SU1307225A1

SU1307225A1 - Film thickness standard for calibration checking and calibration of thickness gauges

Info

Publication number: SU1307225A1
Application number: SU853987784A
Authority: SU
Inventors: Рейн Антсович Лаанеотс
Original assignee: Таллинский Политехнический Институт
Priority date: 1985-12-06
Filing date: 1985-12-06
Publication date: 1987-04-30

Abstract

Изобретение относитс к метрологии и может быть использовано дл поверки различных видов толщиномеров . Цель изобретени - расширение технологических возможностей за счет имитации многослойных пленок различной толщины. Дл этого в оптически прозрачной пластине 1 выполнены уг- дублени 2,7 и 8 и дозаторы 5 и 6, причем углублени 7 и 8 сообщаютс с дозаторами 5 и 6 через каналы 9 и 10. Углубление 2 заполнено несмешивающимис между собой жидкост ми 3 и 4. Перемещением поршней дозаторов 5 и 6 образуют различные толщины слоев жидкостей 3 и 4. 1 ил. со к ю сдThe invention relates to metrology and can be used to calibrate various types of thickness gauges. The purpose of the invention is the expansion of technological capabilities due to the imitation of multilayer films of various thickness. For this purpose, in the optically transparent plate 1, the tanning of 2.7 and 8 and the dispensers 5 and 6 are made, with the recesses 7 and 8 communicating with the dispensers 5 and 6 through the channels 9 and 10. The recess 2 is filled with intermixing liquids 3 and 4 By moving the pistons of the dispensers 5 and 6, they form different thicknesses of the layers of liquids 3 and 4. 1 sludge. with sd

Description

1one

Изобретение относитс к метрологии и может быть использовано в качестве образцовой меры д.п поверки и градуировки толщиномеров пленок и жидкостных слоев,, у которых показани завис т от свойств (плотности, электропроводности, коэффициента отражени и т.д.) пленки и жидкостного сло , на котором находитс жидкостна пленка. К таким толщиномерам относ тс токовихревые, радиоизотопные , емкостные, оптические, акустические и другие толщиномеры дл измерени толщины жидкостных пленок.The invention relates to metrology and can be used as an exemplary measure for verifying and calibrating film thickness gauges and liquid layers, for which the readings depend on the properties (density, electrical conductivity, reflection coefficient, etc.) of the film and liquid layer, on which is a liquid film. Such thickness gauges include eddy current, radioisotope, capacitive, optical, acoustic and other thickness gauges for measuring the thickness of liquid films.

Цель изобретени - расширение технологических возможностей за счет имитации многослойных пленок различной толщины.The purpose of the invention is the expansion of technological capabilities due to the imitation of multilayer films of various thickness.

На чертеже представлена мера толщины пленки, вид спереди, сечение.The drawing shows a measure of film thickness, front view, cross-section.

Мера толщины пленки содержит пластину 1 из оптически прозрачного материала с углублением 2, заполненным имитирующей пленку средой, в качестве которой использованы не менее двух несмешивающикс между собой жидкостей 3 и 4, расположенных сло ми . Мера содержит также не менее двух проградуированных в единицах длины и размещенных в пластине дозаторов 5 и 6, в пластине вьтолнено не менее двух дополнительных углублений 7,и 8 и нормально закрытых каналов 9 и 10, св зывающих дополнительные углублени 7 и 8 с дозаторами 5 и 6 Каждое углубление (7 и 8) заполнено одной из жидкостей 3 или 4 и сообщаетс через соответствующий дозатор 5 и 6 с соответствующим слоем жидкостей 3 и 4.The measure of the film thickness contains a plate 1 of an optically transparent material with a recess 2 filled with a medium simulating a film, for which at least two non-mixing fluids 3 and 4 arranged in layers are used. The measure also contains at least two metering units 5 and 6, calibrated in units of length and placed in the plate, at least two additional recesses 7 and 8 and normally closed channels 9 and 10 are made in the plate, connecting additional recesses 7 and 8 to dispensers 5 and 6 Each recess (7 and 8) is filled with one of the liquids 3 or 4 and communicated through the corresponding dispenser 5 and 6 with the corresponding layer of liquids 3 and 4.

Предлагаемую меру готов т к градуировке и поверке толщиномеров следующим образом,The proposed measure is prepared for graduation and verification of thickness gauges as follows,

В углубление 8 заливают жидкость 4, например воду. Клапаны Пи 12 закрыты, и жидкость 4 не проникает ни в углубление 2, ни в дозатор 6. Передвижением порщи дозатора 6 направо (фиг.)) клапан 12 открываетс и дозатор 6 через канал 10 заполн етс жидкостью 4. Далее движением порщн дозатора 6 налево клапан I2 закрываетс , открываетс клапан 11, и жидкость 4 попадает в углубление 2In the recess 8 pour liquid 4, for example water. The valves PI 12 are closed and the liquid 4 does not penetrate either into the recess 2 or into the dispenser 6. By moving the chamber of the dispenser 6 to the right (Fig.)) The valve 12 opens and the dispenser 6 through the channel 10 is filled with liquid 4. Next, by moving the piston 6 to the left valve I2 closes, valve 11 opens, and fluid 4 flows into recess 2

Движение поршн дозатора 6, про- градуированного в единицах длины на основе соотношени . где V, V с СThe movement of the piston of the dispenser 6, calibrated in units of length based on the ratio. where V, V with С

объем жидкости Д, выталкиваемой дозатором 6 в углубление 3; Sc - пло072252the volume of fluid D, pushed by the dispenser 6 into the recess 3; Sc - p072252

щадь дл углублени 2, позвол ет получить соответствующий толщине И слой жидкости 4. Этот с измен емой толщиной слой может быть уже примее нен дл аоверки толщиномеров жидкостных пленок на твердых подложках. Но обычно дозатором 6 готовитс слой жидкости 4 с соответствующей толщиной Н дл нанесени на него другогоThe slot for the recess 2 allows to obtain the corresponding thickness AND layer of liquid 4. This layer with variable thickness can already be used for calibrating the thickness gauges of liquid films on solid substrates. But usually, the dispenser 6 prepares a layer of liquid 4 with an appropriate thickness H for applying another

JO сло . Дл этого в дополнительное углубление 7 заливают жидкость, например нефть, масло и т.д., котора не смещиваетс с жидкостью первого сло и имеет по отношению к немуJO Lay For this purpose, a liquid, such as oil, oil, etc., which is not displaced with the liquid of the first layer and has, in relation to it, is poured into the additional recess 7.

15 меньщую плотность. Передвижением поршн дозатора 5 налево клапан 13 открываетс , и дозатор 5 заполн етс через канал 9 жидкостью 3. Далее передвижением поршн дозатора 5 на20 право клапан 13 закрываетс , открываетс клапан 14, и на слое жидкости 4 образуетс слой жидкости 3 с соответствующей толщиной h. Движение поршн дозатора 5, проградуированно25 го в единицах длины, на основе .соотношени ., где Vj - объем жидкости , выталкиваемой дозатором 5 в углубление 2; позвол ет получить переменный с регулируемой толщиной h 30 слой жидкости 3 на слое жидкости 4. Поверка толщиномеров жидкостных пленок с помощью предлагаемой меры производитс следующим образом.15 lower density. Moving the piston of the dispenser 5 to the left, the valve 13 opens, and the dispenser 5 is filled through the channel 9 with liquid 3. Next, by moving the piston of the dispenser 5 on the 20, the right valve 13 closes, the valve 14 opens, and a layer of liquid 3 with a corresponding thickness h is formed on the liquid layer 4. The movement of the piston of the dispenser 5, calibrated in units of length, is based on the ratio, where Vj is the volume of liquid pushed by the dispenser 5 into the recess 2; allows to obtain a variable with adjustable thickness h 30 liquid layer 3 on the liquid layer 4. The calibration of the thickness gauges of the liquid films using the proposed measure is performed as follows.

Измерительный преобразователь по35 вер емого или градуируемого толщиномера (на чертеже не показано) устанавливают над с:лоем жидкости 3 бесконтактно или в контакте с поверхностью сло в зависимости от типаA measuring transducer of a 35 ° rollable or graduated thickness gauge (not shown in the drawing) is installed over with: a liquid 3, without contact or in contact with the surface of the layer, depending on the type

40 повер емого толщиномера. Производитс отсчет по шкале повер емого толщиномера , т.е. с помощью повер емого толщиномера измер етс толщина сло жидкости 3. Сравниваетс отсчет тол45 щиномера с номинальным значением аттестованной толщины h сло , т.е. со значением на шкале дозатора 5, дл образовани сло жидкости 3 толщиной h. Далее дозатором 5 образует50 с слой с другой толщиной и так далее до значени толщины сло , соответствующего наибольшему значению толщины по шкале повер емого толщиномера . Каждый раз сравниваетс от55 счет по шкале с номинальным значением аттестованной толщины h сло . По наибольшей разнице отсчета по шкале и номинального значени аттестованной толщины сло жидкости 3 меры40 verified thickness gauge. The reading is based on the scale of the gauge thickness gauge, i.e. With the help of a rotatable thickness gauge, the thickness of the liquid 3 layer is measured. with a value on the scale of the dispenser 5, to form a layer of liquid 3 with a thickness h. Next, dispenser 5 forms 50 with a layer with a different thickness, and so on, up to the value of the thickness of the layer corresponding to the largest thickness value on the scale of the thickness gauge to be tested. Each time it compares the score on the scale with the nominal value of the certified thickness h of the layer. According to the largest difference in reading on the scale and the nominal value of the certified thickness of the liquid layer 3 measures

3130722531307225

шности повер емого толгодности его к применеaccuracy of its ability to apply

изведени толщин многостных пленок в пластиивают дополнительные воспроизведени толщин thickness measurements of multi-sided films in plasticirovat additional reproduction of thickness

до чт че мн ны в пл ра дв ма до ра ки ве зо ме сл лу и тиto see you in the play on the planet

Предлагаемое изобретение позвол - fO ет использовать дл поверки и градуировки толщиномеров жидкостных пленок только Одну простую образцовую меру.The present invention allows to use for verification and graduation of thickness gauges of liquid films Only One simple measure.

Claims

Claim 15

A measure of the thickness of the film for checking and graduation of thickness gauges, made in the form of a plate with a groove filled with a film simulator

or T.Parfenova 1618/37

Compiled by I. Rekunov Tehred A. Kravchuk,

Co Po

Circulation 678 VNIIPI USSR State Committee

for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., 4/5

Production and printing company, Uzhgorod, Projecto st., 4

It is characterized in that, in order to expand technological capabilities by imitating multilayer films of various thickness, it is equipped with at least two metering devices graduated in units of length and placed in a plate, at least two additional recesses and normally closed channels, communicating additional cavities with dispensers, the plate is made of optically transparent material, at least two non-displacing fluids are used as a film-simulating medium This is located in layers, and each additional recess is filled with one of the liquids and communicates with the layer of the same liquid.

Proofreader S.Shekmar Subscription