SU1415205A1

SU1415205A1 - Устройство дл измерени напр женности электростатического пол

Info

Publication number: SU1415205A1
Application number: SU864134334A
Authority: SU
Inventors: Василий Андреевич Сычик; Иван Иванович Герасимов; Людмила Николаевна Сычик; Альберт Николаевич Халымский; Александр Александрович Шумель
Original assignee: Белорусский Политехнический Институт
Priority date: 1986-10-11
Filing date: 1986-10-11
Publication date: 1988-08-07

Abstract

Изобретение относитс к технике измерений электростатических помех. Цель изобретени - увеличение точности измерений. Устр-во содержит измерительный электрод (ИЭ) 1, выполненный в виде плоской структуры пол рный диэлектрик 2 - полупроводник 3, усилитель 8 сигнала, измерительный блок 9, поток 10 электронов. Дл достижени цели в устр-во введен вакуумированный корпус 4 и размещенный в нем последовательно источник 5 потока электронов, отклон ющий блок 6, блок 7 фокусировки и ускорени электронов. В устр-ве необходимо добиватьс максимально возможного формируемого напр жени выходной цепи ИЭ 1. Это достигаетс выбором скорости сканировани электронного луча 10 так, чтобы йрем между двум моментами считьшани электронньм лучом 10 сформированного сигнала на поверхности ИЭ 1 было не меньше времени релаксации пол рного диэлектрика 2. 1 ил. СЛ

Description

ел

Изобретение относите к технике измерений электростаткческих помех и может быть использовано дл измерени напр женности статических и квазиста- ткческих электрических полей.

Цель изобретени - увеличение точности измерений.

На чертеже приведена конструкци устройства дл измерени напр женности электростатического пол .

Устройство содержит измерительньй электрод 1, выполненный в виде плоской структуры, пол рный диэлектрик

Электрический зар д диэлектрика воздействует на контактирующий с ним полупроводник 3, который вл етс низкоемным (удельное сопротивление р 10 I Пм«см) и раздел ет своОод- иые носители полупроводника 3 так, что на наружной поверхности образуетс распределение свободного зар да, поверхностна плотность которого пропорциональна напр женности контролируемого электрического пол .

Электронный луч 10, сканиру по поверхности полупроводника 3 измери

2 - полупроводник 3, который закрыва-|5 тельного электрода 1, создает ток в

25

30

ет вакуумированный корпус А с одного его торца и размещенные последовательно в корпусе и от другого его торца источник потока электронов 5, отклон ющий блок 6 и блок 7 ускорени 20 и фокусировки электронов.

Измерительный сигнал с пол рного диэлектрика 2 поступают на вход усилител 8 сигнала и затем на измерительный блок 9, На чертеже показан также поток 10 электронов.

Устройство работает следующим образом ,

В зону действи электрического пол помещают измерительный электрод 1, расположенный в зоне действи электронного луча 10, формируемого источником 5 потока электронов, например катодом с косвенным подогревом . Отклонение электронного луча производитс отклон ющим блоком 6, а ускорение и фокусировка - блоком 7 ускорени и фокусировки электронов.

Контакт полупроводника 3 гальванически соедин ют с входом усилител 8,40 выход которого подключен к входу измерительного блока 9,

При отсутствии внешнего электрического пол пол рный диэлектрик 2 измерительного электрода I не пол ризуетс . Ток во внешней цепи измерительного электрода 1 отсутствует и измерительный блок 9 отражает отсутствие внешнего электрического пол .

35

45

50

Claims

выходной его цепи, а внешнее электрическое поле обеспечивает беспрерьш ное р сделение зар дов в измерительном электроде I, Протекающий в вькод ной цепи измерительного электрода 1 ток создает на входном сопротивлении усилител 8 падение напр жени , кото рое им усиливаетс и отображаетс в измерительном блоке 9 числовым значе нием, соответствующим действующему н измерительный электрод 1 значенмо ин тенсивности электрического пол . Есл интенсивность электрического пол не равномерна, выходное напр жение моду лируетс по амплитуде и измерительны блок 9 при необходимости может по- казьшать дискретные значени напр женности электрического пол и его градиент в плоскости электрода 1, Дл выполнени поставленной цели - цовьш1ени точности измерений - необходимо добиватьс максимально возмож ного формируемого напр жени выходной цепи измерительного электрода 1, Это достигаетс нар ду с указанными выше действи ми и выбором скорости сканировани электронного луча 10 так, чтобы момент последующего считы вани электронным лучом сигнала на данном микроучастке поверхности измерительного электрода 1 по отношению к предыдуи5ему моменту его считывани соответствовал времени релакса ции пол рного диэлектрика 2 измерительного электрода 1, т,е, врем меж ду двум моментами считьшани электронным лучом 10 сформированного сигнала по поверхности измерительного электрода 1 было не меньше времени релаксации пол рного диэлектрика 2, Формула изобретени Устройство дл измерени напр жен ности электростатического пол , вклю чающее измерительный электрод, усиПри воздействии на измерительный электрод 1 внешнего электрического пол Е диэлектрик 2 пол ризуетс , на его рабочих поверхност х локализуетс электрический зар д Q 6ES, где 5 и S - относительна диэлектрическа проницаемость и рабоча площадь измерительного электрода.

5

0

0

0

5

5

0

5

выходной его цепи, а внешнее электрическое поле обеспечивает беспрерьш- ное р сделение зар дов в измерительном электроде I, Протекающий в вькод- ной цепи измерительного электрода 1 ток создает на входном сопротивлении усилител 8 падение напр жени , которое им усиливаетс и отображаетс в измерительном блоке 9 числовым значением , соответствующим действующему на измерительный электрод 1 значенмо интенсивности электрического пол . Если интенсивность электрического пол неравномерна , выходное напр жение модулируетс по амплитуде и измерительный блок 9 при необходимости может по- казьшать дискретные значени напр женности электрического пол и его градиент в плоскости электрода 1, Дл выполнени поставленной цели - цовьш1ени точности измерений - необходимо добиватьс максимально возможного формируемого напр жени выходной цепи измерительного электрода 1, Это достигаетс нар ду с указанными выше действи ми и выбором скорости сканировани электронного луча 10 так, чтобы момент последующего считывани электронным лучом сигнала на данном микроучастке поверхности измерительного электрода 1 по отношению к предыдуи5ему моменту его считывани соответствовал времени релаксации пол рного диэлектрика 2 измерительного электрода 1, т,е, врем между двум моментами считьшани электронным лучом 10 сформированного сигнала по поверхности измерительного электрода 1 было не меньше времени релаксации пол рного диэлектрика 2, Формула изобретени Устройство дл измерени напр женности электростатического пол , включающее измерительный электрод, уси3UI5205

литель сигнала н блок регистр ции,измерительный электрод выполнен в

отличающеес тем, что,виде плоской структуры пол рный дис целью увеличени точности измере-электрик - полупроводник, р сгтолохен

НИИ, введены вакуумированный корпус,симметрично относительно . оси корвдоль оси которого установлены после-пусл перпендикул рно ей и закреплен

довательно источник потока электро-в отверстии, выполненном в вакуумиронов , отклон ющий блок, блок фокуси-ванном корпусе пол рным диэлектриком

ровки и. блок ускорени электронов,наружу.