SU1444123A2 - Device for locating parts - Google Patents
Device for locating parts Download PDFInfo
- Publication number
- SU1444123A2 SU1444123A2 SU874228230A SU4228230A SU1444123A2 SU 1444123 A2 SU1444123 A2 SU 1444123A2 SU 874228230 A SU874228230 A SU 874228230A SU 4228230 A SU4228230 A SU 4228230A SU 1444123 A2 SU1444123 A2 SU 1444123A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cassette
- rings
- cylinder
- rod
- sleeve
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области станкостроени и может быть использовано в производстве полупроводниковых материалов. Цель изобретени - создание регулируемой нагрузки на обрабатываемую деталь. Устройство содержит кассету 1, цилиндр 2 с вакуумной магистралью 3, шток 4, на который подвижно установлены кольца 5 и 6 с уплотнени ми 7, 8,и 9, гильзу 10 и клапан 11. Шток 4 и кольца 5 и 6 в верхней части имеют отверсти , сопр гаемые с фиксатором 12. Обрабатываемые пластины 1 3 укладьтаютс на рабочую часть кассеты. Шток 4 разъемно св зан с гильзой 10, установленной в кассете с возможностью перемещени . Регулировка нагрузки осуществл етс посредством фиксатора 12 и поршн , состо щего из отдельных концентрических колец 5 и 6, имеющих возможность фиксации относительно цилиндра 2. 1 ил. 12 S (Л 7.8.9 4: 4 4 fo СА N)The invention relates to the field of machine tools and can be used in the manufacture of semiconductor materials. The purpose of the invention is to create a controlled load on the workpiece. The device comprises a cassette 1, a cylinder 2 with a vacuum line 3, a rod 4 on which rings 5 and 6 are movably mounted with seals 7, 8, and 9, a sleeve 10 and a valve 11. The rod 4 and rings 5 and 6 in the upper part have the holes matched with the latch 12. The plates to be machined 1 3 are laid on the working part of the cassette. The stem 4 is detachably coupled to the sleeve 10 mounted in a cassette with the possibility of movement. The load is adjusted by means of a clamp 12 and a piston consisting of individual concentric rings 5 and 6, which can be fixed relative to cylinder 2. 1 sludge. 12 S (L 7.8.9 4: 4 4 fo CA N)
Description
Изобретение относитс к станкостроению и может быть использовано в производстве по обработке полупроводниковых материалов,The invention relates to a machine tool industry and can be used in the manufacture of semiconductor materials,
Цель изобретени - создание регулируемой- нагрузки на обрабатываемую деталь.The purpose of the invention is to create a controlled load on the workpiece.
На чертеже изображено предлагае- мое устройство, разрез.The drawing shows the proposed device, a slit.
Устройство сотоит из кассеты 1, цилиндра 2 с вакуумной магистралью 3 штока 4, на который подвижно установлены кольца 5 и 6, снабженные уплотнени ми 7 8 и 9, гильзы 10 и клапана I1. Шток 4 и кольца 5 и 6 в верхней части имеют отверсти , сопр гаемые с фиксатором 12. Обрабатываемые пластины обозначень: позицией 13.The device consists of a cassette 1, a cylinder 2 with a vacuum line 3 of the rod 4, on which rings 5 and 6 are movably fitted with seals 7 8 and 9, sleeves 10 and valve I1. Stem 4 and rings 5 and 6 in the upper part have openings mating with retainer 12. The plates to be machined are indicated: position 13.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
На рабочую часть кассеты укладываютс обрабатываемые пластины 13 и полость кассеты 1 ваисуумируетс путе сообщени вакуумной магистрали 3 сThe working plates 13 are placed on the working part of the cassette and the cavity of the cassette 1 is vacuumed by communication of the vacuum line 3 with
отверсти ми-присосами через цилиндр 2, шток 4 и гильзу 10. При перемещении фиксатора 12 вдоль радиуса цилиндра 2 от центра к периферии сначала . происходит освобождение штока, а затем и других колец 5 и 6.the holes of the e-suction through the cylinder 2, the rod 4 and the sleeve 10. When moving the latch 12 along the radius of the cylinder 2 from the center to the periphery first. the stem is released, and then the other rings 5 and 6.
Атмосферное давление, воздейству на торцы колец, передает нагрузку на кассету 1 и обрабатьшаемые пластины 13. При перемещении фиксатора 12 в противоположном направлении кольца со штоком стопор тс и, следовательно , не передают нагрузку на обрабатываемые пластины.Atmospheric pressure, acting on the ends of the rings, transfers the load to the cartridge 1 and the plates to be processed 13. When the latch 12 is moved in the opposite direction of the ring with the stem, it stops and, therefore, does not transfer the load to the plates being processed.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874228230A SU1444123A2 (en) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | Device for locating parts |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874228230A SU1444123A2 (en) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | Device for locating parts |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU724317 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1444123A2 true SU1444123A2 (en) | 1988-12-15 |
Family
ID=21297693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874228230A SU1444123A2 (en) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | Device for locating parts |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1444123A2 (en) |
-
1987
- 1987-04-13 SU SU874228230A patent/SU1444123A2/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 724317, кл. В 23 Q 3/00, 1976. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2053889A1 (en) | Positioning fixture | |
| ES8506489A1 (en) | Mechanism for automatic changing of tools on industrial robots. | |
| ATE185097T1 (en) | Clamping device for circumferential clamping of workpieces with any circumferential contour | |
| GB1405707A (en) | Chuck | |
| EP0367488A3 (en) | Platen assembly for a vacuum processing system | |
| IT1155587B (en) | REFERENCE AND LOCKING DEVICE OF TOOL HOLDERS FOR TURNING OR MILLING OR OTHER ON MOBILE SLIDES WITH INTERNAL SPINDLE OF A LATHE WORK CENTER | |
| ES2100898T3 (en) | AUTOMATIC VERSATILE MACHINE FOR THE FORMATION OF A METAL BAND. | |
| CA2025980A1 (en) | Test assembly for machine tool having hydraulic pallet assemblies | |
| SU1444123A2 (en) | Device for locating parts | |
| ATE117613T1 (en) | VERTICAL LATHE. | |
| DE3770185D1 (en) | FILTER PRESS. | |
| DE3772470D1 (en) | MACHINING MACHINE WITH A SPINDLE HEAD. | |
| US3838865A (en) | Fixture for supporting a workpiece in a machine tool | |
| FR2358943A1 (en) | ANNULAR SHAPED WORKPIECE CENTER UNLOCKING DEVICE | |
| ATE86160T1 (en) | DEVICE FOR COUPLING TWO TOOL PARTS OF MACHINE TOOLS. | |
| ATE71009T1 (en) | DEVICE FOR LOADING A CAST FINISHING MACHINE. | |
| GB1456385A (en) | Mechanical handling equipment | |
| SE8303789L (en) | PELARSTELL | |
| JPS6248442A (en) | Method of exchanging work pallet and automatic exchanger | |
| JPS55120909A (en) | Working method for curved hole with taper | |
| SU860944A1 (en) | Four-jaw clamping chuck | |
| GB938896A (en) | Chuck for gears and the like | |
| US4675976A (en) | Grinding machine with facilities for storage of spare work holders and tools | |
| SU884865A1 (en) | Apparatus for working large-diameter rings | |
| SU1227463A1 (en) | Manipulator |