SU1282880A1 - Фильтр дл агрессивных газов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к сменным мембранным фильтрам, предназначено дл  микроочистки газов в техпроцессах микроэлектроники , но может быть использовано и в других област х, например в процессах фильтрации; оно позвол ет увеличить в два /7/if / J 72 раза эффективную площадь фильтрации, производительность фильтра и обеспечивает высокую коррозионную стойкость в агрес- сиБны.х средах. Фильтр включает фланцы 1, 2 с уплотнени ми II, 16, ст гивающее приспособление в виде съемного бандажа 17, вкладыш в виде полого цилидра 3 на боковых поверхност х которого размещены в.ход верхнего 13 и выход нижнего 12 каналов . Фильтр снабжен вертикальной разделительной перегородкой 6, прикрепленной к верхней и нижней противоположным част м боковой поверхности вкладыша, при этом выход верхнего канала 13 и вход нижнего канала 12 расположены на перегородке 6. Кроме того, фланцы, уплотнени , вкла- дьпп с перегородкой и опорные сетки выполнены из термопластичных фторопластов. 1 з.п.ф-лы. 1 ил. /JJ SS // tsO 00 00 оо

Description

Изобретение относитс  к сменным мембранным фильтрам и предназначено дл  микроочистки газов в процессах микроэлектроники , а также может быть использовано и в других област х.

Цель изобретени  - увеличение площади фильтрации и производительности фильтра цри том же диаметре фильтруюш,его элемента и обеснечение коррозионной стойкости деталей фильтра к агрессивным средам .

Дл  обеспечени  коррозионной стойкости в агрессивных средах детали фильтра, контактирующие с рабочими газами, выполнены из термопластичных фторопластов.

На чертеже изображен предлагаемый фильтр, общий вид.

Фильтр имеет входной 1 и выходной 2 фланцы, вкладыш 3, выполне ный в виде полого цилиндра, с полост ми 4 и 5, разделенными вертикальной разделительной перегородкой 6. Во вкладыше между опорными сетками 7 и 8 расположены фильтрующие элементы 9 и 10, отдел ющие полости 4 и 5 вклaдыпJa 3 от полостей фланцев. Дл  герметизации полостей 4 и 5 служат уплотнени  П.

На периферийной части вкладыща 3 расположены нижний 12 и верхний 13 проходные каналы, имеющие одинаковые конфи- 17рацию и длину и соедин ющие соответственно полость 4 вкладыша с полостью выходного фланца 2, а полость 5 вкладыща - с полостью входного фланца 1. На торцах вкладыщ а 3 имеютс  выступы 14, а во фланцах 1 и 2 - соответствующие им впадины 15 дл  исключени  относительного поворота . Между вкладыщем 3 и фланцами 1 и 2 установлены уплотнени  16, обеспечивающие герметичность полостей фильтра но отношению к окружающей среде.

Ст гивающим приспособле 1ием  вл етс  съемный бандаж 17. который служит дл  соединени  деталей фильтра. При работе фильтра газ, поступаюидий во входной фланец, раздел етс  на ,.ва потока, один из которых проходит через фильтру.ющий элемент 9 в полость 4 вкладьп-иа, а затем через проходные каналы 12 поступает в выходной фланец, а другой по каналам 13 поступает в полость 5 вкладьппа и проходит через фильтрующий элемент 10 в выходной фланец, где оба потока суммируютс .

Фланцы, вкладьии с перегородкой, опорные сетки и уплотнени  изготосзлены из термопластичных фторопластов: литьевбго и эластичного, причем фланцы, опорные сетки и фильтруюпдие элементы выполнены между собой взаимозамен емыми.

Так как конфигураци  и длина проходных каналов 12 и 13 одинаковы, их газо10

15

20

25

30

35

40

45

50

динамические сопротивлени  ид что обеспечивает прохождение через ющие элементы 9 и 10 одинаково чества газа.

Расположение проходных канал 13 в периферийной части вкладыщ ловливает равномерное распределе вого потока но поверхности фильт элемента, что способствует увеличе изводительности фильтра.

В фильтре дл  агрессивных газ назначенном дл  микроочистки, п тельна  и тонка  очистка нредусм самом фильтрующем элементе, кото тоит из двух дисков: предфильтра н ультратонкого стекловолокна и фильтрующего диска из пористого пласта с контролируемыми размером апазоне 0.}-0,5 мкм. Вкладыщ с тельной перегородкой и проходны лами, на торцах которого укреплен рующие элементы в опорных сетках чивает одновременную параллельну обоих фильтрующих элементов, что ловливает увеличение эффективной фильтрации, а следовательно, произ ности фильтра по сравнению с ф одинарным, т.е. фильтро.м без вк при том же диаметре фильтрующ мента.

Предлагаемый фильтр компакте жен и стабилен в эксплуатации высокую эффективность фильтраци этом удобен и прост в обслужи при замене фильтруюндих элементо

Claims (2)

1..Фильтр дл  агрессивных га держащий входной и выходной ф уплотнени ми и ст гивающим прис нием, вкладыш с одинаковыми по гурации верхним и нижпи.м 1роход налами, последовательно уста1 овл вкладыше и укрепленные в опорны фильтрующие элементы, отличающи что, с целью увеличени  площади ции и производительности филь снабжен вертикальной разделител регородкой, прикрепленной к верхне ней противопо.тожным част м боко верхности вкладыща, выполненного полого цилиндра, при этом вход и выход нижнего каналов размещ торцах вкладыща, а выход верхнег нижнего каналов - на перегородке

2.Фильтр по п. К отличающи что, с целью обеспечени  корро стойкости, фланцы, уплотнени , вкл перегородкой и опорные сетки вы

из термопластичных фторопластов.

Составите, iij li. Кова. Техред И. ВерееКорректор Е. Рошко

Тираж 656Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по .целам изобретений и открытий

1 130.35, Моеква. Ж-35, Раушска  наб-., д. -4/5 Пр 1И31юдетвен 10-полиграфическое предпри тие, г. Ужтород, ул. 1 |роектна , 4

0

5

0

5

0

0

5

0

динамические сопротивлени  идентичны, что обеспечивает прохождение через фильтрующие элементы 9 и 10 одинакового количества газа.

Расположение проходных каналов 12 и 13 в периферийной части вкладыща 3 обусловливает равномерное распределение газового потока но поверхности фильтрующего элемента, что способствует увеличению производительности фильтра.

В фильтре дл  агрессивных газов, предназначенном дл  микроочистки, предварительна  и тонка  очистка нредусмотрена в самом фильтрующем элементе, который состоит из двух дисков: предфильтра на основе ультратонкого стекловолокна и чистого фильтрующего диска из пористого фторопласта с контролируемыми размером по.р в диапазоне 0.}-0,5 мкм. Вкладыщ с разделительной перегородкой и проходными каналами , на торцах которого укреплены фильтрующие элементы в опорных сетках, обеспечивает одновременную параллельную работу обоих фильтрующих элементов, что и обусловливает увеличение эффективной площади фильтрации, а следовательно, производительности фильтра по сравнению с фильтром одинарным, т.е. фильтро.м без вкладыща, при том же диаметре фильтрующего элемента .

Предлагаемый фильтр компактен, надежен и стабилен в эксплуатации, имеет высокую эффективность фильтрации и при этом удобен и прост в обслуживании и при замене фильтруюндих элементов.

Формула изобретени 

1..Фильтр дл  агрессивных газов, содержащий входной и выходной фланцы с уплотнени ми и ст гивающим приспособлением , вкладыш с одинаковыми по конфигурации верхним и нижпи.м 1роходными каналами , последовательно уста1 овленпые в вкладыше и укрепленные в опорных сетках фильтрующие элементы, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  площади фильтрации и производительности фильтра, он снабжен вертикальной разделительной перегородкой , прикрепленной к верхней и нижней противопо.тожным част м боковой поверхности вкладыща, выполненного в виде полого цилиндра, при этом вход верхнего и выход нижнего каналов размещены на торцах вкладыща, а выход верхнего и вход нижнего каналов - на перегородке.

2.Фильтр по п. К отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  коррозионной стойкости, фланцы, уплотнени , вкладыщ с перегородкой и опорные сетки выполнены

из термопластичных фторопластов.