SU1352097A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике .

Известен турбомолекул рный насос, содержащий вращающийс  ротор 1.

Однако в известном насосе скорость откачки ограничена.

Известен также турбомолекул рный вакуумный насос, содержащий корпус и раз- мещен1 ые в нем ротор с лопаточными дисками и установленный перед ротором лопаточный направл ющий аппарат |2.

Быстрота действи  известного насоса находитс  в пр мой зависимости от величины относительной скорости ротора к молекулам откачиваемого газа, причем опреде.- л ющей  вл етс  относительна  скорость первого роторного диска. В известной конструкции увеличение скорости ротора относительно хаотически движущихс  молекул откачиваемого газа достигаетс  за счет увеличени  скорости вращени  ротора, т.е. путем увеличени  окружной скорости роторных дисков , котора  ограничена прочностными характеристиками материала ротора.

Целью изобретени   вл етс  повыщение быстроты откачки.

Указанна  цель достигаетс  тем, что направл ющий аппарат снабжен автономным приводом встречного по отнощению к ротору вращени , а его лопатки размещены зеркально относительно лопаток дисков ротора.

На чертеже изображен предлагаемый насос , продольный разрез.

Турбомолекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенные в нем

ротор 2 с лопаточными дисками 3 и установленный перед ротором лопаточный направл ющий аппарат 4, снабженный автономным приводом 5 встречного по отнощению к ротору 2 вращени , а его лопатки б размещены зеркально относительно лопаток дисков 3 ротора 2.

При пуске насоса диски 3 и направл ющий аппарат 4 привод тс  во вращательное движение во встречных направлени х. При этом часть молекул откачиваемого газа, не сталкива сь с лопатками 6, проходит к первому роторному диску 3, а часть молекул,, сталкива сь с направл ющим аппаратом 4, получает приращение скорости в направлении его движени , и, следовательно , приведенный вектор скоростей молекул будет направлен в противоположном направлении вращению роторного диска 3, в результате чего относительна  скорость роторного диска 3 резко увеличиваетс  вплоть до величины, равной сумме средних скоростей ротора 2 и отраженных молекул. При этом благодар  тангенциальному расположению направл ющего диска молекулам газа сообщаетс  дополнительное движение в периферийную зону ротора 2, т.е. в зону максимальных окружных скоростей, что также позвол ет увеличить величину средней (расчетной) окружной скорости ротора 2 и, таким образом, увеличиваетс  величина относительной скорости.

Увеличение относительной скорости приводит к увеличению быстроты действи  насоса .

Claims (1)

1. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенные в нем ротор с лопаточными дисками и установленный перед ротором лопаточный направляющий аппарат, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки, направляющий аппарат снабжен автономным приводом встречного по отношению к ротору вращения, а его лопатки размещены зеркально относительно лопаток дисков ротора.