SU1392645A1 - Method of measuring transverse distribution of charges in charged particle beams - Google Patents
Method of measuring transverse distribution of charges in charged particle beams Download PDFInfo
- Publication number
- SU1392645A1 SU1392645A1 SU864140760A SU4140760A SU1392645A1 SU 1392645 A1 SU1392645 A1 SU 1392645A1 SU 864140760 A SU864140760 A SU 864140760A SU 4140760 A SU4140760 A SU 4140760A SU 1392645 A1 SU1392645 A1 SU 1392645A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- distribution
- ionization
- formed during
- particles
- electric field
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к технической физике. Способ измерени поперечного распределени зар дов в пучках (П) зар женных частиц (Ч) реализован в устройстве. Образующиес при ионизации исследуемым П 1 остаточного газа Ч 1, и 1г в извлекающем электрическом поле конденсатора 2 приобретает различную энергию в зависимости от места их возникновени . Проход через формирукщую щель (ФЩ) 3, они образуют ленточный П, пространственное распределение Ч в котором соответствует распределению Ч в исследуемом П в направлении, перпендикул рном направлению извлечени , а распределение Ч по энергии соответствует распределению Ч в исследуемом П в направлении, параллельном направлению извлечени . В отсутствие отклон ющего электрического пол конденсатора 4 Ч 1, и 1 образуют на измерительных электродах коллектора 5 од- нокоординатное распределение, соответствующее распределению Ч в исследуемом П в направлении, перпендикул рном направлению извлечени (l , ,1). Посто нное электрическое поле конденсатора 4, перпендикул рное ФЩ 3, отклон ет Ч 1 и 1 на различные углы в зависимости от их энергии и на измерительных электродах коллектора 5 образуетс двухмерное распределение и 1, и Ij , соответствующее распределению Ч в поперечном сечении исследуемого П. Изобретение повышает быстродействие способа и упрощает его реализацию . 1 з.п. ф-лы, 2 ил. ё С/ сThis invention relates to technical physics. The method of measuring the transverse distribution of charges in beams (P) of charged particles (P) is implemented in the device. The residual gas P 1 formed during the ionization of the test P 1 and 1 g in the extracting electric field of the capacitor 2 acquires different energy depending on the place of their origin. The passage through the forming gap (FSC) 3, they form a ribbon P, the spatial distribution of Ч in which corresponds to the distribution of в in the test P in the direction perpendicular to the direction of extraction, and the distribution of H in energy corresponds to the distribution of in the test P in the direction parallel to the extraction . In the absence of an electric field deviating capacitor, 4 × 1 and 1 form, on the measuring electrodes of the collector 5, a one-coordinate distribution corresponding to the distribution of H in the test P in the direction perpendicular to the extraction direction (l,, 1). The constant electric field of the capacitor 4, perpendicular to FSH 3, deflects H 1 and 1 to different angles depending on their energy and on the measuring electrodes of the collector 5 a two-dimensional distribution is formed and 1 and Ij corresponding to the distribution of H in the cross section of the studied P. The invention improves the speed of the method and simplifies its implementation. 1 hp f-ly, 2 ill. ё С / с
Description
сгsg
Изобретение относитс к технической физике, в частности к ускорительной технике, и может быть использовано на ускорител х различных типов дл контрол пространственных параметров пучка ускоренных частиц.The invention relates to technical physics, in particular to accelerator technology, and can be used on accelerators of various types for monitoring the spatial parameters of an accelerated particle beam.
Цель изобретени - повышение быстродействи способа и упрощение его реализации.The purpose of the invention is to increase the speed of the method and simplify its implementation.
На фиг.1 и 2 приведено схематическое изображение двух проекций устройства, реализующего данный способ измерени .Figures 1 and 2 are a schematic representation of two projections of a device implementing this method of measurement.
На фиг.1 и 2 представлены исследуемый пучок 1, конденсатор, формирующий извлекающее электрическое поле 2, формирующа щель 3, конденсаj ВИЯ н не содержит, в частности, источников питани и регистрирующей ап паратуры. В качестве матричного коллектора может быть применен электронно-оптический преобразователь сFigures 1 and 2 show the beam 1 under study, the capacitor forming the extracting electric field 2, forming the slit 3, the condensate VIYn and does not contain, in particular, power sources and recording equipment. As a matrix collector, an electron-optical converter with
тор 4, Формирующий отклон ющее электпп последующей регистрацией оптического рическое поле, измерительные электро- и torus 4, which forms the deflecting elec tropic optical field followed by recording, measuring electrical and
изображени телевизионной техникой. В этом случае на экране телевизионно го монитора будет стационарное изображение поперечного распределени в исследуемом пучке. Пространственное разрешение предлагаемого способа зависит от напр женности извлекающего пол и размеров формирующей щели. При напр женности пол - 1 кв/см и поперечном размере щели 1 мм пространственное разрешение способа измерени поперечного распределени -г. 1 мм х X 1 мм. При характерных размерах 100 мм врем формировани распределени образующихс при ионизации частиц на измерителып-jx электродах матричного коллектора при извлечении ионов составл ет не, при извлечении электронов это врем уменьшаетс до значени 2-5 не.images of television equipment. In this case, on the television monitor screen there will be a stationary image of the lateral distribution in the beam under study. The spatial resolution of the proposed method depends on the intensity of the extracting floor and the size of the forming gap. With a field strength of 1 kV / cm and a transverse slot size of 1 mm, the spatial resolution of the method of measuring the transverse distribution is g. 1 mm x X 1 mm. With typical sizes of 100 mm, the time of formation of the distribution of particles formed during ionization on the measuring-jx electrodes of the matrix collector when ions are extracted is not, when electrons are extracted, this time decreases to a value of 2-5.
1. ды матричного коллектора 5, 1 , образующиес при ионизации частицы.1. dies of the matrix collector 5, 1, formed during the ionization of the particle.
Способ осуществл ют следующим образом .The method is carried out as follows.
Образующиес при ионизации иссле- дуемым пучком 1 остаточнбго газа частицы 1Particles 1 formed during ionization by the beam 1 under investigation by the remaining gas
1 one
в извлекающем электричесin extracting electrical
ком поле конденсатора 2 приобретают различную энергию в зависимости от места их возникновени . Проход через Лормирующую щель 3, они образуют ленточный пучок, пространственное распределение частиц в котором соответствует распределению частиц в исследуемом пучке в направлении, перпендикул рном направлению извлечени а распределение частиц по энергии соответствует распределению частиц в исследуемом пучке в направлении, параллельном направлению извлечени . В отсутствие отклон ющего электрического пол конденсатора 4 возникающие при ионизации частицы 1 , Ij образуют на измерительных электродах коллектора 5 однокоординатное распределение , соответствующее распределению частиц в исследуемом пучке в направлении , перпендикул рном направлению извлечени (1 , Ij ) . Посто нное электрическое поле конденсатора 4, перпендикул рное к Лорнирующей щели 3, отклон ет возникающие при ионизации частищ.1 If , 1 на различные углы в зависимости от их энергии, т.е. в зависимости от места их возникновени . Таким образом, на измерительных электродах матричного коллектора 5 образуетс двухмерное распределение воз11 1The field of capacitor 2 acquires different energy depending on the place of their occurrence. Passing through the Lorm of the slit 3, they form a ribbon beam, the spatial distribution of particles in which corresponds to the distribution of particles in the beam under study in the direction perpendicular to the direction of extraction, and the distribution of particles in energy corresponds to the distribution of particles in the beam under study in a direction parallel to the direction of extraction. In the absence of a capacitor 4 deviating an electric field, the particles 1, Ij arising during ionization form on the measuring electrodes of the collector 5 a one-coordinate distribution corresponding to the distribution of particles in the beam under study in the direction perpendicular to the direction of extraction (1, Ij). The constant electric field of the capacitor 4, which is perpendicular to the Lorniing slit 3, deflects the particles.1 If, 1 that appear during ionization at different angles depending on their energy, i.e. depending on the place of their occurrence. Thus, on the measuring electrodes of the matrix collector 5, a two-dimensional distribution of air is formed.
никающих при ионизации частиц 1 , 1particles with ionization 1, 1
соответствующее распределению частиц в поперечном сечении исследуемого пучка. Нелинейность отклонени corresponding to the distribution of particles in the cross section of the beam under study. Nonlinearity of deviation
у ; где ai - угол от.клонени , hy where ai is the angle of deviation, h
Е - энерги частицы, может быть учтена , например, соответствующим размещением электродов матричного коллектора 5 либо при дальнейшей обработке информации средствами вычислительной техники.Е - energy of a particle, can be taken into account, for example, by appropriate placement of the electrodes of the matrix collector 5 or during further processing of information by means of computer technology.
Схема измерител иллюстрирует принцип предлагаемого способа измереВИЯ н не содержит, в частности, источников питани и регистрирующей аппаратуры . В качестве матричного коллектора может быть применен электронно-оптический преобразователь сThe meter diagram illustrates the principle of the proposed method of measurement. It does not contain, in particular, power sources and recording equipment. As a matrix collector, an electron-optical converter with
последующей регистрацией оптического subsequent registration of the optical
изображени телевизионной техникой. В этом случае на экране телевизионного монитора будет стационарное изображение поперечного распределени в исследуемом пучке. Пространственное разрешение предлагаемого способа зависит от напр женности извлекающего пол и размеров формирующей щели. При напр женности пол - 1 кв/см и поперечном размере щели 1 мм пространственное разрешение способа измерени поперечного распределени -г. 1 мм х X 1 мм. При характерных размерах 100 мм врем формировани распределени образующихс при ионизации частиц на измерителып-jx электродах матричного коллектора при извлечении ионов составл ет не, при извлечении электронов это врем уменьшаетс до значени 2-5 не.images of television equipment. In this case, a stationary image of the lateral distribution in the beam under study will be displayed on the screen of the television monitor. The spatial resolution of the proposed method depends on the intensity of the extracting floor and the size of the forming gap. With a field strength of 1 kV / cm and a transverse slot size of 1 mm, the spatial resolution of the method of measuring the transverse distribution is g. 1 mm x X 1 mm. With typical sizes of 100 mm, the time of formation of the distribution of particles formed during ionization on the measuring-jx electrodes of the matrix collector when ions are extracted is not, when electrons are extracted, this time decreases to a value of 2-5.
Таким образом, в данном способе измерени поперечного распределени врем формировани распределени возникающих при ионизации частиц на коллекторе ограничено лишь временем движени этих частиц от места возникновени до коллектора, что позвол ет обеспечить непрерывный контроль быст- ропеременн1-,1х пучков с указанной временной задержкой. Кроме того, отсутствие высоковольтного генератора переменного напр жени существенно упрощает реализацию предлагаемого способа .Thus, in this method of measuring the lateral distribution, the time of formation of the distribution of particles arising during ionization at the collector is limited only by the time of movement of these particles from the place of origin to the collector, which allows continuous control of fast-alternating, 1x beams with a specified time delay. In addition, the absence of a high voltage alternating voltage generator greatly simplifies the implementation of the proposed method.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864140760A SU1392645A1 (en) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | Method of measuring transverse distribution of charges in charged particle beams |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864140760A SU1392645A1 (en) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | Method of measuring transverse distribution of charges in charged particle beams |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1392645A1 true SU1392645A1 (en) | 1988-04-30 |
Family
ID=21265087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864140760A SU1392645A1 (en) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | Method of measuring transverse distribution of charges in charged particle beams |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1392645A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2515466C1 (en) * | 2012-12-28 | 2014-05-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Method for assessment of ion beam distribution for tandem electrostatic accelerator at irradiation sample |
-
1986
- 1986-10-29 SU SU864140760A patent/SU1392645A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Михайлов В.Г. и др. Высокочувствительный профилометр дл т желенного синхротрона. Труды IV Всесоюзного совещани по ускорител м зар женных частиц, Дубна, т. 1, 1985, с. 83. Авторское свидетельство СССР № 556697, кл. Н 05 Н 7/00, 1969. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2515466C1 (en) * | 2012-12-28 | 2014-05-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Method for assessment of ion beam distribution for tandem electrostatic accelerator at irradiation sample |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH11326247A (en) | Substrate-inspection device and substrate-inspection system provided therewith and substrate-inspection method | |
DE69209196T2 (en) | Ion implantation device | |
JPS63503340A (en) | Implantation dose measurement and uniformity monitoring device for ion implantation | |
EP0661727A3 (en) | Scanning electron microscope | |
US3881108A (en) | Ion microprobe analyzer | |
US4952803A (en) | Mass Spectrometry/mass spectrometry instrument having a double focusing mass analyzer | |
SU1392645A1 (en) | Method of measuring transverse distribution of charges in charged particle beams | |
JP2641437B2 (en) | Charged particle beam equipment | |
JP2624854B2 (en) | Secondary ion mass spectrometer | |
JPS6082956A (en) | Ac modulation type quadrupole mass spectrometer | |
Braams et al. | Composition of Noble Gas Ion Beams Produced with a Duoplasmatron | |
US3284629A (en) | Mass filter having an ion source structure with preselected relative potentials applied thereto | |
JPH04282547A (en) | Ion implanting device | |
JP2865327B2 (en) | Particle beam measurement device | |
DE69121374T2 (en) | Device and method for ion implantation | |
US3096438A (en) | Apparatus for the mass analysis of plasmas on a continuous basis | |
Lövestam et al. | Proton microprobe PIXE-analyses of single aerosol particles | |
JPS6240369A (en) | Ion implantation device | |
JPH0754683B2 (en) | Antistatic method | |
US3465142A (en) | Mass spectrometer magnetic analyzer having pole pieces composed of spaced paramagnetic laminae | |
Sarraf et al. | Resolving the positive, negative, and neutral fluxes of an expanding, laser‐produced plasma | |
JPS5946550A (en) | Mass analyzer | |
JPS60189855A (en) | Secondary electron detector | |
JPS6360497B2 (en) | ||
Short et al. | Monitor for displaying real-time images of low energy ion beams |