mounted on the front end of the housing 53, and the roller 54 is mounted on the rear end of the rail 25 of the slide 24. The ends of the cable 49 are connected using a device 55, which provides tension and restriction of the movement of the cable 49 due to stops 56 mounted on the housing 23.
Устройство 65 выполнено в виде, например , двух винтов, ст гиваемых одной общей гайкой, при этом один винт имеет левую резьбу, а второй - правукз. На головке винта закреплен конец тросика. Ст жна гайка движетс между упорами 56.The device 65 is made in the form of, for example, two screws, which can be fastened with one common nut, one screw having a left-hand thread, and the second with a right-handed screw. On the screw head is fixed end of the cable. The fixed nut moves between the stops 56.
Наличие петли тросика 49 между роликами 53 и 54 обеспечивает точную компенсацию изменени пр молинейных участков длины тросика между роликом 54 и кулачком 46 при перемещении каретки 26 и рейки 25 вперед.The presence of a loop of cable 49 between rollers 53 and 54 provides accurate compensation for changes in the straight sections of the cable length between roller 54 and cam 46 as the carriage 26 and rail 25 move forward.
Входной вал 57 вакуумного ввода 17 движени св зан с приводом 18 посредством фрикционной муфты 58, момент которой немного больше момента, создаваемого тросиковой системой управлени механизмом захвата и может регулироватьс с помощью пружины 59. Наличие фрикционной муфты позвол ет выполн ть угловое перемещение платформы 21, обеспечива при этом независимое управлени механизмом захвата. При наличии жесткой св зи входного вала 57 с приводом 18 возникла бы необходимость обеспечени синхронной работы гфивода захвата-и привода 16 дл передачи движени механизмам 10 и 11, что конструктивно трудно реализовать.The input shaft 57 of the vacuum motion input 17 is coupled to the actuator 18 by means of a friction clutch 58, the moment of which is slightly greater than the moment created by the gripping control system of the cable and can be adjusted by means of a spring 59. The presence of the friction clutch allows for angular movement of the platform 21, providing however, independent control of the capture mechanism. If there is a rigid connection between the input shaft 57 and the actuator 18, it would be necessary to ensure synchronous operation of the gripping device of the actuator 16 for transmitting the movement to the mechanisms 10 and 11, which is structurally difficult to implement.
Механизм 19 дл фиксации углового положени платформы 21 выполнен в виде. сильфонного ввода поступательного движени , на конце штока которого имеетс прижим 60, вступающий в контакт с платформой при перемещении штока вниз.The mechanism 19 for fixing the angular position of the platform 21 is designed as. a bellows input of translational motion, at the end of the rod of which there is a clamp 60 coming into contact with the platform when the rod moves downwards.
Шлюзовые устройства 4 и 5 дл загрузки и выгрузки изделий состо т из кассеты- накопител 61, содержащей корпус 62 и магазин 63 с крышкой 64 камеры 65, механизма 66 шагового перемещени с клапаном 67 и механизма 68 дл фиксации и уплотнени корпуса 62 кассеты-накопител 6 Г.The lock devices 4 and 5 for loading and unloading products consist of a storage cartridge 61, comprising a housing 62 and a magazine 63 with a lid 64 of the chamber 65, a stepping mechanism 66 with a valve 67 and a mechanism 68 for fixing and sealing the housing 62 of the storage cassette 6 G.
Шиберные затворы 6 и средства 7 ваку- умировани (агрегат дл предварительной откачки и вакуумна запорно-регулирую- ща арматура, устройство дл напуска инертного газа) имеют электроприводы дл их закрыти и открыти каналов и трубопровода (не показан).Spray valves 6 and vacuuming means 7 (pre-pumping unit and vacuum shut-off and control valves, inert gas inlet device) have electric actuators for closing them and opening channels and pipelines (not shown).
Агрегат дл предварител1 ной откачки выполнен на основе турбомолекул рного и форвакуумного насосов и может работать вThe unit for pre-pumping is made on the basis of a turbomolecular and forevacuum pumps and can operate in
автоматическом режиме с управлением от ЭВМ.automatic mode with computer control.
На камере 1 манипул тора, камере 63 шлюзового устройства в соответствующих местах установлены датчики измерени вакуума (не показаны), соединенные с вакуумметрами , имеющими выход на ЭВМ.On the manipulator chamber 1, the sluice device chamber 63, vacuum gauges (not shown), connected to vacuum gauges with computer access, are installed at appropriate places.
Работа вакуумного робота включает следующие основные стадии: установка устройства и механизмов в исходное положение , загрузка изделий в вакуумный объем, транспортирование и передача изделий, выгрузка и сн тие кассеты-накопител , .The operation of the vacuum robot includes the following main stages: installation of the device and mechanisms into the initial position, loading of products into the vacuum volume, transportation and transfer of products, unloading and removal of the storage cartridge,.
При включении робота его устройства м механизмы в соответствии с заданной про- граммой автоматически устанавливаютс в исходное положение в следующей последовательности:When the robot turns on its device, the mechanisms in accordance with a given program are automatically reset to their initial position in the following sequence:
Ползун манипул тора идет в заднее крайнее положение, после этого платформа 21 расфиксируетс , поворачиваетс по углу до исходного положени и фиксируетс (например , на линию дл загрузки) прижимом 60 механизма 19. Захват находитс в положении закрыто.The slider of the manipulator goes to the rear extreme position, after which the platform 21 unlocks, rotates in an angle to the initial position and is fixed (for example, to the line for loading) by the clamp 60 of the mechanism 19. The gripper is in the closed position.
При повороте манипул тора шестерна 51 может обкатыватьс относительно заторможенной усилием фрикционной муфты шестерни 32, но так как. при закрытии захвата устройство 54 доходит до упора 56, то сама шестерн 51 не вращаетс , а перемещаетс по радиусу, враща при этом входной вал 75 вакуумного ввода 17 через шестерни 32 и 52. В случае углового перемещени манипул тора при раскрытом захвате шестерн 51 обкатываетс относительно шестерни 32, осуществл смыкание захватных губок 43 и 44 через барабан 48 и кулачок 46. При закрытии захвата и одновременном достижении устройством 55 упора 56 шестерн 51 прекращает обкатыватьс и начинает вращать входной вал 57 вакуумного ввода 17.When the manipulator is rotated, the gear 51 may run in relative to the friction clutch of the gear 32 braked by the force, but since. when the gripper is closed, the device 54 reaches the stop 56, then the gear 51 itself does not rotate, but moves radially, while rotating the input shaft 75 of the vacuum input 17 through the gears 32 and 52. In the case of an angular displacement of the manipulator with the gripper open, gear 51 rolls around relative to gear 32, engaging the gripping jaws 43 and 44 through the drum 48 and the cam 46. When the gripper is closed and the stop 55 simultaneously reaches the stop 56, the gear 51 stops rolling and starts to rotate the input shaft 57 of the vacuum inlet 17.
Таким образом, наличие кинематической св зи вакуумного ввода движени 17с- приводом 18 посредством регулируемой фрикционной муфты 58 и.снабжение троси- ковой системы управлени устройством на- .т жени и ограничени перемещени тросика в крайних положени х захвата, обеспечивает закрытие захватных губок (если они были открыты) или сохранение закрытого состо ни захватных губок при угловом перемещении манипул тора, что исключает возможность потери подложки при транспортировании и, следовательно повышает надежность работы тросиковой системы управлени захватом. Усили , прикладываемые к тросцку, незначительны и определ ютс усилием, создаваемым фрикционной муфтой.Thus, the presence of a kinematic connection of the vacuum input of the movement 17c-driven 18 by means of an adjustable friction clutch 58 and the supply of the cable control system of the device for stretching and limiting the movement of the cable to the extreme positions of the gripper, ensures the closing of the gripping jaws (if were opened) or the preservation of the closed state of the gripping jaws during the angular displacement of the manipulator, which eliminates the possibility of losing the substrate during transportation and, consequently, increases the reliability of the cable run Topics seizure control. The forces applied to the cable are insignificant and are determined by the force generated by the friction clutch.
45201864520186
При линейном перемещении манипул тора усилие воздействи на тросик практически отсутствует и не зависит от состо ни захвата, так как происходит перет жка петли 5 тросика между роликами 53 и 54 за счет того, что увеличение длины тросика между кулачком 46 и роликами 54 компенсируетс соответственным уменьшением длины тро- сика между роликами 54 и роликами 53. Наличие петли тросика Позвол ет исключить усилие воздействи на кулачок 46 при линейных перемещени х манипул тора. Таким образом, состо ние захвата сохран етс неизменным. 5Загрузочное устройство 4, механизм 66When the manipulator is linearly moved, the force exerted on the cable is practically absent and does not depend on the gripping state, since the cable loops 5 are overloaded between the rollers 53 and 54 due to the fact that an increase in the length of the cable between the cam 46 and the rollers 54 is compensated by a corresponding decrease in the length of the rope between the rollers 54 and the rollers 53. The presence of a loop of a cable allows to eliminate the force exerted on the cam 46 during linear displacements of the manipulator. Thus, the capture state is kept unchanged. 5 Loading device 4, mechanism 66
шагового перемещени устанавливаютс в верхнем крайнем положении, клапан 67 герметично закрывает входное окно устройства , а механизм фиксации и зажима 20 кассеты-накопител находитс в положений зажатоthe step movement is set in the upper extreme position, the valve 67 tightly closes the entrance window of the device, and the locking mechanism and the clamp 20 of the storage cassette are in the clamped positions
Шиберные затворы закрываютс . Включаютс средства вакуумной откач- ки, обеспечивающие требуемый вакуум в ка- мерах робота.Gate valves are closed. Vacuum pumping facilities are included to provide the required vacuum in the chambers of the robot.
Загрузка изделий начинаетс с установки кассет-накопителей на устройство 4, одновременно на устройство 5 устанавливаетс кассета-накопитель без изделий. 30После установки и поджима корпусовThe loading of the products begins with the installation of the cassette drives on the device 4, and simultaneously the device 5 is equipped with a cassette drive without products. 30After installing and pressing the enclosures
кассет-накопителей осуществл етс откачка объема между крышкой 64 кассеты-накопител и клапаном 67.the storage cassettes pump the volume between the storage cassette cover 64 and the valve 67.
При достижении требуемого вакуума в .J2 этом объеме производитс откачка кассеты- накопител 61 и после окончани зтого процесса магазин 63 с издели ми с помощью механизма 66 шагового перемещени опускаетс на линию передачи издели на ма- Q нипул торе. На этом стади загрузки изделий в вакуумный объем заканчиваетс . Транспортирование и передача изделий начинаетс с работы захвата, включаетс привод 18, движение от привода через фрикционную муфту 58 передаетс на в ак- кумный ввод 17, шестерню 52 и верхний венец- шестерни 32. От нижнего венца шестерни 32 привод тс во вращение шестерн 51 и жестко св занный с ней посредством оси 50 барабан 48. От барабана через тро- 0 сиковую систему 14 движение передаетс на кулачок 46 захвата 13, а от него на губки 43 и 44. Захват раскрываетс , устройство 54 доходит до упора 56, даетс команда на перемещение ползуна вперед в камеру за- 5 грузочного устройства 4.Upon reaching the required vacuum in .J2 this volume, the storage cartridge 61 is pumped out and after the end of this process, the product magazine 63 is lowered by means of the stepwise movement mechanism 66 to the product transfer line on the manipulator. At this stage, the loading of products into the vacuum volume is completed. Transportation and transfer of products begins with the gripping operation, drive 18 is turned on, movement from the drive through friction clutch 58 is transmitted to battery input 17, gear 52 and upper crown-gear 32. Gear 51 and the the drum 48 is rigidly connected to it by the axis 50. From the drum through the torsion system 14, the movement is transmitted to the cam 46 of the gripper 13, and from it to the jaws 43 and 44. The gripper opens, the device 54 comes to the stop 56, a command is given to move the slide forward into the chamber in 5 g operating device 4.
Перемещение ползуна осуществл етс . от двигател 41 через волновую герметичную передачу 38, шестерню 36, блок.12 шестерен , шестерни 33,34 и 35, и рейку 25. ОтThe slider is moved. from the engine 41 through the wave hermetic transmission 38, gear 36, block 12 gears, gears 33.34 and 35, and the rail 25. From
рейки 25 через гибкую ленту 27 движение передаетс на каретку 26, Точное перемещение ползуна обеспечиваетс числом им- , пульсов, подаваемых, на шаговый двигатель 41. Вращение двигател контролируетс датчиком 42, жестко св занным с валом двигател через шестерни редуктора 40, который выполн ет роль обратной св зи .slats 25 through the flexible belt 27, the movement is transmitted to the carriage 26. The exact movement of the slider is provided by the number of pulses fed to the stepper motor 41. The rotation of the motor is monitored by sensor 42 rigidly connected to the motor shaft through gears 40, which acts as feedback.
При достижении позиции перегрузки ползун останавливаетс , привод 18 управлени захватом включаетс в обратную сторону , кулачок освобождает губки, и они закрываютс под действием пружины 45, зажима изделие, устройство 55 доходит до упора 56,When the overload position is reached, the slider stops, the gripper control drive 18 is turned in the opposite direction, the cam releases the jaws, and they close under the action of the spring 45, clamping the product, the device 55 reaches the stop 56,
Включаетс в обратную сторону двигатель 41 и ползун возвращаетс в исходное положение, перемеща изделие в камеру манипул тора . Перемещение производитс по ислу импульсов с контролем датчиком 42.The motor 41 is turned in the opposite direction and the slider returns to its original position, moving the product into the manipulator chamber. Movement is carried out by impulses with control of the sensor 42.
Операци передачи издели из магазина на манипул тор закончена.The operation of transferring the product from the store to the manipulator is complete.
Транспортирование издели в технологический модуль начинаетс с расфиксации платформы 21, дл чего включаетс привод 20, который, перемеща прижим 60 вверх, исключает его контакте платформой, Фикса- ци и расфиксаци платформы контролируетс датчиками положени , установленными на приводе (не показаны).Transportation of the product to the process module begins with unlocking the platform 21, for which the actuator 20 is turned on, which, by moving the presser 60 up, eliminates its contact with the platform, the fixation and unlocking of the platform is monitored by position sensors mounted on the actuator (not shown).
После расфиксации платформ включаетс шаговый двигатель 41 дл перемещений ползуна к крайнему заднему положению, но поскольку в исходном заднем положении движение рейки 25 ограничено упором 30 в корпус ползуна 24, вращение шестерни 31 приводит к повороту блока 12 вместе с платформой 21 и ползуном манипул тора на направл ющих качени . Точность поворота может определ тьс числом шагов движени двигател 41 и контролируетс датчиком 42.After unlocking the platforms, the stepping motor 41 is turned on to move the slider to the extreme rear position, but since in the initial back position the movement of the rail 25 is limited by the abutment 30 in the slider body 24, rotation of gear 31 causes the block 12 to rotate with the platform 21 and the manipulator slider rolls. The turning accuracy can be determined by the number of steps of the engine 41 and is monitored by the sensor 42.
Подаетс команда на фиксацию платформы . По окончании фиксации платформы открываетс шиберный затвор 6, включаетс шаговый двигатель 41 и ползун перемещаетс в технологический модуль.A command is issued to fix the platform. When the platform is fixed, the gate valve 6 opens, the stepper motor 41 is turned on, and the slider moves into the process module.
При достижении позиции передачи издели на внутрикамерное устройство технологического модул после совмещени и закреплени издели .на внутрикамерном устройстве захват манипул тора раскрываетс и ползун возвращаетс в камеру манипул тора . Шиберный затвор закрываетс .Upon reaching the position of transferring the product to the intra-chamber device of the technological module, after the product is combined and secured on the intra-chamber device, the gripper of the manipulator opens and the slider returns to the manipulator chamber. The slide valve closes.
Стади транспортировани и передачи издели в технологический модуль закончена .The step of transporting and transferring the product to the process module is complete.
После проведени технологического процесса шиберный затвор открываетс , ползун с раскрытым захватом перемещаетAfter carrying out the process, the slide gate opens, the slide with the open grip moves
с в камеру технологического модул , производитс передача издели на манипул тор и перемещение его в камеру мaf ипyл тopa, Затем манипул тор с изделием поворачиваетс в горизонтальной плоскости на определенный угол напротив следующего технологического модул , после чего выполн ютс операции по переда- че издели в этот модуль.The device is transferred to the manipulator and moved to the camera and the torus, then the manipulator with the product is rotated in a horizontal plane at a certain angle opposite the next technological module, and then the device is transferred to this product. module.
Таким образом осуществл етс транспортирование и передача изделий по всем технологическим модул м с переносом в магазин , установленный в устройстве 5 дл выгрузки.In this way, transportation and transfer of products through all technological modules with transfer to the magazine, installed in the unloading device 5, is carried out.
После заполнени магазина 63 на позиции выгрузки он с помощью механизма шагового перемещени 66 поднимаетс в крайнее верхнее положение. При этом про- изводитс герметизаци вакуумных объемов кассеты-накопител и камеры 65 за счет крышки 64 и клапана 67.After the magazine 63 is filled in the unloading position, it is raised to its extreme upper position using the stepping mechanism 66. In this case, the vacuum volumes of the storage cartridge and chamber 65 are sealed by means of a cover 64 and a valve 67.
С помощью устройства дл напуска газа в объем кармана напускаетс инертный газ до атмосферного давлени , за счет чего осуществл етс прижим крышки 64 к корпусу 62 кассеты-накопител . Срабатывает устройство фиксации и зажима кассеты-накопител , котора направл етс дл дальнейшей обработки.With the aid of a device for injecting gas into the volume of the pocket, inert gas is injected to atmospheric pressure, due to which the cover 64 is pressed against the storage cassette housing 62. The locking and clamping device of the storage cassette is activated, which is sent for further processing.
Кассета-накопитель замен етс по мере полной выгрузки изделий из магазина. Съем свободной кассеты аналогичен описанному .The cassette is replaced as soon as the goods are completely unloaded from the store. Eat free cassette similar to that described.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874290981A SU1452018A1 (en) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | Vacuum robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874290981A SU1452018A1 (en) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | Vacuum robot |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1452018A1 true SU1452018A1 (en) | 1991-11-15 |
Family
ID=21322000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874290981A SU1452018A1 (en) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | Vacuum robot |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1452018A1 (en) |
-
1987
- 1987-06-05 SU SU874290981A patent/SU1452018A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 13402.30. кл. С 23 С 14/56,Л985. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5851296A (en) | Vacuum processing apparatus and method | |
| US4293249A (en) | Material handling system and method for manufacturing line | |
| US6097566A (en) | Multi-drive, multi-magazine mass storage and retrieval unit for tape cartridges | |
| KR100770232B1 (en) | Substrate processing device | |
| US5242259A (en) | Compliant gripper mechanism for robotic magnetic tape cartridge handling system | |
| US5788448A (en) | Processing apparatus | |
| US4049142A (en) | Automatic machine for unloading and reloading of plates in cassettes, particularly radiographs | |
| US4299518A (en) | Manufacturing work station | |
| US20010014268A1 (en) | Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage | |
| US5277540A (en) | Cartridge positioning mechanism for robotic magnetic tape cartridge handling system | |
| JP2002504744A (en) | System and method for handling non-workpieces subjected to vacuum processing with low contamination and high throughput | |
| CN86102249A (en) | X line film record autochanger | |
| SU1452018A1 (en) | Vacuum robot | |
| US5226779A (en) | Finger gripper mechanism for robotic magnetic tape cartridge handling system | |
| KR0177281B1 (en) | Device for transferring a transport object between two end positions | |
| US4760641A (en) | Apparatus for loading and unloading x-ray film cassettes | |
| US5690327A (en) | Lifting shoe for media handling and related cassette media holder | |
| CN115246117A (en) | Composite robot with openable and closable sealing door mechanism and control method thereof | |
| US5062758A (en) | Shuttle system for rapidly manipulating a workpiece into and out of an atmospherically controlled chamber for doing work thereon in the chamber | |
| SU1231920A1 (en) | Installation for molecular-ray epitaxy | |
| JPH08181188A (en) | Feed mechanism for semiconductor manufacture device | |
| SU1095125A1 (en) | Photo camera | |
| KR100694328B1 (en) | Open/closing mechanism for vacuum processing apparatus and vacuum processing apparatus using the same | |
| SU1548046A1 (en) | Vacuum manipulator | |
| CN118471894A (en) | Wafer supporting device and wafer carrying equipment |