Claims (1)
Формула изобретени Invention Formula
Способ изготовлени носител магнитной записи путем подготовки основы, напылес т магнитный слой из Со, или Ni, или Fe, 10 ни магнитного сло в вакуумной камере или их сплавов, например, посредством ка- и последующего формировани рельефа нетодного напылени в вакуумной камере. Затем вакуумную камеру заполн ют инертньш газом, например, аргоном при давлении 10 -- торр и осуществл ют процесс катодного распылени , в котором катодом вл етс изготовл емый носитель. При этом ионы газа выбивают материал носител преимущественно по границам кристаллитов, соз15A method of manufacturing a magnetic recording medium by preparing the substrate, sputtering a magnetic layer of Co, or Ni, or Fe, 10 without a magnetic layer in a vacuum chamber or their alloys, for example, by applying and then forming a non-uniform deposition pattern in a vacuum chamber. The vacuum chamber is then filled with an inert gas, for example, argon at a pressure of 10-torr, and a cathode sputtering process is carried out in which the carrier to be made is the cathode. In this case, the gas ions knock out the carrier material predominantly along the boundaries of the crystallites;
однородностей травлением магнитного сло , отличающийс тем, что, с целью упрощени технологического процесса и улучшени качества носител , формирование рельефа не- однородностей осуществл ют травлением магнитного сло в плазме инертного газа в процессе катодного-распылени , в котором катодом вл етс носитель магнитной записи.homogeneity by etching the magnetic layer, characterized in that, in order to simplify the technological process and improve the quality of the carrier, the formation of irregularities is etched by etching the magnetic layer in the inert gas plasma in the cathode-sputtering process, in which the cathode is a magnetic recording medium.
дава периодическую неоднородность поверхности носител магнитной записи.giving a periodic inhomogeneity of the surface of the magnetic recording medium.
Травление в высокочастотной плазме аргона при давлении 510 торр и напр жении UB-I 1,5 кВ позволило увеличить коэрцитивную силу образца Со-W с 350 до 460 Э за 20 мин.Etching in a high-frequency argon plasma at a pressure of 510 Torr and a UB-I voltage of 1.5 kV made it possible to increase the coercive force of the Co-W sample from 350 to 460 Oe in 20 minutes.
Формула изобретени Invention Formula
Способ изготовлени носител магнитной записи путем подготовки основы, напылени магнитного сло в вакуумной камере и последующего формировани рельефа неA method of manufacturing a magnetic recording medium by preparing the substrate, spraying a magnetic layer in a vacuum chamber and then forming a relief
однородностей травлением магнитного сло , отличающийс тем, что, с целью упрощени технологического процесса и улучшени качества носител , формирование рельефа не- однородностей осуществл ют травлением магнитного сло в плазме инертного газа в процессе катодного-распылени , в котором катодом вл етс носитель магнитной записи.homogeneity by etching the magnetic layer, characterized in that, in order to simplify the technological process and improve the quality of the carrier, the formation of irregularities is etched by etching the magnetic layer in the inert gas plasma in the cathode-sputtering process, in which the cathode is a magnetic recording medium.