SU1365179A1 - Электростатическа отклон юща система с совмещенными центрами отклонени и способ отклонени пучка зар женных частиц в этой системе - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к электронно-лучевым приборам и может быть использовано при разработке систем отклонени  луча зар женных частиц, в частности , с помощью электростатических отклон ющих систем с одновременным отклонением в двух направлени х и совмещенными центрами отклонени , предназначенных дл  приборов различного назначени . Цель изобретени  - тиень- юение нелинейности отклонени  пучка зар женных частиц при сохранении размеров растра - достигаетс  за счет использовани  предложенной конфигурации электродов и подбора определенного распределени  потенциала на этих электродах . Предложенна  отклон юща  система состоит из электродов 1-8, подсоединенных к источникам 9 и 10 питани . Угловые электроды 1,3, 5 и 7 выполнены в виде двухгранников, а электроды 2, 4, 6и8-в виде плоских пластин. При этом грани угловых электродов в плоскости электродов-пластин 2, 4, 6 и 8 параллельны продольной оси системы. Способ предусматривает подачу на электроды таких значений потенциалов, которые обеспечиваюг минимальную величину неоднородности пол . Особенности реализации способа привод тс  в описании изобретени . 2 с.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил. Ф (Л оо о:) ел ;о

Description

дг

J11

Изобретение относитс  к электроннолучевым приборам и может быть использовано при разработке систем отклонени  пучка зар женных частиц, в ча- стности, с помощью электростатических отклон ющих систем с одновременным отклонением в двух направлени х и совмещенными центрами отклонени  предназначенных дл  приборов различ- ного назначени .

Целью изобретени   вл етс  уменьшение нелинейности отклонени  пучка зар женных частиц при сохранении размеров растра,

Цель достигаетс  за счет использовани  специальной кофигурации электродов и подбора определенного распределени  потенциалов на них.

На чертеже представлены электроды предложенной системы, поперечное сечение . Система состоит из электродов 1-8, присоединенных к источникам 9 и 10 питани . Угловые электроды 1,3, 5 и 7 выполнены в виде двухгранни- ков, а электроды 2, 4, 6и8-в вид плоских пластин о Грани угловых электродов и плоскости электродов-пластин 2, 4, 6 и 8 параллельны продольной оси системы. Зазоры между электр дами малы по сравнению с шириной электродов . Поперечные сечени  электродов попарно-симметричны относительно двух взаимно-перпендикул рных плоскостей , проход щих через ось системы

Устройство работает следующим образом .

При необходимости отклонени  пучк на электроды 2, 6 и 4, 8 подаютс  потенциалы , и ., а на электро- ды 1, 5 и 3, 7 соответственно, потенциалы +Ui и +и, подобранные в зависимости от значений V, и V. Как показывают расчеты в пространстве между электродами увеличиваетс  получение элек- трического пол  высокой однородности. Так, в области до половины апертуры а

792

системы неоднородность пол  составл ет менее 1%,в области до 0,6 а 3%,до 0, 7, 5% и т.д.,что значительно меньше , чем в известных системах. Этот выигрыш в однородности пол  приводит к уменьшению нелинейности отклонени , котора  при сохранении размеров растт- ра в первом приближении пропорциональна неоднородности пол .

Способ отклонени  пучка зар женных частиц в электростатической системе с совмещенными центрами состоит в том, что при оговоренных в формуле соответственных размерах электродов системы на них подаютс  такие значени  потенциалов, которые обеспечивают минимальную величину неоднородности пол .

Способ осуществл ют следующим образом .

В случае системы с квадратной апертурой () и 1, j 1 i мини- мальна  неоднородность достигаетс  пр

значени х

f

и, I (V,- V,) и Е

П I. Cv - V ) 7 2 1

где - числовой коэффициент, определ емый в процессе расчета пол  в межэлектродном пространстве.

Результаты расчетов показьгоают, что дл  рассматриваемого случа  оптимальным  вл етс  соотношение

- 0,375 и значени  потенциалов U

Si

0,827(V,- V,j), Uj 0,827-(V,+ V ) Неоднородности пол  JE, отнесенные к напр женности пол  на оси системы Е в зависимости от относительного

о

X у

рассто ни  - - до оси приведены в

- а D таблице.

Неоднородность пол  в предлагаемой электростатической отклон ющей системе с совмещенными центрами отклонени 

до рассто ни  от оси, равного примерно половине апертуры, одинакова, при дальнейшем увеличении рассто ни  от

313651

оси она становитс  в 1,7-3 раза меньше , чем у известной системы. Это означает , что по крайней мере во столько раз нелинейность отклонени  предлагаемой системы меньше, чем у известной при одинаковом с ним размере растра .

Таким образом, реализаци  предложенного решени  позвол ет значитель- Q но уменьшить нелинейность отклонени  пучка зар женных частиц.

Claims (2)

1. Электростатическа  отклон юща  система с совмещенными центрами отклонени , содержаща  восемь электродов, попарно симметричных относительно двух взаимно перпендикул рных плос- костей, отличающа с  тем что, с целью уменьшени  нелинейности отклонени  пучка зар женных частиц при сохранении размера растра, упом нутые электроды имеют плоские ра- бочие поверхности, параллельные линии пересечени  указанных плоскостей симметрии , при этом четыре угловых электрода выполнены в виде двухгранни- ков, четыре остальных электрода - в виде плоских пластин, поперечные сечени  электродов расположены вдоль пр моугольного контура со сторонами 2а и 2в, параметры а и b и ширина 211 и 212 плоских электродов, приле

794

гающих, соответственно к сторонам 2а и 2Ь, контура удовлетвор ют соотношени м

1 . .1,75;

i 0,21; J .0,47.

2. Способ отклонени  пучка зар женных частиц в электростатической системе с совмещенньии центрами отклонени  путем подачи на попарно симметричные относительно центров отклонени  одинаковых по величине и противоположных по знаку потенциалов, значени  которых соответствуют требуемому отклонению пучка, отличающийс  тем, что с целью уменьшени  нелинейности отклонени  пучка при сохранении размеров растра, на плоские электроды с шириной 21, и 21 подают соответственно потенциалы +V и -tVj, а на угловые электроды , расположенные между плоскими электродами,с потенциалами V и -Vi и Vj , Vi и - Vj , -V, и -V подают соответственно потенциалы U., -U,, и, и -U j, удовлетвор ющие соотношени м

и iiY. „ iiYiiiiY2

л 2 2 где 1,7 0,40; 1, 2,0.