SU1303819A1 - Device for measuring perpendicular alignment error of angle standards - Google Patents
Device for measuring perpendicular alignment error of angle standards Download PDFInfo
- Publication number
- SU1303819A1 SU1303819A1 SU853940800A SU3940800A SU1303819A1 SU 1303819 A1 SU1303819 A1 SU 1303819A1 SU 853940800 A SU853940800 A SU 853940800A SU 3940800 A SU3940800 A SU 3940800A SU 1303819 A1 SU1303819 A1 SU 1303819A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- autocollimator
- template
- mirror
- angle
- measuring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение позвол ет измер ть отклонение от перпендикул рности прецизионных деталей. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени за счет зеркального умножени погрешности контролируемого угла и / f/7 / (Л DO 00 .&The invention makes it possible to measure the deviation from the perpendicularity of precision parts. The aim of the invention is to improve the measurement accuracy by mirroring the error of the monitored angle and / f / 7 / (L DO 00. &Amp;
Description
выставки автоколлиматора относительно контролируемой детали по плоской грани шаблона,- Направл ют излучение автоколлиматора 1 на шаблон из двух плоских пластин 2,3 и отражают пучок излучени от одной из пластин 2, посылают его на зеркало 5, Переотражают пучок N раз между поверх- йостью шаблона и зеркалом. Стро т изображение переотраженного пучка на измерительной шкале автоколлиматора 1, фиксиру величину смещени изображени , поворачивают столик 6 на 1 ВО , вновь N раз переотр ажают пучок зеркалом, формиру его изображение на измерительной шкале окул р микрометра. Регулиру пространственИзобретение относитс к измерительной технике и может использоватьс дл измерени отклонени от перпендикул рности прецизионных деталей в приборо- и машиностроении.shows of the autocollimator relative to the part being monitored on a flat face of the template, - Direct the radiation of the autocollimator 1 to a template of two flat plates 2,3 and reflect the radiation beam from one of the plates 2, send it to the mirror 5, Reflect the beam N times between the surface of the template and a mirror. Build an image of the re-reflected beam on the measuring scale of the autocollimator 1, fixing the image displacement, turn the table 6 by 1 VO, again re-send the beam with a mirror, forming its image on the measuring scale of the ocular micrometer. Adjusting the spatial Invention relates to a measurement technique and can be used to measure the deviation from the perpendicularity of precision parts in instrument and mechanical engineering.
Целью изобретени вл етс повы- шение точности измерени за счет зеркального умножени погрешности контролируемого угла и выставки автоколлиматора относительно контролируемой детали по плоск ой грани шаблонаThe aim of the invention is to improve the measurement accuracy due to the mirror multiplication of the error of the monitored angle and the display of the autocollimator relative to the monitored part on the flat face of the pattern.
На фиг,1 представлена схема предложенного устройства; на фиг,2 - расположение автоколлиматора, дополнительного зеркала и боковой плоской поверхности угловой меры в горизонтальной плоскости при различных углах разворота меры относительно дополнительного зеркала; на фиг,3 - то же, в вертикальной плоскости.Fig, 1 shows a diagram of the proposed device; FIG. 2 shows the location of the autocollimator, the additional mirror and the lateral flat surface of the angular measure in the horizontal plane at different angles of rotation of the measure relative to the additional mirror; Fig, 3 - the same, in a vertical plane.
Устройство содержит (фиг,1) автоколлиматор 1, шаблон, состо щий из двух плоских пластин, например, концевых мер 2 и 3, притертых между собой вдоль общей поверхности 4, зеркало 5, расположенное под углом к оптической оси автоколлиматора 1, столик , например столик 6 гониометра, предназначенный дл установки на нем контролируемой угловой меры.The device contains (FIG. 1) an autocollimator 1, a pattern consisting of two flat plates, for example, end measures 2 and 3, rubbed together along a common surface 4, a mirror 5, angled to the optical axis of the autocollimator 1, a table, for example goniometer table 6, designed to install a controlled angular measure on it.
На чертеже также показаны вертикальна ось 7 вращени столика 6 и U - угловое отклонение общей поное положение столика 6, добиваютс совмеш,ени обоих автоколлимадио Гных изображений дл двух противоположных положений столика с оптической осью автоколлиматора. Замен ют шаблон на столике контролируемой угловой мерой Направл ют излучение автоколлиматора 1 на .ее боковую плоскую поверхность, обеспечива N переотражений пучка измерени между этой поверхностью и зеркалом 5, формируют изображение переотраженного N раз пучка на измерительной шкале автоколлиматора, и по величине смещени автоколлима- дионного изображени суд т об отклонении от перпендикул рности, 3 ил.The drawing also shows the vertical axis 7 of the rotation of the table 6 and U is the angular deviation of the general position of the table 6, so that both autocollimadic suppurative images are mixed for two opposite positions of the table with the optical axis of the autocollimator. Replace the template on the table with a controlled angular measure. The radiation of the autocollimator 1 is directed to its lateral flat surface, providing N re-reflections of the measurement beam between this surface and the mirror 5, form an image of the pre-reflected N times of the beam on the measuring scale of the autocollimator, and by the offset value images are judged on deviation from perpendicularity, 3 Il.
верхности 4 шабло на от оси 7 вращени столика 6,surfaces 4 patterns on from axis 7 of rotation of table 6,
На фиг,2,3 обозначены: бокова плоска поверхность угловой меры 8 или шаблона; (f - угол между оптической осью автоколлиматора 1 и плоскостью дополнительного зеркала;о - поворот боковой поверхности угловой меры (шаблона) к оптической осиIn FIGS. 2,3, there are indicated: a lateral flat surface of an angular measure 8 or a template; (f is the angle between the optical axis of the autocollimator 1 and the plane of the additional mirror; o is the rotation of the side surface of the angular measure (template) to the optical axis
автоколлиматора,autocollimator,
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Направл ют пучок излучени от автоколлиматора 1 на свободную частьThe beam of radiation from the autocollimator 1 is directed to the free part
притертой плоскости одной из двух пластинок шаблона, расположенного на столике 6, Отражают от нее пучок излучени , посыла его на зеркало 5, расположенное под углом ( к оптической оси автоколлиматора 1 и образующее совместно с плоской поверхностью шаблона или угловой меры зеркальный умножитель„the ground plane of one of the two template plates located on table 6, reflect a beam of radiation from it, sending it to a mirror 5 angled (to the optical axis of the autocollimator 1 and forming a mirror multiplier together with the flat surface of the template or angle measure)
В случае, когда вертикальна проекци общей поверхности шаблона 4 перпендикул рна оси автоколлиматора 1 (oi, О, фиг,2а), световозвращенный пучок строит изображение в автоколлиматоре , не смещенное в горизонтальной плоскости. Если при этом угол между осью 7 вращени и измерительной , плоскостью, вл ющейс продолжением поверхности 4, равен д , тоIn the case when the vertical projection of the common surface of the template 4 is perpendicular to the axis of the autocollimator 1 (oi, O, fig 2a), the retroreflected beam builds an image in the autocollimator that is not displaced in the horizontal plane. If the angle between the axis of rotation 7 and the measuring plane, which is a continuation of the surface 4, is equal to d, then
33
угол между падающим и отраженным пуками излучени в вертикальной плоскости равен 2д (фиг.За).the angle between the incident and reflected radiation in the vertical plane is 2d (Fig. 3a).
При повороте столика с шаблоном на угол 0 (фиг.2), когда пучок излучени падает на измерительную поверхность шаблона, отражаетс от нее и приходит на дополнительное зекало 5 под углом, равным 90°, то проекци световозвращенного пучка горизонтальной плоскости совпадает с падающим пучком. Если при этом угол между вертикальной осью вращени столика и измерительной плоскостью равен д. , то угловое рассогласование между выходным и входным пучками автоколлиматора в этом случае равно 4 Ь(фиг.38).When the table with the template is rotated by angle 0 (Fig. 2), when the radiation beam falls on the measuring surface of the template, is reflected from it and comes to an additional hole 5 at an angle of 90 °, the projection of the retroreflected beam of the horizontal plane coincides with the incident beam. If the angle between the vertical axis of rotation of the table and the measuring plane is equal to d., Then the angular mismatch between the output and input beams of the autocollimator in this case is 4 b (Fig. 38).
Поворачива столик 6 с шаблоном, измен ют угол между .плоскост ми, фомирующими зеркальный умножитель, в результате чего при разных угловых положени х шаблона световой пучок ипытывает различное количество переотражений между пластинкой 2 шаблона и дополнительным зеркалом, чт приводит к различной величине смещени автоколлимационного изображени в вертикальной плоскости,Turning table 6 with the template, changing the angle between the planes, fusing the mirror multiplier, as a result of which, at different angular positions of the template, the light beam experiences a different number of re-reflections between the plate 2 of the template and the additional mirror, which results in a different amount of offset of the autocollimation image in vertical plane
Дл максимального смещени автоколлимационного изображени , соответствующего N переотражени м в зеркальном умножителе, определ ют эту величину, после чего поворачивают столик гониометра на 180 . Излучение направл ют на плоскую поверхность пластинки 3, вл ющуюс продолжением измерительной плоскости пластинки 2. Вновь определ ют смещение автоколлимационного изобра- жени после N переотражений пучка излучени между пластинкой 3 шаблона и зеркалом 5.To maximize the shift of the autocollimation image corresponding to the N rereflections in the mirror multiplier, this value is determined, after which the goniometer table is turned 180. The radiation is directed to the flat surface of the plate 3, which is a continuation of the measuring plane of the plate 2. The offset of the autocollimation image is again determined after N re-reflections of the radiation beam between the template plate 3 and the mirror 5.
По положению автоколлимационных изображений при двух противоположных положени х столика 6 суд т об отклонении от перпендикул рности плоскости столика к оси вращени .Based on the position of the autocollimation images at two opposite positions of the table 6, a judgment is made about the deviation from the perpendicularity of the plane of the table to the axis of rotation.
Регулиру пространственное положение столика 6, совмещают автокол194Regulating the spatial position of the table 6, combine avtokol194
лимационные изображени дл обоих противоположных положений столика с оптической осью автоколлнматора, добива сь тем самым выставки плоскостиLima images for both opposite positions of the table with the optical axis of the autocolumnator, thus completing the exhibition of the plane
столика строго параллельно оптической оси автоколлиматора. После этого замен ют шаблон на контролируемую угловую меру 8, располагают ее основанием на столике и направл ют излучение автоколлиматора на ее боковую плоскую поверхность, обеспечивают N переотражений пучка излучени между нею и -зеркалом 5, плавно пово-- рачи а столик от начального положени (ч(. О).table strictly parallel to the optical axis of the autocollimator. After that, the template is replaced with a controlled angular measure 8, its base is placed on the table and the radiation of the autocollimator is directed to its lateral flat surface, N deflections of the radiation beam between it and the mirror 5 are provided, smoothly rotating the table from the initial position ( h (. O).
Принимают в автоколлиматоре переотраженный N раз пучок излучени , стро т его изображение на измерительной сетке окул р-микрометра автоколлиматора . Измер ют величину вертикального смещени горизонтальной линии автоколлимациЬнного изображени марки автоколлиматора. По величине этого смещени суд т об отклонении от перпендикул рности измерительной поверхности угловой меры к ее основанию,A re-reflected N beam of radiation is received in the autocollimator, its image is built on the measuring grid of the o-ray p-micrometer of the autocollimator. The vertical offset of the horizontal line of the autocollimated image of the brand of autocollimator is measured. According to the magnitude of this displacement, a deviation from the perpendicularity of the measuring surface of the angular measure to its base is judged,
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853940800A SU1303819A1 (en) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | Device for measuring perpendicular alignment error of angle standards |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853940800A SU1303819A1 (en) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | Device for measuring perpendicular alignment error of angle standards |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1303819A1 true SU1303819A1 (en) | 1987-04-15 |
Family
ID=21193080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853940800A SU1303819A1 (en) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | Device for measuring perpendicular alignment error of angle standards |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1303819A1 (en) |
-
1985
- 1985-08-12 SU SU853940800A patent/SU1303819A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Меры угловые призматические. Методы и средства лроверки. п.4.6. ГОСТ 8-175-75. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4330212A (en) | Triaxis laser alignment system and method | |
CN101377414B (en) | Apparatus and method for measuring two-dimensional small angle based on light beam angle drift dynamic compensation | |
JPH03501052A (en) | Calibration system for coordinate measuring machines | |
CN108775878B (en) | Grating heterodyne interference system and roll angle measuring method thereof | |
CN110082071B (en) | Device and method for measuring optical parallel difference of right-angle prism | |
US11940349B2 (en) | Plane grating calibration system | |
SU1303819A1 (en) | Device for measuring perpendicular alignment error of angle standards | |
CN111998837B (en) | Multipurpose laser collimator | |
US4600304A (en) | Optical level | |
CN110375708B (en) | Three-dimensional angle measurement system | |
US4738532A (en) | Method of calibrating an optical measuring system | |
WO2003076872A1 (en) | Shape measuring method, interference measuring device, porduction method for projection optical system, and porjectionj aligner | |
RU2182311C1 (en) | Device for spatial orientation of objects | |
RU1573985C (en) | Direction maintenance device | |
CN110686620B (en) | Measuring device and method for grating integration precision and measuring system for planar grating ruler | |
SU769316A1 (en) | Device for monitoring object rotation angles | |
US3302511A (en) | Optical system for determining deviation in body orientation | |
JPS63115011A (en) | Displacement measuring instrument | |
SU1158862A1 (en) | Device for checking angular errors of prisms | |
RU1778518C (en) | Device for checking two-sided reflectors | |
SU1226049A1 (en) | Arrangement for certifying pentagonal unit | |
SU1649261A1 (en) | Device for checking deviations from straightness | |
CN114942016A (en) | Vertical laser pointing correction device and method based on interference fringe decoupling | |
Virdee | A new approach for establishing a reference plane for absolute measurement of shape and flatness with nanometre precision. | |
SU1509586A1 (en) | Method of adjusting device for measuring plane angles |