SU1274882A1 - Apparatus for electron-beam working - Google Patents
Apparatus for electron-beam working Download PDFInfo
- Publication number
- SU1274882A1 SU1274882A1 SU853909423A SU3909423A SU1274882A1 SU 1274882 A1 SU1274882 A1 SU 1274882A1 SU 853909423 A SU853909423 A SU 853909423A SU 3909423 A SU3909423 A SU 3909423A SU 1274882 A1 SU1274882 A1 SU 1274882A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lock system
- ring
- vacuum chamber
- sectors
- angles
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к электронной технике и может быть использовано в электронно-лучевых установках . Оно позвол ет повысить качество изделий и надежность установки. Установка содержит электронную пушку , шлюзовую систему с вакуумной 3, шлюзовыми 4, 5 камерами и с транспортирующим кольцом с загрузочными отверсти ми 7. Транспортирующее кольцо вьтолнено в виде тора, а шлюзова система и вакуумна камера выполнены в виде герметизированных друг относительно друга секторов, углы которых св заны соотношени ми: ot 2ir/n.n,; /i + J 2ir/n (n+n,); 2ir/n(n,;-l)+5 /3 2Wn(n,,-S), где об - угол сектора вакуумной камеры; fijX - углы секторов шлюзовой системы; п - число загрузочных отверстий, п, - число технологических позиций в вакуумной камере; п,,Пз - число технологических позиций в шлюзовой системе соответственно с углами /i,J } 8 - центральный угол транспортирующего кольца, в который вписано загрузочное отверстие. Такое соотношение углов исключает контакт рабочей ка (Л меры с внешней средой, позвол ет создать гарантированную среду в рабочей зоне всего цикла обработки изделий. 3 ил.This invention relates to electronic engineering and can be used in electron beam installations. It improves the quality of products and the reliability of the installation. The installation contains an electron gun, a lock system with a vacuum 3, lock 4, 5 chambers and with a transporting ring with loading openings 7. The transporting ring is made in the form of a torus, and the lock system and the vacuum chamber are made in the form of sealed relative to each other sectors, the corners of which are are related by: ot 2ir / nn; / i + J 2ir / n (n + n,); 2ir / n (n,; - l) +5 / 3 2Wn (n ,, - S), where r is the angle of the sector of the vacuum chamber; fijX - the corners of the sectors of the lock system; p is the number of loading openings, p, is the number of technological positions in the vacuum chamber; п ,, Пз - the number of technological positions in the lock system, respectively, with angles / i, J} 8 - the central angle of the transporting ring, into which the loading opening is inscribed. Such a ratio of angles eliminates the contact of the working device (L of measure with the external environment, it allows creating a guaranteed environment in the working area of the entire product processing cycle. 3 Il.
Description
Изобретение относитс к электронной технике, в частности к электронно-лучевым установкам, и быть применено дл сварки, пайки и термической обработки изделий электронной техники. Целью изобретени вл етс повышение качества изделий и надежности установки. На фиг. 1 схематично представлена установка, общий вид; на фиг.2 шлюзова система установки, вид свер ху; на фиг. 3 - схема расчета шлюзовой системы. Установка содержит электронну т пушку 1 с кольцевым катодом 2 и пшюзовую систему с вакуумной 3, шлюзовыми 4, 5 камерами и с транспортирующим кольцом 6, имеющим равномерно расположенные загрузочные отверсти 7. Электронна пушка 1, установленна с возможностью перемещени перпендикул рно своей оси, например посредством создани гарантированного зазора 8 в местах креплени ,, мо жет измен ть свое положение относительно издели . Дл осуществлени возможности перемещени перпендикул рно своей оси кольцевой катод 2, снабженный, например , в своей плоскости симметричными отиосительно диаметра параллель ными односторонними выводами, может быть закреплен их поджатием в пазах выполненных по месту разъема фокусирующих электродов 9, что обеспечивает перемещение катода относительно Издели . При этом со стороны, противоположной креплению, катод опираетс на подвижные поддержки, выполненные , например, из тонкой тугоплавкой проволоки, изогнутой в виде крючков Перемещени пушки и катода относительно издели , вл ющегос анодом необходимы дл регулировани распре делени плотности тока пучка по периметру зоны нагрева. В результате устран вотс перегревы отдельных участков на издели х и пробои пушки св занные с нарушением вакуумного промежутка анод - катод. Подсоединение пушки и катода к внешним средствам юстировки позвол ет измен ть их положение в процессе работы уста новки. Камеры 3-5 шлюзовой системы выполнены в виде ректоров соответстве 2 но с углами (i,, /3, у , через которые проходит транспортир:/ющев кольцо 6. Шлюзовые камеры 4 и 5 отделены от вакуумной камеры 3 на границах 10 и П и от внешней среды на границах 12 и 13 уплотнени ми, прижатыми к транспортируюп ему кольцу 6. Вьшолнение кольца в виде тора гарантирует плотное облегание уплотнений по его периметру, что позвол ет исключить течи по кольцу, а следовательно , герметизировать камеры относительно друг друга. Дл уменьшени износа уплотнений загрузочные отверсти 7 имеют фаски. Транспортирующее кольцо 6 установлено на опорах 14„ Механизм привода транспортирукщего кольца, выполненный, например, в виде рычагов 15 и 16, установленных на оси шлюзовой системы и соединенных оо штоком гидроцилиндра 17, закрепленного на опоре вращени , обеспечивает поворот транспортирующего кольца 6 на заданный угол храповым пальцем 18, расположенным в рычаге 15 параллельно оси системы на рассто нии радиуса загрузочных отп верстий от ее центра. Число позиций в камерах определ етс заданным технологическим процессом . Углы секторов шлюзовой системы, имеющей по одной технологической позиции в шлюзах, выбираютс из соотношений s.,. . где - угол сектора вакуумной камеры; - углы секторов шлюзовой системы; число загрузочных отверстий транспортирующего кольца; число технологических позиций в вакуумной камере; центральный угол транспортирующего кольца, в который вписано загрузочное отверстие . Такое соотношение углов при вращении транспортирующего кольца 6 против часовой стрелки гарантирует последовательный переход загрузочных отверстий через вакуумную 10 и внешнюю 12 границы шлюзовой камеры 4, аThe invention relates to electronic engineering, in particular to electron-beam installations, and to be applied for welding, brazing and heat treatment of electronic equipment. The aim of the invention is to improve the quality of the products and the reliability of the installation. FIG. 1 schematically shows the installation, the general view; in Fig.2, the gateway installation system, view of the super xy; in fig. 3 - calculation scheme of the lock system. The installation contains an electron gun 1 with an annular cathode 2 and a pinch system with vacuum 3, sluice 4, 5 chambers and with a transport ring 6 having evenly spaced feed openings 7. The electron gun 1 mounted for movement perpendicular to its axis, for example Creating a guaranteed gap 8 at the points of attachment can change its position relative to the product. In order to realize the possibility of moving perpendicular to its axis, an annular cathode 2, provided, for example, in its plane with symmetrical diameters with parallel unilateral leads, can be fixed by pressing them in the slots of locally aligned focusing electrodes 9, which ensures the cathode moves relative to the Product. At the same time, on the side opposite to the mount, the cathode rests on movable supports made, for example, of thin refractory wire bent in the form of hooks. The movements of the gun and cathode relative to the product, which is an anode, are necessary to control the distribution of the current density of the beam around the heating zone. As a result, the overheating of individual sections on the articles and the gun breakdowns associated with the disturbance of the vacuum gap of the anode - cathode were eliminated. Connecting the gun and cathode to external means of adjustment allows their position to be changed during the operation of the installation. The chambers 3-5 of the airlock system are made in the form of rectors corresponding to 2 but with angles (i ,, / 3, y, through which the protractor passes: ring 6). The airlock chambers 4 and 5 are separated from the vacuum chamber 3 at the boundaries 10 and P and from the external environment at the boundaries 12 and 13 by seals pressed against the transport ring 6. Performing the ring in the form of a torus ensures a tight fit of the seals around its perimeter, which eliminates leakage around the ring and, therefore, seals the chambers relative to each other. wear seals boot holes These chimneys 7 are chamfered. The transporting ring 6 is mounted on supports 14 "The drive mechanism of the transporting ring, made, for example, in the form of levers 15 and 16 mounted on the axis of the lock system and connected by the hydraulic cylinder shaft 17 fixed on the rotation support, rotates the transporting ring 6 at a predetermined angle by a ratchet pin 18 located in the lever 15 parallel to the axis of the system at a distance of the radius of the boot gaps from its center. The number of positions in the chambers is determined by a given process. The angles of the sectors of the lock system, having one technological position in the gateways, are selected from the ratios s.,. . where is the angle of the sector of the vacuum chamber; - corners of the sectors of the lock system; the number of loading openings of the transporting ring; the number of technological positions in the vacuum chamber; the central angle of the transporting ring in which the loading opening is inscribed. This ratio of angles during rotation of the transporting ring 6 counterclockwise ensures a consistent transition of the loading openings through the vacuum 10 and the outer 12 borders of the sluice chamber 4, and
33
также через вакуумную 1I и внешнюю 13 границы шлюзовой камеры 5, при этом обеспечиваетс одновременный переход загрузочных отверстий через вакуумные IО и 11, а также через внешние 12 и 13 границы системы.also through the vacuum 1I and outer 13 borders of the sluice chamber 5, at the same time the simultaneous passage of the loading openings through the vacuum IO and 11, as well as through the outer 12 and 13 borders of the system.
В результате исключаетс контакт рабочей камеры с внешней средой и сокращаетс врем ее сообщени с раз реженными объемами шлюзов, что позвол ет создать гарантированную среду в рабочей зоне во врем всего цикла :обработки изделий, а следовательно, предотвратить окисление изделий и установить стационарный режим работы откачных средств. Кроме того, создаетс возможность откачивать шлюзовые камеры 4 и 5 одним насосом, а следовательно , уменьшаетс количество откачных и коммутирующих устройств.As a result, contact of the working chamber with the external environment is eliminated and the time of its communication with the reduced volumes of the locks is reduced, which allows creating a guaranteed environment in the working area during the whole cycle: processing of products, and therefore preventing oxidation of products and establishing a stationary operating mode of pumping means . In addition, it is possible to pump the sluice chambers 4 and 5 with one pump, and consequently, the number of pumping and switching devices is reduced.
Первоначальное прохождение загрузочными отверсти ми сначала вакуумных , а затем внешних границ не требует восстановлени атмосферы шлюзовых камер при транспортировке, вследствие чего уменьшаетс и врем холостых ходов.The initial passage of the loading openings, first with vacuum, and then outside boundaries, does not require restoring the atmosphere of the sluice chambers during transportation, as a result of which the idling time is reduced.
Установка работает следующим образом .The installation works as follows.
Производитс загрузка - выгрузка изделий в загрузочные от версти 7, расположенные во внешней среде.Loading - unloading of products into the boot from version 7 located in the external environment.
Штоком гидроцилиндра 17 рычаги 15 и 16 механизма привода поворачиваютс против часовой стрелки, захватыва транспортирующее кольцо 6 храповым пальцем 18, наход щимс в загру ,зочном отверстии кольца. Загрузочные отверсти , расположенные в шлюзовой камере 4 и на выходе вакуумной камеры 3, одновременно пересекают вакуумные границы 10 и 11 шлюзовой системы При этом внешние границы 12 и 13 перекрыты сплошной поверхностью транспортирующего кольца.By the rod of the hydraulic cylinder 17, the levers 15 and 16 of the drive mechanism are rotated counterclockwise, gripping the transport ring 6 with the ratchet pin 18, which is located in the loading hole of the ring. The loading openings located in the lock chamber 4 and at the output of the vacuum chamber 3 simultaneously cross the vacuum boundaries 10 and 11 of the lock system. At the same time, the outer boundaries 12 and 13 are blocked by a continuous surface of the transporting ring.
После полного перехода загрузочных отверстий через границы 10 и 11 при дальнейшем вращении транспортирующего кольца 6 происходит одновременный переход через внешние границы 12 и 13 загрузочных отверстий, ; расположенных в шлюзовой камере 5 и во внешней среде на входе в шлюзовую камеру 4. При этом вакуумные границы 10 и 11 перекрыты сплошной поверхностью транспортирующего кольца.After a complete transition of the loading holes through the boundaries 10 and 11 with further rotation of the transporting ring 6, a simultaneous transition occurs through the external boundaries 12 and 13 of the loading openings,; located in the lock chamber 5 and in the external environment at the entrance to the lock chamber 4. At the same time, the vacuum boundaries 10 and 11 are covered by the continuous surface of the transporting ring.
Механизм привода поворачивает транспортирующее кольцо 6 на задан748824 ,The drive mechanism rotates the conveying ring 6 to the specified 748824
ный шаг, равный шагу загрузочных отверстий . При остановке храповой палец 18 фиксирует положение транспортиpyющe o кольца, удерживает его от 5 обратного хода, возникающего от действи реактивных сил со стороны уплотнений шлюзовой системы.nyny step equal to the step of loading openings. When stopping, the ratchet pin 18 fixes the position of the transporting ring, keeps it from 5 reverse, resulting from the action of reactive forces from the side of the seals of the lock system.
На рабочей позиции вакуумной камеры изделие подаетс в электронную 10 пушку 1 и устанавливаетс в плоскости кольцевого катода 2. После обработки изделие выводитс из электронной пушки и возвращаетс в загрузочное отверстие транспортирующего кольТ5 ца 6.At the working position of the vacuum chamber, the product is fed into the electron 10 gun 1 and is placed in the plane of the annular cathode 2. After processing, the product is removed from the electron gun and returned to the loading opening of the transfer ring 6.
Далее осуществл етс возврат рычагов 15 и 16 посредством гидроцилиндра 17. При этом храповой палец 18 выводитс из загрузочного отверсти 20 а транспортирующее кольцо 6 удерживаетс в неподвижном состо нии уплотнени ми на границах камер. При обратном ходе храповой палец 18 заводитс в следующее загрузочное отверстие 25 транспортирующего кольца 6.Next, the levers 15 and 16 are returned by means of the hydraulic cylinder 17. In this case, the ratchet pin 18 is pulled out of the loading opening 20 and the transport ring 6 is kept in a stationary state by seals at the boundaries of the chambers. During the return stroke, the ratchet pin 18 is inserted into the next inlet 25 of the transfer ring 6.
Торовое исполнение кольца, проход щего через все камеры, обспечивает плотное облегание по его периметру уплотнений всех камер. Выполне30 ние шлюзовой системы совместно сThe torus design of the ring passing through all chambers ensures a tight fit around the perimeter of the seals of all chambers. Implementing the lock system together with
транспортирующим кольцом в виде герметизированных друг относительно друга секторов позвол ет создать высокое разрежение в рабочей камере, ис- ключающее окисление металлов и сплавов , что повьш1ает качество изделий. Герметизаци камер уменьшает также нагрузку на средства откачки, сокраща число их отказов, вследствие д чего повышаетс надежность оборудовани .a transporting ring in the form of sectors sealed relative to each other allows creating a high vacuum in the working chamber, excluding oxidation of metals and alloys, which increases the quality of the products. Sealing the chambers also reduces the load on the pumping facilities, reducing the number of their failures, thereby increasing the reliability of the equipment.
, Форма камер в виде секторов и соотношение между их углами выбраны из услови последовательного перехода 5 загрузочных отверстий транспортирующего кольца сначала через вакуумные , а затем внешние границы пшюзовой системы при одновременном прохождении отверсти ми одноименных 0 границ.The shape of the chambers in the form of sectors and the ratio between their angles are chosen from the condition of consecutive transition of 5 loading openings of the transporting ring, first through the vacuum and then the outer borders of the pinch system, while passing through the openings of the same name 0 boundaries.
Последовательный переход -загрузочных отверстий сначала через вакуумные , затем через внешние границы шлюзовой системы исключает кон-5 такт рабочей камеры с внешней средой , а одновременное прохождение отверстий через одноименные границы за счет сокращени времени сообщени с разреженными объемами mxtroзов ускор ет процесс восстановлени вакуума в рабочей камере. В результате при всем цикле обработки изделий в рабочем объеме обеспечиваетс гарантированна среда, иcключaюD a окисление металлов, что повьшает качество изделий.The sequential transfer of the batch holes first through the vacuum and then through the outer edges of the lock system eliminates the contact time of the working chamber with the external environment, and the simultaneous passage of the holes through the same boundaries by reducing the communication time with the rarefied volumes of mxtroses accelerates the process of vacuum recovery in the working chamber . As a result, with the entire processing cycle of the products in the working volume, a guaranteed environment is provided, except for the oxidation of metals, which increases the quality of the products.
Кроме того, периодический контакт рабочей камеры лишь с разреженными объемами шлюзов не нарушает стационарности режима откачных средств, а одновременный переход загрузочными отверсти ми одноименных границ позвол ет откачивать шлюзовые камеры одним насосом, что сокращает количество откачных и коммутирующих устройств . В результате повышаетс надежность установки в целом.In addition, the periodic contact of the working chamber with only sparse volumes of locks does not violate the stationarity of the pumping mode, and the simultaneous transition by the loading openings of the same boundaries allows pumping the sluice chambers with one pump, which reduces the number of pumping and switching devices. As a result, the overall reliability of the installation is increased.
Условием дл одновременного прохождени загрузочными отверсти ми одноименных границ вл етс равенство угла GJ между одной вакуумной границей и осью ближайшей к ней технологической позиции в вакуумной камере углу 2 между другой вакуу У1ной границей и осью ближайшей к ней технологической позиции в шлюзовой камере , а также равенство угла Т между одной внешней границей и осью ближайшей к ней технологической позиции в шлюзовой камере углу fj между другой внешней границей и осью ближайшей к ней технологической позиции во вйешней среде:The condition for the simultaneous passage of loading holes of like borders is the equality of the angle GJ between one vacuum boundary and the axis of the technological position nearest to it in the vacuum chamber angle 2 between the other vacuum U1 boundary and the axis of the technological position closest to it in the lock chamber T between one external boundary and the axis of the technological position nearest to it in the airlock chamber angle fj between the other external boundary and the axis of the technological position nearest to it in the outer environment:
б,-б,.б-, , .;b, -b, .b-,.;
откуда : from where
27 1Гр-б ., 27 1Гр-б.,
.(..О-б-сГ. (.. Gb
(i + )j(i +) j
где П,р п J - число технологическьсх позиций в шлюзовой системе соответственно с угламиwhere P, p p J - the number of technological positions in the lock system, respectively, with angles
. У. Have
Из услови последовательного прохождени загрузочными отверсти :ми транспортирующего кольца вакуутшых и внешних границ дл одного из секторов например с углом р., мо о записать:From the condition of the successive passage of the loading openings of the transporting ring of the vacuum and outer boundaries for one of the sectors, for example, with the angle p., You can write:
(.(.
Тогда соотношение дл другого шлюза выгл дит следующим образом:Then the ratio for the other gateway looks like this:
y-(3Hb(6..y- (3Hb (6 ..
С2)C2)
Дл опреде.ленной конфигурации загрузочных отверстий и заданного числа позиций в шлюзовых камерах измеиение углов их секторов происходит за счет изменени углов С5 .To determine the configuration of the loading openings and a specified number of positions in the lock chambers, the angles of their sectors are changed by changing the C5 angles.
При одновременном соблюдении условий (1) и (2) предел увеличени суммы (б С1пр определ етс из соотношенийлWith simultaneous observance of conditions (1) and (2), the limit of increase in the sum (b C 1) is determined from the relations
MaKc(J)(ina-)i Ол-JfMHM- r n -O -l t i p + eSjMaKc (J) (ina-) i Ol-JfMHM- r n -O -l t i p + eSj
QirQir
,WW
((2-tbf()t2j -(A.0,((2-tbf () t2j - (A.0,
откуда.from where
2ir2ir
/rt+f - ff . W + ojpp- --u ,/ rt + f - ff. W + ojpp- --u,
pnp- O.-S.pnp- O.-S.
Таким образом, услови дл последовательного прохождени загрузочными отверсти ми вакуумных и внешних границ и одновременного прохождени ими одноименных границ записываютс следующим образом:Thus, the conditions for the successive passage of the loading openings of the vacuum and external boundaries and the simultaneous passage of the like boundaries by them are written as follows:
, 215° - - - i, 215 ° - - - i
22
Р 1Г-ТГ-(R 1G-TG- (
22
2Т2T
(n,-.l1..-.r.,-S,(n, -. l1 ..-. r., - S,
где п п +Пг+Пд.where p p + pg + front.
Установка обеспечивает локальную обработку изделий кольцевым Азектронным пучком при непрерывной их подаче из внешней среды в технологическую зону. При этом гарантируетс высокое качество изделий и надежна работа оборудовани . Хороша герметизаци камер и поддержание в них заданной атмосферы обеспечивают проведение операций с разделением сред и обработку высокоактивных металлов и сплаThe installation provides local processing of products with an Azelectron ring beam with their continuous flow from the external environment to the process zone. At the same time, high product quality and reliable equipment operation are guaranteed. Good sealing of the chambers and maintaining a predetermined atmosphere in them ensure the conduct of operations with media separation and the processing of highly active metals and alloys.
ВОВ.BOB
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853909423A SU1274882A1 (en) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | Apparatus for electron-beam working |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853909423A SU1274882A1 (en) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | Apparatus for electron-beam working |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1274882A1 true SU1274882A1 (en) | 1986-12-07 |
Family
ID=21182243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853909423A SU1274882A1 (en) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | Apparatus for electron-beam working |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1274882A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU217445U1 (en) * | 2022-12-27 | 2023-03-31 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | DEVICE FOR ELECTRON-BEAM ADDITIVE FORMATION OF PRODUCTS |
-
1985
- 1985-06-07 SU SU853909423A patent/SU1274882A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| За вка JP № 58-57275, кл. В 23 К 15/00, 1984. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU217445U1 (en) * | 2022-12-27 | 2023-03-31 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | DEVICE FOR ELECTRON-BEAM ADDITIVE FORMATION OF PRODUCTS |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4282083A (en) | Penning sputter source | |
| US3829373A (en) | Thin film deposition apparatus using segmented target means | |
| US3641973A (en) | Vacuum coating apparatus | |
| EP0105407A2 (en) | A sputtering cathode apparatus | |
| GB2157715A (en) | Apparatus for cathodic sputtering | |
| ES441284A1 (en) | High pressure gas discharge lamp including a hydrogen getter | |
| SU1274882A1 (en) | Apparatus for electron-beam working | |
| US3170383A (en) | High vacuum observation apparatus | |
| Wright et al. | Design advances and applications of the rotatable cylindrical magnetron | |
| US3179423A (en) | Gas seal for oil circuit breakers | |
| US3852181A (en) | Continuous cathode sputtering system | |
| US3630690A (en) | Hydrogen-pumping apparatus of laminated construction | |
| US2438721A (en) | Method of sealing electrical discharge tubes | |
| US3132044A (en) | Metalized ceramic for bonding to metals | |
| US3129345A (en) | Process and apparatus for converting thermal energy into electrical energy | |
| Lewis et al. | Influence of the cathode surface on arc velocity | |
| US3278092A (en) | Apparatus for the regulated discharge of materials under pressure | |
| GB1493065A (en) | Electron discharge tubes | |
| GB1333617A (en) | Cathode sputtering apparatus | |
| EP0399671A3 (en) | Processing semi-conductor wafers and other substrates | |
| US2808980A (en) | Electrical vacuum pump | |
| Mioduszewski et al. | Studies on impurity control and hydrogen pumping with chromium gettering in ISX-B | |
| US3057130A (en) | Apparatus for processing articles or materials in a continuous flow operation | |
| GB1423981A (en) | Discharge lamp | |
| GB1128628A (en) | Improvements in method and apparatus for evacuating an electric discharge device of the vacuum type useful as a circuit interrupter |