SU1333066A1 - Светочувствительное соединение в вакуумных фотолитографических процессах - Google Patents

Светочувствительное соединение в вакуумных фотолитографических процессах

Info

Publication number
SU1333066A1
SU1333066A1 SU3980717/04A SU3980717A SU1333066A1 SU 1333066 A1 SU1333066 A1 SU 1333066A1 SU 3980717/04 A SU3980717/04 A SU 3980717/04A SU 3980717 A SU3980717 A SU 3980717A SU 1333066 A1 SU1333066 A1 SU 1333066A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
processes
litographic
light
sensitive connection
vacuum photo
Prior art date
Application number
SU3980717/04A
Other languages
English (en)
Inventor
Ю.И. Букин
Е.В. Гетманова
Н.В. Дубинин
Б.П. Беспалов
Е.А. Лукьянец
А.В. Иващенко
Л.М. Фролова
Р.В. Исаева
Original Assignee
Ю.И. Букин
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ю.И. Букин filed Critical Ю.И. Букин
Priority to SU3980717/04A priority Critical patent/SU1333066A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1333066A1 publication Critical patent/SU1333066A1/ru

Links

Landscapes

  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Abstract

Применение тетракис-циннамоилового эфира пентаэритрита формулыгдев качестве светочувствительного соединения в вакуумных фотолитографических процессах.
SU3980717/04A 1985-11-28 1985-11-28 Светочувствительное соединение в вакуумных фотолитографических процессах SU1333066A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3980717/04A SU1333066A1 (ru) 1985-11-28 1985-11-28 Светочувствительное соединение в вакуумных фотолитографических процессах

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3980717/04A SU1333066A1 (ru) 1985-11-28 1985-11-28 Светочувствительное соединение в вакуумных фотолитографических процессах

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1333066A1 true SU1333066A1 (ru) 2016-08-27

Family

ID=60534856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3980717/04A SU1333066A1 (ru) 1985-11-28 1985-11-28 Светочувствительное соединение в вакуумных фотолитографических процессах

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1333066A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU565734B2 (en) Thermo-corsslinking light sensitive composition
FR2565666B3 (fr) Projecteur lumineux modulaire combinable.
DE3861251D1 (de) Negative resistzusammensetzungen.
ES543266A0 (es) Un procedimiento de preparacion de compuestos heterociclicos
GR1000316B (el) Μεθοδος για την παρασκευη μιας ενωσης με γαστρικη ανασταλτικη δραση.
ES532352A0 (es) Un compuesto per-ester
AR241022A2 (es) "fosfatidos de eteres de glicerina y procedimiento para su preparacion"
FI851661L (fi) N-substituerade neuraminsyraderivat och foerfarande foer framstaellning av dessa.
ES522325A0 (es) Un compuesto de pirazolpiridina.
BR8207223A (pt) Fole
SU1333066A1 (ru) Светочувствительное соединение в вакуумных фотолитографических процессах
FI821288A0 (fi) Fenetanolaminderivat, deras framstaellning och deras terapeutiska anvaendning
ES2052925T3 (es) Compuestos de pirazol, metodo para su produccion, su uso, y compuestos intermedios para la produccion de los mismos.
MX9302878A (es) Procedimiento para la preparacion de un diaminodiol substituido.
ES529736A0 (es) Un procedimiento para la preparacion de 3-formil-2-nitrometilen-tetrahidro-2h-1, 3-tiazina
DE3677465D1 (de) N-glykolylneuraminsaeurederivat.
ES2072288T3 (es) Preparacion de enantiomeros de dropropizina.
DE3582488D1 (de) Entwicklerverfahren fuer negativ arbeitende schutzlacke.
SU1314835A1 (ru) Вакуумный фоторезист
IT7821911A0 (it) Mescola madre a base elastomerica comprendente un elevato contenuto di cariche ausiliarie.
FR2443455A1 (fr) Monoisocyanates a empechement sterique
IT1163573B (it) Composti di poliprenile
ES522679A0 (es) Un compuesto
SU587954A1 (ru) Ректификационна установка
DE3680711D1 (de) Photopolymerisierbare zusammensetzung.