SU1290238A1 - Двупольный проектор - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению и может быть использовано при визуальном контроле фотошаблонов и интегральных схем в процессе сборки. Цель изобретени  - упрощение конструкции проектора при выхоЗной ipatfOK ffflOffT- 1(ианна о ffoHef,/Ta OffT- одновременном увеличении его пол  зрени . На оптической оси проектора на определенном рассто нии от просмотрового экрана 18 установлен.непрозрачный экран 17, срезающий часть световых лучей, формирующих изображение участков 20 и 21 объекта на экране 18. Изображение этих участков с реперными знаками совмещени  проецируетс  объективами 5 и 6,линзами 9 и 10, зеркалами 11, 12 и 15, 16, окул рами 13 и 14 и рассматриваетс  через лупу 19. Непрозрачньй экран 17 образует на поверхности просмотрового экрана тень,  вл ющуюс  границей раздела наблюдаемых на нем полей. 3 ил. JS № i (Л to со о to 09 С

Description

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению, а именно к устройствам, позвол ющим осуществить одновременное наблюдение за двум  об.ъектами или двум  участками одного объекта, и может быть использовано при визуальном контроле фотошаблонов и интегральных схем в процессе сборки

Целью изобретени   вл етс  упрощение конструкции при одновременном увеличении пол  зрени  прибора.

На фиг.1 представлена принципиальна  оптическа  схема проектора; на Лиг. 2- - вид пол  зрени  в плоскости просветного экрана проектора; на фиг.З - вид сечени  по диаметру световых пучков формирующих каналов плоскостью, перпендикул рной про- светному экрану проектора.

Двупольный проектор содержит осветительные устройства с источниками света 1 и 2, конденсаторами 3 и 4, проекционные объективы 5 и 6, сопр женные через отражательную систему, выполненнную в виде размещенных за каждым проекционным объективом 5 и 6 под углом к их оптическим ос м полупрозрачных зеркал 7 и 8, с тубусными линзами 9 и 10 формирующих оптически каналов, выполненных в виде расположенных за линзами 9 и 10, первых  ер кал 11 и 12, проекционнных окул ров 13 и 14, вторых зеркал 15 и 16, за которыми установлен непрозрачный экран 17 и просмотровый экран 18 г лупой 19,

Непрозрачный экран 17 установлен на оптическое оси проектора пара.гг- лельно основному экрану на рассто нии , определ емом из соотншиени 

и срезает часть лучей света (фиг-. 2 и 3), формирующих изображение двух участков 20 и 21 объекта на экране 18 проектора, и образует на поверхности просмотрового экрана 18 тень, котора   вл етс  границей раздела наблюдаемых О на экране полей. Дл  установки непро- гзрачного экрана 17 формирующие каналы разнесены (фиг.2) и рассто ние между оптическими ос ми каналов в плоскости установки просмотрового экрана 18 5.5 удовлетвор ет условию максимального использовани  пол  зрени  каждого формирующего канала

„ 2у IT

(2)

где 2у - диаметр пол  зрени  отдельного канала.

Непрозрачный экран 17 установлен в положении, обеспечивающем резкую теневую границу раздела наблюдательных полей и экранирование налагающихс  на просмотровом экране 18 участков изображений Отдельных формирующих каналов проектора, при этом ширина Z экрана 17 определ етс  из соотношени 

J5

-L 21 -„11 S ( 1) 72+ (/I+1)

(3)

0

5

0

5

0

5

О .5

Двупольный проектор работает следующим .образом,

Два участка 20 и 21 наблюдаемого объекта освещаютс  источниками света 1 и 2 с помощью конденсаторов 3 и 4, полупрозрачных зеркал 7, 8 и объектов 5 и 6,

Изображение этих участков объекта с реперными знаками совмещени  проецируетс  объективами 5 и 6 (тубус беско ечность)., тубусными линзами 9 и 10, зеркалами 11 и 12, проекционными окул рами 13, 14 и зеркалами 15 и 16 в плоскость экрана 18. Не- прозрачны экран 17 с параллельными острыми кра ми срезает часть лучей (, формирующих изображение двух участков 20 и 21 об7,екта на экране 18 проектора, образу  на поверхности экрана 18 тень, котора   вл етс  границей раздела наблюдаемых полей. Изображение участков 20 и 21 объекта 1га экране 18 проектора рассматриваетс  через лупу 19.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Двупольны проектор, содержащий две осветительные системы, два проекционных объектива, каждый из которых через размещенную за ним отражательную систему сопр жен с соответствующей тубусной линзой и проекционным окул ром формирую 1Их оптических каналов, а также узел разделени  полей и просмотровый экран, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  конструкции при одновременном увеличении пол  зрени , узел -разделени  полей выполнен в виде непрозрачного экрана пр моугольной формы, установленного на оптической оси, проектора перед просмотровым

   экраном на рассто нии X от него, определ емом из соотношени  L(i2- t)

   X

   L

   рассто ние между просмотровым экраном и плоскостью расположени  выходных зрачков формирующих каналов.

   rrpofffLSt cv/// 7

   ef7 /УГ7А Л/7ЙГ ff /7/rOCt

   Wa/re

   /7/y(7efi /rfO O( ff

   /V7ac/fac/77a a/f/xwa

   j&ir/) 3pcff/a/f

   u.J

   Редактор Н.Горват

   Составитель С.Шигалович

   Техред М. Ходанич Корректор А.Зймокосов

   Заказ 7898/43 Тираж 442Подписное

   ВНИИГТИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

   .Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4