SU1428970A1 - Устройство дл измерени продольных аберраций окул ров микроскопов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению и позвол ет повысить точность устр-ва. Контролируемый окул р 1 размещаетс  на основании 5 между призмой-кубом 6 с полупрозрачной гипотенузной гранью, расположенной под углом 45 к оптической оси объектива 2, и плоским зеркалом 7. Поворот окул ра 1 на заданный угол осуществл етс  путем поворота основани  5 вокруг оси, проход щей через центр призмы-куба 6. Нормаль к отражающей поверзшости зеркала 7 совпадает с оптической осью объектива 2. Рассто ние между центром призмы-куба 6, в котором нанесена непрозрачна  метка, и отражак цей поверхностью зеркала 7 равно рассто нию между входным и выходным зрачками окул ра 1. Измерение продольной аберрации окул ра осуществл етс   анализирующим устр-вом 8 при его фокусировке на второе изображение марки 4. 2 ил. 1

Description

4: ГО

00

со

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению, а именно к контролю окул ров микроскопов.

Цель изобретени  - повы,:1ение точности устройства.

На фиг.1 и 2 соответственно изображены принципиальна  схема измерений и схема устройства дл  измере- , ни  продольных аберраций окул ров микроскопов.

Схема измерений (фиг.1) содержит контролируемый окул р 1 и объектив 2. От точки А, расположенной на опти I ческой оси 00 контролируемого оку- л ра 1, объективом 2 формируетс  : сход щийс  пучок световых лучей, об- : разующий изображение точки А в ле- редней фокальной плоскости F окул - :ра 1 (фиг.1). Вследствие этого про- :-пущенный через окул р 1 в лр мом ходе :пучок за окул ром 1 распростран етс  Jв направлении стрелки М параллельным 5 Затем он пропускаетс  через окул р 1 ;в обратном ходе, например отража сь от плоского зеркала, в направлении стрелки N, образу  второе изображение точки А . При пропускании указанного пучка лучей окул р 1 в пр мом и обратном ходе также образует изображение входного зрачка окул ра 1, совпадагацее с входным зрачком. После зтого производитс  поворот оку

Устройство (фиг,2) состоит из осветител  3, марки 4, объектива 2, основани  5, на котором установлены призма-куб 6 с полупрозрачной ги- потенузнсй гранью, располож енной под углом 45° к оптической оси объектива 2 дл  образовани  дополнительного оптического канала, в центре которой нанесена непрозрачна  метка, например , в виде точки или перекресть , и плоское зеркало 7, установленное с возможностью перемещени  вдоль оптической оси объектива 2. Зеркало 7 установлено так, что нормаль к его отражающей поверхности совладает с оптической осью объектива 2. Рассто ние L между центром призмы-куба 6 и отражающей поверхностью зеркала 7 равно рассто нию между входным и выходным зрачками устанавливаемого между ними на контроле окул ра 1. Последний устанавливаетс  так, что центр его входного зрачка совпадает с центром призмы- куба 6, а выходной зрачок совпадает с отражающей поверхностью зеркала 7. Основание 5 имеет возможность поворол ра 1 на заданный угол о(, вокруг оси

РР , проход щей через центр входного 35 вокруг оси РР , проход щей через

зрачка, при этом оптическа  ось оку- призмы-куба 6 и взаимно перпенл ра 1 занимает положение О, о; , пе- дикул рной оптической оси объектива

редний фокус перемещаетс  в точку F,, ,

а входной зрачок Dp поворачиваетс  в

положение Dl вокруг оси РР . Вслед- 40

2 и оси дополнительного канала, в котором расположено анализирующее устройство 8. I

ствие наличи  продольных аберраций второе изображение точки А и изображение входного зрачка Dp оказываютс  смещенными соответственно от передней фокальной плоскости Ff и входного зрачка Dp окул ра 1. Затем совмещаетс  изображение входного зрачка окул ра Dp с входным зрачком Dp, при этом второе изображение точки перемещаетс  в положение А. Оле- раци  совмещени  входного зрачка окул ра с его изображением позвол ет повысить точность измерени  продольных аберраций окул ров. Без совмещени  входного зра.чка окул ра с его изображением невозможно повысить точность, а возможно повысить только чувствительность. Продольна  аберраци  определ етс  измерением рассто 0

0

5

0

НИИ X от пторого изображени  точки А|} до передней фокальной плоскости окул ра F,, Измеренные значени  аберраций дел т пополам из-за их удваивани  гтри прохождении через окул р в пр мом-и обратном ходах.

Устройство (фиг,2) состоит из осветител  3, марки 4, объектива 2, основани  5, на котором установлены призма-куб 6 с полупрозрачной ги- потенузнсй гранью, располож енной под углом 45° к оптической оси объектива 2 дл  образовани  дополнительного оптического канала, в центре которой нанесена непрозрачна  метка, например , в виде точки или перекресть , и плоское зеркало 7, установленное с возможностью перемещени  вдоль оптической оси объектива 2. Зеркало 7 установлено так, что нормаль к его отражающей поверхности совладает с оптической осью объектива 2. Рассто ние L между центром призмы-куба 6 и отражающей поверхностью зеркала 7 равно рассто нию между входным и выходным зрачками устанавливаемого между ними на контроле окул ра 1. Последний устанавливаетс  так, что центр его входного зрачка совпадает с центром призмы- куба 6, а выходной зрачок совпадает с отражающей поверхностью зеркала 7. Основание 5 имеет возможность повородикул рной оптической оси объектива

2 и оси дополнительного канала, в котором расположено анализирующее устройство 8. I

Устройство работает следующим образом .

Объектив 2 формирует сход щийс  пучок световых лучей от марки 4, освещенной осветителем 3, образу  изображение марки 4 в передней фокальной плоскости контролируемого окул ра 1. Проход  через окул р 1, параллельный пучок лучей отражаетс  от зеркала 7, вновь проходит через окул р 1 в обратном ходе и образует второе изображение марки 4. При прохождении пучка лучей через окул р 1 в лр мом и обратном ходах образуетс  изображение входного зрачка окул ра. Поворот окул ра 1 на заданный угол выполн етс  путем поворота основани  5 вокруг оси РР , проход щей через центр призмы-куба 6. На основании 5

совместно с окул ром 1 поворачиваютс  призма-куба 6 и плоское зеркало 7. После поворота производитс  совмещение изображени  входного зрачка с входным зрачком окул ра 1. Дл  этого совмещают изображение непрозрачной метки, полученное при прохождении пучка лучей через окул р 1 в пр мом и обратном ходах, с самой меткой нанесенной в центре гипотенузной грани призмы-куба 6. Измерение продольной аберрации осуществл етс  анализирующим устройством 8 при его фокусировке на второе изображение марки 4, отсто щее от передней фокальной плоскости окул ра 1 на некоторую величину . Анализирующее устройство 8 может например, состо ть из микроскопа, снабженного шкалой дл  измерени  его перемещени  (т.е. измерение осуществл етс  известными традиционными методами). Измеренные значени  аберраций дел т пополам, поскольку измен ютс  их удвоенные значени , получаемые при прохождении лучей через окул р два раза.

Конкретное исполнение устройства может быть следующим: осветитель 3 состоит из лампы накаливани , отра жател  и матового стеклА. Марка 4 представл ет собой стекл нную пластинку , в центре которой нанесено непрозрачное перекрестье. Объектив 2 выполнен в виде склейки из двух линз Гипотенузна  грань призмы-куба 6 выполнена полупрозрачной, причем в центре ее нанесена непрозрачна  метка в виде точки. Плоское зеркало 7 имеет вид круга, диаметр которого равен диаметру светового пучка. Контролируемый окул р 1 - типа АТ-38. Основание 5 имеет ось вращени  РР , проход щую через центр призмы-куба 6 и направл ющие ролики, посредством которых оно поворачиваетс  вокруг указанной оси. Кроме того, оно имеет

-

угловую щкалу дл  поворота на заданный угол и фиксирующее устройство дл  установки его в заданное положение . Анализирующее устройство 8 может , например, состо ть из микроскопа Мир-2, установленного с возможностью перемещени  вдоль оптической оси, и шкалы, по которой измер ют величину перемещени  (шкала может быть цифровой, может быть снабжена нониусом и т.п.).

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   15

   35

   Устройство дл  измерени  продольных аберраций окул ров микроскопов, содержащее расположенные по ходу луча осветитель, марку, объектив, осно20 вание дл  установки контролируемого окул ра, анализирующее устройство, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности за счет повьщ1ени  чувствительности, на осно25 вании последовательно, установлены призма-куб с полупрозрачной гиНЬ.те- нузной гранью, расположенной под углом 45 к оптической оси объектива, в центре которой нанесена непрозрач- 30 на  метка, и плоское зеркало с возможностью перемещени  вдоль оптической оси объектива, нормаль к отражающей поверхности которого совпадает с оптической осью, причем рассто ние между центром призмьг-куба и отражающей поверхностью зеркала равно {заест о нию между входным и выходным зрачками испытуемого окул  ра, а оптическа  ось анализируннцего устройст40 ва перпендикул рна оптической оси объектива и проходит через центр призмы-куба, при этом основание установлено с возможностью поворота вокруг оси, проход щей через центр

   45 призмы-куба и взаимно перпендикул рной оптическим ос м объектива и анализирующего устройства.

   CNI