SU1347789A1 - Способ получени ферромагнитных пленок на твердотельных подложках - Google Patents
Способ получени ферромагнитных пленок на твердотельных подложках Download PDFInfo
- Publication number
- SU1347789A1 SU1347789A1 SU864021842A SU4021842A SU1347789A1 SU 1347789 A1 SU1347789 A1 SU 1347789A1 SU 864021842 A SU864021842 A SU 864021842A SU 4021842 A SU4021842 A SU 4021842A SU 1347789 A1 SU1347789 A1 SU 1347789A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ferromagnetic
- film
- ion
- frequency range
- solid
- Prior art date
Links
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к электротехнике , в частности к технологии получени тонких ферромагнитных пленок , и может быть использовано при Изобретение относитс к технологии получени х тонких (Ri lOOO А) магнитных пленок (ТМИ) на твердотельных подложках и может быть использовано при создании быстродействующих запоминающих устройств, примен емых в ЭВМ. Цель изобретени - расширение частотного диапазона ферромагнитной пленки. Пример. Дл получени магнитной пленки на основе железа подложку в виде плавленного кварца марки КИ, полированную с двух сторон, бомбардируют на ускорителе ИЛУ-3 ионами е с энергией кэВ, дозой 8 X 10 Fe VCM при плотности тока ионов создании регистрирующих сред дл записи магнитной и магнитооптической информации. Целью изобретени вл етс расширение частотного диапазона ферромагнитной пленки. Изобретение позвол ет формировать в твердотельной подложке на заданной глубине ферромагнитную пленку, которую можно использовать в широком частотном диапазоне при создании быстродействующих запоминающих устройств ЭВМ, приборов СЕЧ в планарных лини х: фазовращатели , СВЧ-ключи и т.д. Это достигаетс тем, что твердотельную подложку из кварца бомбардируют быстрыми ионами переходных элементов группы железа при плотност х ионного тока - ион/см с и дозах имплантации -Ю -10-1 О ион/см § (Л . с. Температура радиационного нагрева не превьплала 65 С. Методами дерного гамма-резонанса, оптической спектроскопии было подтверждено образование ферромагнитной островковой пленки металлического oi- Fe. Данные ферромагнитного резонанса показали, что толщина частиц составл ет окола 300-400 А, их диаметр 500-700 А, коэффициент заполнени по площади образца около 0,2. Вектор намагниченности лежит преимущественно в плоскости пленки. Из сн тых петель гистерезиса на частоте 75 Гц вычислены величина коэрцитивной силы Э, намагниченность на- сьщени 1, 1,47-10 Гс-см /см и от00 4 00 со
Description
HoiiiPinu ,,)Ч11ОИ нпмагииченис сти к и; ь;;1 гиич(Ч1И(и:ти насыщени T,j/Tj 0,2f, По.пучонна плеикл защищена cJIoe 11Г1Лпленного кварца толщиной Л. В качеетве материала подлож- ;п выбран кварц. Кварц - немагнитный м,чтери;и1, что вл етс необходим1 1М греГк11,чннем к нодложкам дл ТФП. Его коррозионна стойкость, механическа iipo4Hf)CTb н нзносостойкость обеспе- чивакгс Б||1сокпе экснлуатацнонные ха- р кте11игтики. Было экспериментально устано1У ен11, что при имнлантации KnaimcHofi пс дложки iioHahm магнитных илементо) удаетс создать тонкую фер- .iai-HHTHyi(i пленку (ТФП).
Бь ло
установлено также, что при
-.46
дозах имплантации меньше ион/см20
Tf in но обуктчуетс , так как в этом случае размер прс цинитатов металла меньше критического размера однодо- менности и частицы вл ютс сунерпа- рамагн тными во всем частотном диапа- зоне. 11о:зтому минимальна доза им плантации выбрана равной ион/см При дальнейшем увеличении дозы происходит увеличение размеров частиц ме
тплла и формирование ТФП. Однако при дозах более 1010 ион/см существен- 1гым становитс вление распылени защитного поверхностного сло подложки, привод щее к тому,что часть преципитатов металла выходит на поверхность. Это ухудигает химическую стойкость пленки. Поэтому верхней граничной до- и mлanтaции выбрана iO ион/см .
Редакто П.Тимонина Техред Л.Сердюкова
Заказ 6799Тираж 69АПодписное
Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГЮ1Т СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. А/5
Пр.чг волственно-издательский комбинат Патент, г.Ужгород, ул. Гагарина,101
IInoTFioc:Tb тока j в ионном нучке при заданн(и 1 доте определ ет врем облучени и температуру подложки при
ее радиационном нагреве. В процессе такого нагрева образующиес микрочастицы металла могут окисл тьс , что будет преп тствовать формированию ТФП. В св зи с этим была выбрана максимальна величина ион/см-с,
при которой температура образца не превышает . Ионна бомбардировка с малой плотностью ионного тока практически не сказываетс на магнитных характеристиках ТФП. Однако при этом дл достижени необходимой дозы необоснованно увеличиваетс врем облучени , поэтому велиffj
чину J меньше 6-10 ион/см с нецеТаким образом, данньй способ позвол ет получать ферромагнитную пленку , защищенную от внешних воздействий , которую можно использовать в широком частотном диапазоне.
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ получени ферромагнитной пленки на твердотельных подложках путем бомбардировки быстрыми ионами переходных элементов группы железа, отличающийс тем, что, с целью расширени частотного диапазо- на ферромагнитной пленки, в качестве подложки используют кварц и облучают ее при плотност х ионного тока 6 « « 10 -9 Ю ион/см. с и дозах 10-10 ион/смКорректор М.Пожо
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864021842A SU1347789A1 (ru) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | Способ получени ферромагнитных пленок на твердотельных подложках |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864021842A SU1347789A1 (ru) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | Способ получени ферромагнитных пленок на твердотельных подложках |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1347789A1 true SU1347789A1 (ru) | 1989-09-15 |
Family
ID=21221477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864021842A SU1347789A1 (ru) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | Способ получени ферромагнитных пленок на твердотельных подложках |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1347789A1 (ru) |
-
1986
- 1986-02-06 SU SU864021842A patent/SU1347789A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Праттон М. Тонкие ферромагнитные пленки. Л.. Судостроение, 1967. с. 11-27. Авторское свидетельство СССР № II14246, кл. Н 01 L 21/265, 1982. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3792452A (en) | Magnetic devices utilizing ion-implanted magnetic materials | |
US4404233A (en) | Ion implanting method | |
JPS5882225A (ja) | 磁気−光学モジユレ−タ−およびその製造方法 | |
US4520040A (en) | Ferromagnetic films for high density recording and methods of production | |
EP0135322B1 (en) | An optical magnetic recording member | |
SU1347789A1 (ru) | Способ получени ферромагнитных пленок на твердотельных подложках | |
US3472708A (en) | Method of orienting the easy axis of thin ferromagnetic films | |
US4476152A (en) | Method for production of magnetic bubble memory device | |
US20020182312A1 (en) | Method for producing magnetic information carrier | |
US4714641A (en) | Ferromagnetic films for high density recording and methods of production | |
US4227947A (en) | Method for modifying the easy direction of magnetization of an amorphous magnetic film | |
Schindler et al. | Investigations of the effects of neutron and He3 irradiation on the magnetic properties of permalloy thin films | |
JPH0644543B2 (ja) | 磁性膜デバイスの製造方法 | |
Enz | Magnetism and magnetic materials: Historical developments and present role in industry and technology | |
EP0324854A1 (en) | Optomagnetic recording medium and process for its manufacture | |
Groult et al. | Highly Energetic Heavy Ion Irradiation Effects in Ferrites | |
Muroga et al. | Surface segregation measurements during electron irradiation | |
Gordon et al. | Uniaxial anisotropy by" radiomagnetic" treatment; controlling factors in a new process | |
Sugawara et al. | Magnetic and magneto‐optical properties of perpendicular magnetic 3 d transition‐metal fluoride films | |
EP0088228A2 (en) | Garnet film for ion-implanted magnetic bubble device | |
JPS60187954A (ja) | 磁性薄膜記録媒体 | |
Gerard et al. | Effects of annealing on highly damaged bubble garnet layers ion implanted with Xe and As | |
Harada et al. | Laser annealing of an amorphous Nd Fe B alloy | |
RU1786188C (ru) | Способ обработки ферромагнитных материалов | |
EP0196332A4 (en) | PROCESS FOR MANUFACTURING A PHOTOTHERMOMAGNETIC RECORDING FILM. |