SU1310699A1 - Способ определени адгезии металлической пленки к диэлектрической подложке - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к испытательной технике, предназначено дл  определени  адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам и позвол ет повысить точность определени  путем учета прот женности соединени  пленок с подложкой. В пленке 2 выполн ют сквозные прорези по логарифмической сход щейс  или расход щейс  спирали 3 с непрерывно уменьшающимс  шагом, начало и конец которой переходит в окружности 4,5. Витки спирали 3 выполн ют до отделени  пленки 2 от подложки 1. Логарифмическа  спираль 3, прсэход  по различным участкам соединени , позвол ет контролировать площадь контактировани  пленки 2 с подложкой 1 на значительной прот женности. В качестве параметра, характеризующего адгезию металлической пленки 2 к диэлектрической подложке 1, определ ют емкость или электросопротивление участка 6 пленки 2 между окружност ми 4,5. 2 ил. S (Л 2. -4 6 J -5 о:) со со

Description

-

1

Изобретение относитс  к испытательной технике, а именно к способам определени  адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам.

Цель изобретени  повышение точности определени  адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам путем учета прот женности соединени  пленки с подложкой.

На чертеже изображена схема осуществлени  предлагаемого способа.

Способ осуществл ют следующим образом .

На диэлектрическую подложку 1 нанос т одним из известных способов испытуемую металлическую пленку 2. В пленке 2 с помощью индентора выполн ют сквозные прорези по логарифмической сход щейс  или расход щей с  спирали 3 с непрерывно уменьшаю щимс  шагом, начало и конец которой переход т в окружности 4 и 5.

Витки спирали 3 выполн ют до отделени  пленки 2 от подложки 1. При этом пленка 2 раздел етс  на три участка, один из которых ограничен окружностью 4 и лежит внутри ее, второй ограничен окружностью 5 и лежит за ней, а третий лежит между окружност ми 4 и 5. Логарифмическа  спираль 3 с непрерывно измен ющимс  шагом ее витков, проход  по различным участкам соединени , позвол ет контролировать площадь контактировани  пленки 2 с подложкой 1 значительной прот женности. При сход щейс  спирали 3 отделение пленки 2 от подложки 1 происходит по меньшей площади, чем при расход тдейс  спирали 3, Подключают участок 6 пленки между окружност ми 4 и 5 к измерительному электрическому мосту (не показан) и измер ют его емкость или электросопротивление, которые служа

Составитель В.Свиридов Редактор А.Ревин Техред М.Хоаанич Корректор С.Черни

Заказ 1883/39 Тираж 777Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна ,4

20

3

106992

параметрами, характеризующими адгезию металлической пленки 2 и диэлектрической подложки, 1 и измен ющимис  при otдeлeнии пленки 2 от подложки.

5 Использование емкости или электросопротивлени  в качестве электрического параметра повышает точность начала отделени  пленки 2 от подложки 1 .

10 П р и м е р. На подложку из ситал- ла СТ 38-1 размером 60-48-1,0 мм нанос т пленку никел  ионно-плазменным напылением на установке УРМ 3.279.026 и доращивают пленку до толщины пор д 5 ка 10 мкм химическим осаждением. Прорези в пленке выполн ют стальным ин- дентором с радиусом 0,15 мм. Величина нагрузки на индентор составл ет 350 г. Наружный диаметр окружности составл ет 40 мм. Измер ют емкость участка пленки между окружност ми с помощью моста переменного тока Р 5010. Величина емкости составл ет 84 пФ, а электросопротивлени  - 1,73 кОм.

25

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ определени  адгезии металической пленки к диэлектрической

   подложке, заключаюЕщйс  в том, что в пленке выполн ют сквозные прорези по спирали с непрерывно уменьшаюш м- с  шагом до отделени  пленки от подожки и определ ют параметр, характеризующий адгезию, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности определени , прорези нанос т по логарифмической сход щейс  или расход щейс  спирали, начало

   и конец которой переход т в окружности , а в качестве параметра, характеризующего адгезию, определ ют емкость или электросопротивление участка пленки между окружност ми.