SU1372098A1 - Способ получени вакуума - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к способам получени  сверхвысокого вакуума при помощи низких т-р. Цель изобретени  - повышение предельного вакуума, Емкое ь 2, разметенна  в теплоизолированном кожухе 1 , заполн етс  жидкостью 6. В кожух заливаетс  хладагент . После образовани  на стенках емкости кристаллизационного сло  жидкость из емкости удал етс  в резервуар 5, а т-ра сте}шк емкости еще более понижаетс , достига  т-ры хладагента . В результате в емкости 2 остаточное давление определ етс  давлением насыщенных паров жидкости при т-ре хладагента, поскольку газовыделение со стенок исключаетс  вследствие наличи  сло  замерзшей жидкости на стенках емкости, 2 ил.

Description

J г //.

/ / кЧ

.1

(Л

г

СХХХХХ

ооооск

Фиг.1

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к способам получени  сверхвысокого вакуума при помощи низких температур.

Целью изобретени   вл етс  повышение предельного вакуума.

На фиг.1 представлена схема устройства , реализующего предлагаемый способ, в положении, соответствующем промежуточной операции способа; на фиг.2 - то же, после окончани  реализации способа.

Устройство содержит теплоизолированный кожух.1 с размещенной в нем емкостью 2, снабженной трубопроводами с запорной арматурой - вентил ми 3 и 4. Один из трубопроводов через вентиль 3 сообщаетс  с атмосферой , другой через вентиль 4 - с жидкостным резервуаром 5, заполненным жидкостью 6 и имеющим трубопровод с вентилем 7, сообщающим резервуар 5 либо с атмосферой, либо с вакуумным насосом.

Способ реализуетс  следующим образом .

Обезгаженна  в резервуаре 5 жидкость 6 подаетс  в емкость 2, заполн   ее полностью и вытесн   из нее

J х

весь воздух через вентиль 3 в атмосферу . Вентили 3 и 4 закрываютс  и в кожух 1 заливаетс  хладагент, например жидкий азот. После образовани  на стенках емкости 2 кристаллизационного сло  жидкость 6 из емкости 2 удал етс  в резервуар 5, а температура стенок емкости еще более понижаетс , достига  температуры хладагента . В результате в емкости 2 остаточное давление определ етс  давлением насыщенных паров жидкости 6 при температуре хладагента, поскольку газо- вьщеление со стенок исключаетс  вследствие наличи  сло  замерзшей жидкости на стенках емкости.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ получени  вакуума путем заполнени  емкости и последующего удалени  из нее жидкости, отличающийс  тем, что, с целью повышени  предельного вакуума, после заполнени  емкости ее стенки охлаждают до образовани  на них кристаллизационного сло , а после удалени  жидкости осуществл ют дальнейшее понижение температуры стенок емкости.

   7

   (