SU1420408A1 - Thermoelectric vacuum gauge - Google Patents

Thermoelectric vacuum gauge Download PDF

Info

Publication number
SU1420408A1
SU1420408A1 SU864157512A SU4157512A SU1420408A1 SU 1420408 A1 SU1420408 A1 SU 1420408A1 SU 864157512 A SU864157512 A SU 864157512A SU 4157512 A SU4157512 A SU 4157512A SU 1420408 A1 SU1420408 A1 SU 1420408A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
thermistor
bridge
bellows
spirals
wire
Prior art date
Application number
SU864157512A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Валерий Анатольевич Васильев
Сергей Евгеньевич Тельпов
Виктор Александрович Зиновьев
Original Assignee
Пензенский Политехнический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Пензенский Политехнический Институт filed Critical Пензенский Политехнический Институт
Priority to SU864157512A priority Critical patent/SU1420408A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1420408A1 publication Critical patent/SU1420408A1/en

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной манометрии и м.б. использовано дл  измерени  давлени  разреженного газа в вакуумных установках различного назначени  и позвол ет повысить точность устр-ва. Чувствительный элемент вакуумметра выполнен в виде силь- фона 4, на дне которого закреплена торцом одна из винтовых спиралей терморезистора . Друга  спираль закреплена на корпусе 1. Спирали разного диаметра , соосно размещенные с возможностью перекрыти , включены в противоположные плечи моста. Изменение измер емого давлени  вызьшает изменение т-ры терморезисторов 3, привод щее к р азбалансу моста. 2 ил.The invention relates to vacuum manometry and may be. used to measure the pressure of rarefied gas in vacuum installations for various purposes and to improve the accuracy of the device. The sensing element of the gauge is made in the form of a sylphon 4, at the bottom of which one of the helical spirals of the thermistor is fixed with an end face. The other spiral is fixed on the housing 1. The spirals of different diameters, coaxially placed with the possibility of overlap, are included in the opposite shoulders of the bridge. A change in the measured pressure causes a change in the temperature of the thermistors 3, leading to a rebalance of the bridge. 2 Il.

Description

(/)(/)

величину. При понижении измер емого давлени  температура терморезисторов 3 и 6 увеличиваетс  от уменьшени  теплоотдачи вследствие уменьшегга  плотности газовой среды и увеличени  перекрыти  терморезистора 6 терморезистором 3 в результате сжати  силь- фона. Увеличение температуры терморе зисторов 3 и 6 приводит к увеличению их сопротивлени  и по вл етс  разба ланс моста,  вл ющийс  функцией давлени .magnitude. As the measured pressure decreases, the temperature of thermistors 3 and 6 increases from a decrease in heat transfer due to a decrease in the density of the gaseous medium and an increase in the overlap of thermistor 6 by thermistor 3 as a result of compression of the sylphon. An increase in the temperature of thermistors 3 and 6 leads to an increase in their resistance, and a balance of the bridge appears, which is a function of pressure.

Изобретение относитс  к вакуумной макометрии, в частности к теплоэлек- трическим вакуумметрам, и может быть использовано дл  измерени  давлени  разреженного газа в вакуумных установках различного назначени .The invention relates to vacuum makometrii, in particular to thermal electric vacuum gauges, and can be used to measure the pressure of a rarefied gas in vacuum installations for various purposes.

Цель изобретени  - повышение точности измерени .The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy.

Claims (1)

На фиг. 1 показана конструкци  JQ треплоэлектрического вакуумметра; на 4иг. 2 - разрез А-А на фиг. 1. i Вакуумметр состоит из корпуса-шту- liepa 1 с закрепленными на нем четырьjjw токоизолированными опорами 2, на is Формула изобретени  йоторых намотан в виде спирали термо- 1 езистор 3, сильфонной коробки 4 с Закрепленными на ней двум  токоизоли- 1 ованными опорами 5, на которых намо- Фан в виде второй спирали терморезис- 20 ментом и размещенный в ней проволоч- top 6. Терморезисторы 3 и 6 включены ный терморезистор, отличаю- $ противоположные плечи мостовой измерительной цепи, два другие плеча обра- | ованы посто нными рёзистбрами. . 25 FIG. Figure 1 shows the design of a JQ crook vacuum gauge; on 4ig. 2 shows section A-A in FIG. 1. i The vacuum meter consists of a case-unit-liepa 1 with four-pinned current-proof supports 2 fixed on it, the invention claims are wound in a spiral-like thermo-1 resistor 3, bellows 4 box with two current-insulated 1 support-5 fixed on it on which nam-Fan is in the form of a second helix with a thermal resistor and a wire placed in it. Top 6. Thermoresistors 3 and 6 include a thermistor, differing shoulders of the measuring bridge, the other two arms of the measuring bridge. Ovans constant resistbry. . 25 : Предлагаемое устройство работает ледунлцим образом, i С помощью посто нного резистора фалансируют мостовую схему. Сильфон: The proposed device operates in an ice-free manner, i Using a constant resistor, they bridge the bridge circuit. Bellows ри этом находитс  в свободном состо- 30 втора  - на дне сильфона, при этом йнии, т.е. терморезистор 3 перекрыва- обе спирали включены в противополож- ёт терморезистор 6 на незначительную ные плечи моста.At the same time, it is in a free state - the second - at the bottom of the bellows; The thermistor 3 is overlapped; both spirals are connected in the opposite direction to the thermistor 6 on the minor shoulders of the bridge. Теплоэлектрический вакуумметр содержапщй корпус с приемной полостью , ограниченной чувствительным элещ и и с   тем, что, с целью повышени  точности, чувствительный элемент выполнен в виде сильфона, а проволочный терморезистор выполнен в виде двух соосно размещенных с возможностью перекрыти  БИНТОВЫХ спиралей разного диаметра, причем одна из спиралей закреплена торцом на корпусе, аA thermoelectric vacuum gauge contains a housing with a receiving cavity bounded by a sensitive element and so that, in order to increase accuracy, the sensitive element is made in the form of a bellows, and the wire thermistor is made in the form of two spirals fixed end on the body, and величину. При понижении измер емого давлени  температура терморезисторов 3 и 6 увеличиваетс  от уменьшени  теплоотдачи вследствие уменьшегга  плотности газовой среды и увеличени  перекрыти  терморезистора 6 терморезистором 3 в результате сжати  силь- фона. Увеличение температуры терморезисторов 3 и 6 приводит к увеличению их сопротивлени  и по вл етс  разбаланс моста,  вл ющийс  функцией давлени .magnitude. As the measured pressure decreases, the temperature of thermistors 3 and 6 increases from a decrease in heat transfer due to a decrease in the density of the gaseous medium and an increase in the overlap of thermistor 6 by thermistor 3 as a result of compression of the sylphon. An increase in the temperature of thermistors 3 and 6 leads to an increase in their resistance and a bridge imbalance appears, which is a function of pressure. Формула изобретени  ментом и размещенный в ней проволоч- ный терморезистор, отличаю- The claims of the invention and the wire thermistor placed therein are distinguished by Теплоэлектрический вакуумметр содержапщй корпус с приемной полостью , ограниченной чувствительным элеФормула изобретени  ментом и размещенный в ней проволоч- ный терморезистор, отличаю- A thermoelectric vacuum gauge containing a housing with a receiving cavity bounded by the sensitive formula of the invention and a wire thermistor placed in it differs in втора  - на дне сильфона, при этом обе спирали включены в противополож- ные плечи моста.the second is at the bottom of the bellows, with both spirals included in the opposite shoulders of the bridge. щ и и с   тем, что, с целью повышени  точности, чувствительный элемент выполнен в виде сильфона, а проволочный терморезистор выполнен в виде двух соосно размещенных с возможностью перекрыти  БИНТОВЫХ спиралей разного диаметра, причем одна из спиралей закреплена торцом на корпусе, аu with the fact that, in order to increase accuracy, the sensing element is designed as a bellows, and the wire thermistor is made in the form of two BINT spirals of different diameters arranged coaxially to overlap, one of the spirals being fixed end to the body, Фиа 2Fia 2 ВНИИДИ Заказ 4319/44VNIIDI Order 4319/44 Произв.-полигр. пр-тие,-г. Ужгород, ул. Проектна , 4Random polygons pr-tie, -r. Uzhgorod, st. Project, 4 Тираж 847Circulation 847 ПодписноеSubscription
SU864157512A 1986-12-08 1986-12-08 Thermoelectric vacuum gauge SU1420408A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864157512A SU1420408A1 (en) 1986-12-08 1986-12-08 Thermoelectric vacuum gauge

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864157512A SU1420408A1 (en) 1986-12-08 1986-12-08 Thermoelectric vacuum gauge

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1420408A1 true SU1420408A1 (en) 1988-08-30

Family

ID=21271405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864157512A SU1420408A1 (en) 1986-12-08 1986-12-08 Thermoelectric vacuum gauge

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1420408A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1040358, кл. G 01 L 21/12, 1983. .Авторское свидетельство СССР № 325527, кл. G 01 L 21/12, 1972. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3653262A (en) Temperature and level sensor
US5713668A (en) Self-verifying temperature sensor
US3898638A (en) Differential temperature sensor system and improvements in a fluid flow detector
US3238775A (en) Heat flux responsive device
US2612047A (en) Probe device for fluid condition measuring apparatus
US3949609A (en) Resistance thermometer and disposable probe
US3513432A (en) Shielded thermoelectric transducer/conductor construction
US4666656A (en) Device for measuring temperature
CN100451571C (en) Liquid helium level sensor for use in a cryogenic environment and method for assembling same
US4326164A (en) Electrical resistance corrosion probe
US2493651A (en) Thermoelectric heat flow responsive device
SU1420408A1 (en) Thermoelectric vacuum gauge
US3433068A (en) Thermal mass flow sensor
CA1091059A (en) Apparatus for measuring barometric pressure
US2930232A (en) Device for manifesting thermal boundaries
SU905628A1 (en) Deformation pickup
US2948872A (en) Sensing means
US3357248A (en) Temperature indicating apparatus
RU2065579C1 (en) Transducer of parameters of medium
SU1420407A1 (en) Thermoelectric pressure transducer
SU1285327A1 (en) Thermoelectric vacuumeter
SU1177701A1 (en) Thermal-conductivity vacuum gauge
SU836529A1 (en) Thermal level meter
EP0190858A2 (en) Temperature-sensitive probes
SU387228A1 (en) THERMOMETER OF RESISTANCE TO MEASURE THE TEMPERATURE OF AN AGGRESSIVE LIQUID OR GAS