SU1404821A1 - Оптический датчик перемещений с фазовым выходом - Google Patents
Оптический датчик перемещений с фазовым выходом Download PDFInfo
- Publication number
- SU1404821A1 SU1404821A1 SU864116731A SU4116731A SU1404821A1 SU 1404821 A1 SU1404821 A1 SU 1404821A1 SU 864116731 A SU864116731 A SU 864116731A SU 4116731 A SU4116731 A SU 4116731A SU 1404821 A1 SU1404821 A1 SU 1404821A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- phase
- light flux
- photodetector
- output
- signals
- Prior art date
Links
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике. Целью изобретени вл етс расширение диапазона измерений за счет повышени чувствительности и линейности выходной характеристики датчика. Оптический датчик перемещений с фазовым выходом содержит однофазный источник I переменного напр жени , который осуществл ет амплитудную модул цию светового потока излучател 2 светового потока. Модулированный световой поток падает на второй фотоприемник 4 опорного сигнала и на отражающую поверхность 12 объекта контрол , от которой световой поток попадает на первый фотоприемник 3 отраженного сигнала. На выходах фотоприемников 4 и 3 формируютс гармонические сигналы, сдвинутые один относительно другого по фа-. зе на 180 за счет питани фотоприемников напр жением посто нного тока разной пол рности, С помощью фазовращателей 5 и 6 формируют сигналы, сдвинутые по фазе относительно отраженного сигнала в сторону опережес S
Description
ни и в сторону отставани на углы меньше 45 , которые через масштабирующие звень 7 и 8 соответственно поступают на сумматоры 9 и 10, на вторые входы которых подаетс опорный сигнал . На сз маторах 9 и 10 происходит геометрическое сложение сигналов с
выходов масштабирующих звеньев 7 и 8 с опорным сигналом. Результирующие сигналы с выходов сумматоров 9 и 10 подаютс на фазометр 11, с выхода которого снимаетс зависимость разности фаз между двум результирующими сигналами от измер емого перемещени .2 ил.
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени перемещений.
Целью изобретени вл етс расширение диапазона измерений за счет повьшени чувствительности и линейности выходной характеристики датчика ,
На фиг.1 приведена структурна схема датчика; на фиг,2 - векторна диаграмма сигналов.
Датчик содержит однофазный источник 1 переменного напр жени , оптичес ки св занные излучатель 2 светового потока, вход которого св зан с выходом источника 1 переменного напр жени , и первый фотоприемник 3 отраженного сигнала, второй фотоприемник 4 опорного сигнала, оптически св занный с излучателем 2 светового потока, первый 5 и второй 6 фазовращатели, входы которых св заны с выходом первого фотоприемника 3 отраженного сиг- нала, первое 7 и второе 8 масштабирующие звень , входы которых св заны соответственно. с выходами первого 5 и второго 6 фазовращателей, первый 9 и второй 10 сз мматоры, первые входы которых св заны соответственно с выходами первого 7 и второго 8 масшта- бирзпощих звеньев, вторые входы - с выходом второго фотоприемника 4 опорного сигнала, фазометр 11, первый и второй входы которого св заны соответственно с выходами первого 9 и второго 10 сумматоров
Оптический датчик .перемещений с фазовым быходом работает следующим образом.
Однофазный источник 1 синусоидального напр жени низкой частоты осуществл ет амплитудную модул цию све
г n 5
0
5
0
тового потока излучател 2 светового потока и модулированный световой поток падает на второй фотоприемник 4 опорного сигнала и на отражающую поверхность 12 объекта контрол , от которой отраженный световой поток попадает на первый фотоприемник 3 отраженного сигнала. На выходах фотоприемников 4 и 3 опорного и отраженного сигналов формируютс гармонические сигналы и Vgro () частотой источника модулирующего напр жени и сдвинутые один относительно другого по фазе на 180 (фиг,2) за счет питани фотоприемников напр жени посто нного тока разной пол рности, С помощью фазовращателей 5 и 6 формируют сигналы и,(х) и U (х), сдвинутые по фазе относительно отраженного сигнала UQ (х) в сторону опережени и в сторону отставани , соответственно , на углы Ц), и (j (фиг,2), меньшие 45°, Гармонические сигналы U,(x) и U2(x) с выходов фазовращателей 5 и 6 через масштабирующие звень 7 и 8 поступают на первые входы сумматоров 9 и 10, а на вторые входы сумматоров 9 и 10 поступает опорный сигнал U с выхода фотоприемника 4, На сумматоре 9 происходит геометрическое сложение гармонических сигналов U,(x) и U, и на выходе сумматора 9 формируетс первый результирующий сигнал Upeji, вектор которого вращаетс вследствие изменени по амплитуде отраженного сигнала U,(х) в функции перемещени .
Изменение фазы результирующего гармонического сигнала Чреэм (фиг,2) определ етс выражением
.
-.-0,17,
(1)
cf,
Фо. изменение фазы результирующего сигнала Up с выхода первого сумматора 9; сдвиг фаз между гармоничеси
кими сигналами и, и U
оп
, М с выгармонический сигнал хода фотоприемника 4 опорного сигнала;
и,(х) - гармонический сигнал с выхода фотоприемника 3 отраженного сигнала, сдвинутый по фазе первым фазовращателем 5 и промодулирован- ный по амплитуде в функции перемещени .
Одновременно на сумматоре 10 происходит геометрическое сложение гармонических сигналов и(х) и Vg и на выходе сумматора 10 формируетс второй результирующий сигнал U(x), вектор которого вращаетс в противоположном направлении относительно вращени вектора сигнала Upei,.| . Вращение вектора сигнала происходит вследствие изменени по амплитуде отраженного сигнала ) в функции перемещени . Изменение фазы результирующего гармонического сигнала иреэ.г (фиг.2) определ етс выражением
Ч. -arctg SiS- il°------ (2)
- fl;fe
где cf изменение фазы результирующего сигнала Vpt.z выхода второго сумматора 10; (02 - сдвиг фаз между гармоническими сигналами )-; и (х) - гармонический сигнал с выхода фотоприемника 3 отраженного сигнала, сдвинутый по фазе вторым фазовращателем 6 и промодулированный по амплитуде в функции пе-п ремещени .
и
Результирующие сигналы Upjj ,
с выходов сумматоров 9 и 10 подаютс на входы регистрирующего пркбо- налами Upe., и U-g, ра -фазометра 11, с выхода которого близок к 360°, т.е.
снимаетс зависимость разности фаз между двум результирующими сигналами от измер емого перемещени Cf f(х). В результате одновременного вращени двух результирующих векторов
45 Из векторной диа из выражени (3) сл тического датчика п вым выходом диапазо ности фаз между рез
повьш1енной в два ра ностью преобразован
55 Формул а из
и
рем
и Upe,,
разных направлени х
приращение фазы между результирующими сигналами ц tf, + и (фиг.2)
1404821
измен етс
с удвоенной скоростью и
определ етс функцией преобразовани
sin Vo
Ч 4, + g)j arctg
COSVo,
иДхУ
sin Voz
cosV- +
. )
(3)
5
0
Повьпиение линейности выходной характеристики датчика достигаетс путем выбора необходимых углов сдвига фаз (0, и Cj o между сигналами и и, (х)-, UQ и ) с помощью фазовращателей 5 и 6 и изменением с помощью масштабирующих звеньев 7 и 8 амплитуды сигналов U, (х) и и,(х) таким образом, чтобы отношени сигнаUon
лов - и, (х)
и
Ула.- U(x)
были равны 1 в
точке Хр- (точка баланса), равной 2/3
диапазона измерени
а 2,3 X,) .
При изменении мощности источника 2 излучени вследствие ухода его собственных параметров, изменени температуры и т.д., например, в сторону
0
увеличени , измен ютс одну и ту же сторону и сигналы и
on
по величине в гармонические и UQT. (х) с выходов фото- 3 опорного
приемников 4 и 3 опорного и отраженного сигналов, а отношение сигналов и on
5 UoTp (х)
(вход щие в выражение (3) в
„ и on
виде отношении и, х)
и
,
U2
остаетс
налами Upe., и U-g, близок к 360°, т.е.
практически посто нным и фаза if между результирующими сигналами Upg, , и Upe, 2 остаетс при этом неизменной, т.е. исключаетс вли ние изменени мощности источника излучени на результат измерени .
Из векторной диаграммы (фиг.2) и из выражени (3) следует, что у оптического датчика перемещений с фазовым выходом диапазон изменени разности фаз между результирующими сиг- больше 180° и
датчик обладает
повьш1енной в два раза чувствительностью преобразовани .
55 Формул а изобретени
Оптический датчик перемещений с фазовым выходом, содержащий источник переменного напр жени , излучатель
UffX}
Claims (1)
- Формула изобретения ’^04821 светового потока, вход которого св я-, зан с выходом источника переменного напряжения, первый фотоприемник, оптически связанный с излучателем светового потока, второй фотоприемник, первый фазовращатель и фазометр*, отличающийся тем, что7~ с целью расширения диапазона измерений, он снабжен вторым.фазовраща- 10 телем, первым и вторым масштабирующими звеньями, первым и вторым сумматорами, выходы которых связаны соответственно с первым и вторым входами фазометра, первые входы - с выходами первого и второго масштабирующих g звеньев соответственно, вторые входы с выходом второго фотоприемника, оптически связанного с излучателем светового потока, выход первого фотоприемника связан с входами первого и второго фазовращателей, выходы которых связаны с входами первого и второго масштабирующих звеньев соответственно.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864116731A SU1404821A1 (ru) | 1986-09-11 | 1986-09-11 | Оптический датчик перемещений с фазовым выходом |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864116731A SU1404821A1 (ru) | 1986-09-11 | 1986-09-11 | Оптический датчик перемещений с фазовым выходом |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1404821A1 true SU1404821A1 (ru) | 1988-06-23 |
Family
ID=21256275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864116731A SU1404821A1 (ru) | 1986-09-11 | 1986-09-11 | Оптический датчик перемещений с фазовым выходом |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1404821A1 (ru) |
-
1986
- 1986-09-11 SU SU864116731A patent/SU1404821A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР 1226060, кл. G 01 В 21/00, 1984. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070233413A1 (en) | Signal processing method and apparatus for use in real-time subnanometer scale position measurements with the aid of probing sensors and beams scanning periodically undulating surfaces such as gratings and diffraction patterns generated thereby, and the like | |
SU1404821A1 (ru) | Оптический датчик перемещений с фазовым выходом | |
CN111751610B (zh) | 实现非互易动态相位调制的光纤电流传感器及解调方法 | |
KR900005640B1 (ko) | 변위의 광학적 측정방법 및 측정장치 | |
CN208671919U (zh) | 一种光纤位移传感探头及光纤位移传感系统 | |
SU763680A1 (ru) | Фотоэлектрический блок к устройству дл измерени перемещений | |
CN108709506A (zh) | 一种光纤位移传感探头及光纤位移传感系统 | |
SU1244485A1 (ru) | Способ измерени перемещени растрового преобразовател | |
SU451039A1 (ru) | Фотоэлектрическа автоколлимационна насадка | |
SU1097896A1 (ru) | Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени | |
JPH0743404A (ja) | 位相差検出方法、位相差検出回路、および位相差検出装置 | |
SU1116309A1 (ru) | Фотоэлектрический датчик перемещений | |
SU1693372A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещени | |
RU1803736C (ru) | Оптический датчик перемещений с фазовым выходом | |
SU1536205A1 (ru) | Датчик перемещени с фазовым выходом | |
SU838323A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени гЕОМЕТРичЕСКиХ пАРАМЕТРОВ пОВЕРХНОСТЕй | |
SU1260664A1 (ru) | Способ преобразовани перемещение - фаза | |
SU808836A1 (ru) | Устройство дл измерени малыхуглОВыХ пЕРЕМЕщЕНий | |
SU1246011A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени силы тока | |
SU1567888A1 (ru) | Оптико-электронное углоизмерительное устройство | |
SU1245884A1 (ru) | Устройство дл измерени геометрических параметров | |
SU1534309A1 (ru) | Измеритель фазы пространственной гармоники оптического волнового процесса с заданным периодом колебаний в реальном масштабе времени | |
SU1627836A1 (ru) | Двойной двухлучевой интерферометр дл измерени толщины покрытий | |
SU1241064A2 (ru) | Оптико-электронный преобразователь угла поворота в электрический сигнал | |
SU1589056A1 (ru) | Оптический датчик перемещений с фазовым выходом |