SU1355866A1 - Устройство дл измерени толщины покрыти - Google Patents
Устройство дл измерени толщины покрыти Download PDFInfo
- Publication number
- SU1355866A1 SU1355866A1 SU864057579A SU4057579A SU1355866A1 SU 1355866 A1 SU1355866 A1 SU 1355866A1 SU 864057579 A SU864057579 A SU 864057579A SU 4057579 A SU4057579 A SU 4057579A SU 1355866 A1 SU1355866 A1 SU 1355866A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- detector
- input window
- plane
- distance
- collimator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, к области- исследовани материалов с помощью отражен- ного излучени , а именно к средствам измерени толщины покрыти . Целью изобретени вл етс повьг- тение точности измерени толщины покрытий на издели х сложной формы путем уменьшени вли ни изменений рассто ни до объекта контрол . Рентгеновское излучение источника 4 через, коллиматор 5 попадает на объект 1 контрол и, рассе вшись на нем, попадает во входное окно 7 детектора 6. Детектор расположен в корпусе 2 на ра ссто нии h (1 + 0/2)/- мезвду плоскостью входного окна 7 детектора , 6 и плоскостью входного окна 3 корпуса 2, где 1-рассто ние от оси коллиматора до входного окна детектора; D - диаметр входного окна детектора. 5 ил. W со ел ел 00 О5 а Фие.1
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, к области исследовани материалов с помощью отраженного излучени , в частности к средствам измерени толщины покрыти .
Цель изобретени - повьшение точности измерени покрытий на издели х сложной формы путем устпа- нени вли ни изменений рассто ни до объекта контрол .
На фиг. 1 изображено устройство дл измерени толщины покрыти ; на фиг.2- зависимость величины телеснбго угла 57 от рассто ни h от плоскости вход- него окна детектора до контролируемого покрыти ; на фиг. 3 - зависимость
Г-N
плотности потока „ отраженного излу , i чени от рассто ни п от плоскости
входного окна детектора до контролируемого издели ; на фиг. 4 - зависимость величины потока.отраженного излучени , регистрируемого детектором , от рассто ни h ; на фиг. 5 - зависимость методической ошибки измерени толисины покрыти от рассто ни h .
Устройство дл измерени толщины покрыти , содержит располагаемые по одну сторону от объекта 1 контрол корпус 2 с входным окном 3, источник 4 ионизирующего излучени с коллиматором 5 и детектор 6.
Дете ктор 6 расположен в корпусе 2 на рассто нии
h
1
+ D/2 между плоскостью входного окна 7 детектора 6 и плоскостью входного окна 3 корпуса 2 (1 - рассто ние от оси коллиматора 5 до входного окна 7 . детектора 6; D - диаметр входного окна детектора).
Коллиматор 5 ориентирован таким образом, что плоскость среза его выходной части проходит через точку пересечени образующей коллимационного отверсти 8 с плоскостью входного окна 3 корпуса 2 под углом
oi- arctg+ d/2
h
где d - диаметр коллимационного отверсти 8, и перпендикул рна плоскости, проход щей через ось коллиматора 5 и центр входного окна 7 детектора 6.
0
5
0
Устройство работает следующим образом .
Поток рентгеновского излучени источника 4, (например, трубки с выносным анодом) направл ют через отверстие 8 коллиматора 5 на поверхность контролируемого объекта 1 с покрытием 9. Отраженное от контролируемого объекта излучение через окна 3 и 7 попадает на детектор 6, причем на детектор попадают кванты, отраженные только в угле со . Электрические импульсы , соответстпующие зарегистрированным квантам отраженного излучени , с выхода детектора 6 поступают на пересчетную схему (не показана). Количество зарегис:трированных квантов отраженного излуч(ни характеризует толнщну покрыти ,
При удалении устройства от конт- .ролируемого издели происход т два процесса: изменение телесного угла П. регистрации квантов отраженного из- 5 лучени детектором 6 от рассто ни h от детектора 6 до контролируемого издели 1 (крива на фиг. 2); увеличение плотности потока отраженного излучени в единичный телесный угол 0 в пределах угла СО за счет уменьшени поглощени отраженного излучени материалом покрыти из-за уменьшени пути, пройденного квантами отраженного излучени в .материале покрыти с уменьшением углаci(крива на фиг. 3).
Существует некоторое оптимальное рассто ние h, при котором с увеличением рассто ни h от входного окна детектора до контролируемого объекта 1 количество зарегистрированных кван-, тов отражённого излучени детектором 6 не зависит от положени объекта относительно входного окна устройства (фиг. 4). Оптимальное рассто ние характеризуетс выражением
1 + D/2 - -„. ,
5
0
5
h
где I - рассто ние от оси коллиматора до входного окна детектора;
D - диаметр входного окна детектора ,
и определ ет рассто ние между плоскостью входного окна 3 устройства и Плоскостью входного окна 7 детектора 6 .,Это рассто ние соответствует точке К перегиба кривой (фиг. 2) зависимости величины телесного угла п. от рассто ни h от входного окна детек ,.тора до контролируемого объек-та 1 .
.При увеличении h больше h, соответствующего точке К перегиба .
(фиг. 2) и определенного по указанному соотношению, величина телесного угла уменьшаетс , а плотность потока отраженного излучени возрастает (фиг. 3). В пределах рассто ний h , превьштающих h на 1-2 см, величина потока отраженного излучени , зарегистрированного детектором 6, не зависит от положени контролируемой по- верхности объекта относительно входного окна устройства, так как происходит взаимна компенсаци двух процессов.
Указанное соотношение может быть определено следующим путем.
Величина теттесного угла Q дл указанных на фиг. 1 обозначений может быть записана как
а
4(h ):
.+ (1 + В/2)
Вз в Лроизводную и приравн в нулю:
(h )2 + (1 + D/2) (h )2 + + (1 + D/2)2. - 3(h )0 0, получают 2(h )2 (1 + 0/2);
, , 1 +D/2 h h .
Методическа ошибка измерени толщины покрыти минимальна в пределах плато кривой на фиг. 5. Плато начинаетс при h h. Ширина плато, в котором наблюдает,с минимум ошибки измерени определ етс величинами 1, D и завис щей от ник величиной h устройства.
Коллиматор в данном устройстве имеет длину, равную рассто нию от источника 4 излучени , до входного окна 3 устройства. При этом он усечен плоскостью, проход щей через точку А пересечени внутренней образую- щей коллимационного отверсти диаметром d с плоскостью входного окна 3
1 +d/2 устройства под углом «6 arctg-г
и перпендикул рной плоскости, проход щей через ось коллиматора и центр входного окна 7 детектора 6.
Угол, под которым усечен коллиматор , может быть определен из фиг. 1,
При выполнении угла si ; arctg-
увеличиваетс площадь контрол , что ухудшает точность измерени на издели х с малым радиусом кривизны.
1 + d/2 h
При вьтолнении угла ci arctg
детектор затен етс коллиматором источника , что приводит к ухудшению точ ности измерени толпщны из-за очень малого диапазона возможных изменений рассто ни входное окно устройства - контролируемый объект (как это имеет место в известном устройстве).
Формула Изобретени
Устройствр дл измерени толщины покрыти , содержащее располагаемые по одну сторону от объекта контрол корпус с входным окном, источник ионизирующего излучени с коллиматором и детектор, отличающеес тем, что, с целью повьшени точности измерени толщины покрытий на издели х сложной формы, детектор расположен в корпусе на рассто нии h (L + D/2)/-42 от плоскости входного окна детектора до плоскости входного окна корпуса, где 1 - рассто ние от оси коллиматора до входного окна детектора, D - диаметр входного окна детектора, а коллиматор ориентирован таким образом, что плоскость среза его выходной части проходит через точку пересечени образующей коллимационного отверсти с плоскостью входного окна корпуса под углом к этой плоскости
об arctg + d/2 h
где d - диаметр коллимационного-отверсти , ,и перпендикул рна плоскости, проход щей через ось коллиматора и центр входного окна детектора.
fl W po9
,3 ,2 ,
W 0,9
N JT
отн.ед.
0,3
OJ
o.s
0 1 i 3 I, 5 h ,CH 0,7 Фие. г
rf.%
п
к
к
Составитель В. Парнасов Редактор А. Огар Техред И.Верес КорректорК. Шароши
Заказ 5767/37 Тираж 677Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113f)35, MocKia, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
1231,} Фи( .3
If (рое. 5
h ,:H
Claims (1)
- Формула изобретения тличающецелью повышения толщины покрытийУстройствр для измерения толщины покрытия, содержащее располагаемые по одну сторону от объекта контроля корпус с входным окном, источник ионизирующего излучения с коллиматором и детектор, о е с я тем, что, с точности измерения на изделиях сложной формы, детектор расположен в корпусе на расстоянии h = (L + 0/2)/421 от плоскости входного окна детектора до плоскости входного окна корпуса, где 1 - расстояние от оси коллиматора до входного окна детектора, D - диаметр входного окна детектора, а коллиматор ориентирован таким образом, что плоскость среза его выходной части проходит через точку пересечения образующей коллимационного отверстия с плоскостью входного окна корпуса под углом к этой плоскости1 + d/2 об = arctg---£---’ где d - диаметр коллимационного-отверстия, ’ ' и перпендикулярна плоскости, проходящей через ось коллиматора и центр входного окна детектора.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864057579A SU1355866A1 (ru) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | Устройство дл измерени толщины покрыти |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864057579A SU1355866A1 (ru) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | Устройство дл измерени толщины покрыти |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1355866A1 true SU1355866A1 (ru) | 1987-11-30 |
Family
ID=21234041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864057579A SU1355866A1 (ru) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | Устройство дл измерени толщины покрыти |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1355866A1 (ru) |
-
1986
- 1986-04-17 SU SU864057579A patent/SU1355866A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент US № 3671744, кл. G 01 -В 15/02, 1972. Рум нцев С.В., Парнасов B.C. Применение бета-толщиномеров покрыти в промьшшенности. М.: Атомиздат, 1980, с. 50-52. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3936638A (en) | Radiology | |
| GB1460859A (en) | Apparatus for measuring surface stress by x-ray diffraction | |
| US2950393A (en) | Gamma compensated neutron detector | |
| Kahlon et al. | Experimental investigation of alignment of the L3 subshell vacancy state produced after photoionisation in lead by 59.57 keV photons | |
| SU1355866A1 (ru) | Устройство дл измерени толщины покрыти | |
| GB1127342A (en) | Method of and apparatus for determining the mean size of given particles in a fluid | |
| GB923630A (en) | Improvements relating to the measurement of density of fluids within a pipe or the like | |
| Parrish | X-Ray powder diffraction analysis film and Geiger counter techniques | |
| US6310937B1 (en) | X-ray diffraction apparatus with an x-ray optical reference channel | |
| US2900516A (en) | Fast neutron spectrometer | |
| JPH01227050A (ja) | 物体の密度等の測定方法と装置 | |
| US3663818A (en) | Method and apparatus for determination of a highly active element by alpha particle | |
| JP2977166B2 (ja) | 広範囲ｘ線検出器を備えたｘ線回折装置 | |
| Kennedy et al. | Parameterization of detector efficiency for the standardization of NAA with stable low flux reactors | |
| US3427451A (en) | X-ray diffractometer having several detectors movable on a goniometer circle | |
| SU881592A2 (ru) | Рентгеновский спектрометр | |
| SU693487A1 (ru) | Счетчик гейгера-мюллера с экраном | |
| SU432439A1 (ru) | Способ абсолютной калибровки нейтроннб1х спектрометров по времени пролета частиц | |
| Rietjens et al. | Influence of the distance between source and crystal on the detection-efficiency of a gamma-scintillation spectrometer | |
| SU1597539A1 (ru) | Толщиномер покрытий | |
| RU1692264C (ru) | Способ измерени скорости рел тивистских зар женных частиц | |
| Mehling et al. | Energy dependence of β-(circularly polarized γ) correlations | |
| SU1536525A1 (ru) | Устройство дл определени высокого напр жени на рентгеновской трубке | |
| FI63114B (fi) | Foerfarande foer att maeta taetheten av cylindriska kroppar | |
| US3201587A (en) | Infrared vapor monitoring system with means to control the infrared emission from the source |