SU1404821A1 - Оптический датчик перемещений с фазовым выходом - Google Patents

Оптический датчик перемещений с фазовым выходом Download PDF

Info

Publication number
SU1404821A1
SU1404821A1 SU864116731A SU4116731A SU1404821A1 SU 1404821 A1 SU1404821 A1 SU 1404821A1 SU 864116731 A SU864116731 A SU 864116731A SU 4116731 A SU4116731 A SU 4116731A SU 1404821 A1 SU1404821 A1 SU 1404821A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
phase
light flux
photodetector
output
signals
Prior art date
Application number
SU864116731A
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Викторович Любомиров
Николай Дмитриевич Конаков
Галина Александровна Киреева
Валентина Николаевна Аштаева
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1891
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1891 filed Critical Предприятие П/Я А-1891
Priority to SU864116731A priority Critical patent/SU1404821A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1404821A1 publication Critical patent/SU1404821A1/ru

Links

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона измерений за счет повышени  чувствительности и линейности выходной характеристики датчика. Оптический датчик перемещений с фазовым выходом содержит однофазный источник I переменного напр жени , который осуществл ет амплитудную модул цию светового потока излучател  2 светового потока. Модулированный световой поток падает на второй фотоприемник 4 опорного сигнала и на отражающую поверхность 12 объекта контрол , от которой световой поток попадает на первый фотоприемник 3 отраженного сигнала. На выходах фотоприемников 4 и 3 формируютс  гармонические сигналы, сдвинутые один относительно другого по фа-. зе на 180 за счет питани  фотоприемников напр жением посто нного тока разной пол рности, С помощью фазовращателей 5 и 6 формируют сигналы, сдвинутые по фазе относительно отраженного сигнала в сторону опережес S

Description

ни  и в сторону отставани  на углы меньше 45 , которые через масштабирующие звень  7 и 8 соответственно поступают на сумматоры 9 и 10, на вторые входы которых подаетс  опорный сигнал . На сз маторах 9 и 10 происходит геометрическое сложение сигналов с
выходов масштабирующих звеньев 7 и 8 с опорным сигналом. Результирующие сигналы с выходов сумматоров 9 и 10 подаютс  на фазометр 11, с выхода которого снимаетс  зависимость разности фаз между двум  результирующими сигналами от измер емого перемещени .2 ил.
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  перемещений.
Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона измерений за счет повьшени  чувствительности и линейности выходной характеристики датчика ,
На фиг.1 приведена структурна  схема датчика; на фиг,2 - векторна  диаграмма сигналов.
Датчик содержит однофазный источник 1 переменного напр жени , оптичес ки св занные излучатель 2 светового потока, вход которого св зан с выходом источника 1 переменного напр жени , и первый фотоприемник 3 отраженного сигнала, второй фотоприемник 4 опорного сигнала, оптически св занный с излучателем 2 светового потока, первый 5 и второй 6 фазовращатели, входы которых св заны с выходом первого фотоприемника 3 отраженного сиг- нала, первое 7 и второе 8 масштабирующие звень , входы которых св заны соответственно. с выходами первого 5 и второго 6 фазовращателей, первый 9 и второй 10 сз мматоры, первые входы которых св заны соответственно с выходами первого 7 и второго 8 масшта- бирзпощих звеньев, вторые входы - с выходом второго фотоприемника 4 опорного сигнала, фазометр 11, первый и второй входы которого св заны соответственно с выходами первого 9 и второго 10 сумматоров
Оптический датчик .перемещений с фазовым быходом работает следующим образом.
Однофазный источник 1 синусоидального напр жени  низкой частоты осуществл ет амплитудную модул цию све
г n 5
0
5
0
тового потока излучател  2 светового потока и модулированный световой поток падает на второй фотоприемник 4 опорного сигнала и на отражающую поверхность 12 объекта контрол , от которой отраженный световой поток попадает на первый фотоприемник 3 отраженного сигнала. На выходах фотоприемников 4 и 3 опорного и отраженного сигналов формируютс  гармонические сигналы и Vgro () частотой источника модулирующего напр жени  и сдвинутые один относительно другого по фазе на 180 (фиг,2) за счет питани  фотоприемников напр жени  посто нного тока разной пол рности, С помощью фазовращателей 5 и 6 формируют сигналы и,(х) и U (х), сдвинутые по фазе относительно отраженного сигнала UQ (х) в сторону опережени  и в сторону отставани , соответственно , на углы Ц), и (j (фиг,2), меньшие 45°, Гармонические сигналы U,(x) и U2(x) с выходов фазовращателей 5 и 6 через масштабирующие звень  7 и 8 поступают на первые входы сумматоров 9 и 10, а на вторые входы сумматоров 9 и 10 поступает опорный сигнал U с выхода фотоприемника 4, На сумматоре 9 происходит геометрическое сложение гармонических сигналов U,(x) и U, и на выходе сумматора 9 формируетс  первый результирующий сигнал Upeji, вектор которого вращаетс  вследствие изменени  по амплитуде отраженного сигнала U,(х) в функции перемещени .
Изменение фазы результирующего гармонического сигнала Чреэм (фиг,2) определ етс  выражением
.
-.-0,17,
(1)
cf,
Фо. изменение фазы результирующего сигнала Up с выхода первого сумматора 9; сдвиг фаз между гармоничеси
кими сигналами и, и U
оп
, М с выгармонический сигнал хода фотоприемника 4 опорного сигнала;
и,(х) - гармонический сигнал с выхода фотоприемника 3 отраженного сигнала, сдвинутый по фазе первым фазовращателем 5 и промодулирован- ный по амплитуде в функции перемещени .
Одновременно на сумматоре 10 происходит геометрическое сложение гармонических сигналов и(х) и Vg и на выходе сумматора 10 формируетс  второй результирующий сигнал U(x), вектор которого вращаетс  в противоположном направлении относительно вращени  вектора сигнала Upei,.| . Вращение вектора сигнала происходит вследствие изменени  по амплитуде отраженного сигнала ) в функции перемещени . Изменение фазы результирующего гармонического сигнала иреэ.г (фиг.2) определ етс  выражением
Ч. -arctg SiS- il°------ (2)
- fl;fe
где cf изменение фазы результирующего сигнала Vpt.z выхода второго сумматора 10; (02 - сдвиг фаз между гармоническими сигналами )-; и (х) - гармонический сигнал с выхода фотоприемника 3 отраженного сигнала, сдвинутый по фазе вторым фазовращателем 6 и промодулированный по амплитуде в функции пе-п ремещени .
и
Результирующие сигналы Upjj ,
с выходов сумматоров 9 и 10 подаютс  на входы регистрирующего пркбо- налами Upe., и U-g, ра -фазометра 11, с выхода которого близок к 360°, т.е.
снимаетс  зависимость разности фаз между двум  результирующими сигналами от измер емого перемещени  Cf f(х). В результате одновременного вращени  двух результирующих векторов
45 Из векторной диа из выражени  (3) сл тического датчика п вым выходом диапазо ности фаз между рез
повьш1енной в два ра ностью преобразован
55 Формул а из
и
рем
и Upe,,
разных направлени х
приращение фазы между результирующими сигналами ц tf, + и (фиг.2)
1404821
измен етс 
с удвоенной скоростью и
определ етс  функцией преобразовани 
sin Vo
Ч 4, + g)j arctg
COSVo,
иДхУ
sin Voz
cosV- +
. )
(3)
5
0
Повьпиение линейности выходной характеристики датчика достигаетс  путем выбора необходимых углов сдвига фаз (0, и Cj o между сигналами и и, (х)-, UQ и ) с помощью фазовращателей 5 и 6 и изменением с помощью масштабирующих звеньев 7 и 8 амплитуды сигналов U, (х) и и,(х) таким образом, чтобы отношени  сигнаUon
лов - и, (х)
и
Ула.- U(x)
были равны 1 в
точке Хр- (точка баланса), равной 2/3
диапазона измерени 
а 2,3 X,) .
При изменении мощности источника 2 излучени  вследствие ухода его собственных параметров, изменени  температуры и т.д., например, в сторону
0
увеличени , измен ютс  одну и ту же сторону и сигналы и
on
по величине в гармонические и UQT. (х) с выходов фото- 3 опорного
приемников 4 и 3 опорного и отраженного сигналов, а отношение сигналов и on
5 UoTp (х)
(вход щие в выражение (3) в
„ и on
виде отношении и, х)
и
,
U2
остаетс 
налами Upe., и U-g, близок к 360°, т.е.
практически посто нным и фаза if между результирующими сигналами Upg, , и Upe, 2 остаетс  при этом неизменной, т.е. исключаетс  вли ние изменени  мощности источника излучени  на результат измерени .
Из векторной диаграммы (фиг.2) и из выражени  (3) следует, что у оптического датчика перемещений с фазовым выходом диапазон изменени  разности фаз между результирующими сиг- больше 180° и
датчик обладает
повьш1енной в два раза чувствительностью преобразовани .
55 Формул а изобретени 
Оптический датчик перемещений с фазовым выходом, содержащий источник переменного напр жени , излучатель
UffX}

Claims (1)

  1. Формула изобретения ’^04821 светового потока, вход которого св я-, зан с выходом источника переменного напряжения, первый фотоприемник, оптически связанный с излучателем светового потока, второй фотоприемник, первый фазовращатель и фазометр*, отличающийся тем, что7~ с целью расширения диапазона измерений, он снабжен вторым.фазовраща- 10 телем, первым и вторым масштабирующими звеньями, первым и вторым сумматорами, выходы которых связаны соответственно с первым и вторым входами фазометра, первые входы - с выходами первого и второго масштабирующих g звеньев соответственно, вторые входы с выходом второго фотоприемника, оптически связанного с излучателем светового потока, выход первого фотоприемника связан с входами первого и второго фазовращателей, выходы которых связаны с входами первого и второго масштабирующих звеньев соответственно.
SU864116731A 1986-09-11 1986-09-11 Оптический датчик перемещений с фазовым выходом SU1404821A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864116731A SU1404821A1 (ru) 1986-09-11 1986-09-11 Оптический датчик перемещений с фазовым выходом

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864116731A SU1404821A1 (ru) 1986-09-11 1986-09-11 Оптический датчик перемещений с фазовым выходом

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1404821A1 true SU1404821A1 (ru) 1988-06-23

Family

ID=21256275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864116731A SU1404821A1 (ru) 1986-09-11 1986-09-11 Оптический датчик перемещений с фазовым выходом

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1404821A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР 1226060, кл. G 01 В 21/00, 1984. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070233413A1 (en) Signal processing method and apparatus for use in real-time subnanometer scale position measurements with the aid of probing sensors and beams scanning periodically undulating surfaces such as gratings and diffraction patterns generated thereby, and the like
SU1404821A1 (ru) Оптический датчик перемещений с фазовым выходом
CN111751610B (zh) 实现非互易动态相位调制的光纤电流传感器及解调方法
KR900005640B1 (ko) 변위의 광학적 측정방법 및 측정장치
CN208671919U (zh) 一种光纤位移传感探头及光纤位移传感系统
SU763680A1 (ru) Фотоэлектрический блок к устройству дл измерени перемещений
CN108709506A (zh) 一种光纤位移传感探头及光纤位移传感系统
SU1244485A1 (ru) Способ измерени перемещени растрового преобразовател
SU451039A1 (ru) Фотоэлектрическа автоколлимационна насадка
SU1097896A1 (ru) Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени
JPH0743404A (ja) 位相差検出方法、位相差検出回路、および位相差検出装置
SU1116309A1 (ru) Фотоэлектрический датчик перемещений
SU1693372A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещени
RU1803736C (ru) Оптический датчик перемещений с фазовым выходом
SU1536205A1 (ru) Датчик перемещени с фазовым выходом
SU838323A1 (ru) Устройство дл бесконтактного измерени гЕОМЕТРичЕСКиХ пАРАМЕТРОВ пОВЕРХНОСТЕй
SU1260664A1 (ru) Способ преобразовани перемещение - фаза
SU808836A1 (ru) Устройство дл измерени малыхуглОВыХ пЕРЕМЕщЕНий
SU1246011A1 (ru) Устройство дл бесконтактного измерени силы тока
SU1567888A1 (ru) Оптико-электронное углоизмерительное устройство
SU1245884A1 (ru) Устройство дл измерени геометрических параметров
SU1534309A1 (ru) Измеритель фазы пространственной гармоники оптического волнового процесса с заданным периодом колебаний в реальном масштабе времени
SU1627836A1 (ru) Двойной двухлучевой интерферометр дл измерени толщины покрытий
SU1241064A2 (ru) Оптико-электронный преобразователь угла поворота в электрический сигнал
SU1589056A1 (ru) Оптический датчик перемещений с фазовым выходом