SU1272283A1 - Устройство дл измерени электростатического контраста на движущихс периодически зар женных диэлектрических и полупроводниковых сло х - Google Patents

Abstract

Устройство относитс  к области электрографии, а именно к устройствам измерени  электростатического контраста путем считывани  периодического потенциального рельефа, сформированного на электрографическом барабане в процессе копировани . Целью изобретени   вл етс  повьшение точности измерений. Устройство дл  измерени  электростатического контраста содержит чувствительные электроды , расположенные на диэлектрической подложке 2 и заключенные в экранирующую оболочку 3, дифференциальный усилитель 4 и измерительный преобразователь 5. Цель достигаетс  благодар  тому, что полезньш сигнал, наводимьш на чувствительные электроды , в предлагаемом устройстве измен етс  в противофазе, а сигнал помехи на этих электродах измен етс  синфазно , что приводит к подавлению сигнала помехи и улучшению соотношени  с 9 сигнал/шум на выходе данного устройства . Таким образом, за счет,компенW сации помех, наводимьпс на чувствительные электроды, повышаетс  точность устройств, предназначенных дл  измерени  электростатического контраста на движущихс  периодически зар женных диэлектрических и полупроводниковых сло х. 2 ил.

Description

Изобретение относитс  к электрографии , а именно к устройствам измерени  электростатического контраста путем считывани  периодического потенциального рельефа, сформированного на электрографическом барабане в процессе копировани .

Целью изобретени   вл етс  повьшение точности устройства дл  измерени  электростатического контраста на движущихс  периодически зар женных диэлектрических и полупроводниковых сло х.

На фиг.1 показано предлагаемое устройство; на фиг.2 - конструкци  электродов.

Устройство содержит одинаковые чувствительные электроды 1, расположенные на диэлектрической подложке 2, заключенные в экранную оболочку 3 и соединенные с входами дифференциального усилител  4, и измерительный преобразователь 5. Выход дифференциального усилител  4 соединен с входом измерительного преобразовател  5, выполнегпюго в виде последовательно соединенных фильтра 6 верхних частот, оконечного усилител  7 и регистрирующего прибора 8.

Неподвижные чувствительные электроды 1 располагаютс  на рассто нии, например, 0,5-2 мм от контролируемой поверхности по направлению перемещени  периодического потенциального .рельефа на рассто нии, равном нечетному числу пространственных полупериодов периодического потенциального рельефа.

Чувствительные электроды могут иметь любую форму и быть выполнены различным образом, например из фольгированного стеклотекстолита (фиг.2)

Могут быть предусмотрены конструктивные меры, позвол ющие плавно либо ступенчато измен ть рассто ние между чувствительными электродами. Входное сопротивление дифференциального усилител  4 равно, например, 10-30 МОм.

Принцип-действи  устройства заключаетс  в следующем.

Периодически зар женный рельеф, состо щий из одинаковых по размерам зар женных и разр женных участков, перемещают под чувствительными электродами . В каждом чувствительном электроде индуцируетс  периодический сигнал. Из-за того, что чувствительные электроды расположены по направлению перемещени  зар женной поверхности на рассто нии нечетного числа пространственных полупериодов потенциального рельефа, сигналы, наводимые на чувствительные электроды, смещаютс  по фазе на нечетное число полупериодов , т.е. измен ютс  в противофазе . При рассто нии между чувствительными электродами -5 мм и диаметре электрографического цилиндра более 100 мм сигналы, наводимые поме-. хами на чувствительные электроды, измен ютс  синфазно, а так как габариты чувствительных электродов одинаковы , то и сигналы помехи на каждом электроде одинаковые по величине. Таким образом, в дифференциальном усилителе усиливаетс  полезный сигнал и компенсируетс  сигнал помехи.

В. устройстве предусмотрен фильтр верхних частот дл  подавлени  несинфазных помех, вызванных наличием дефектов на контролируемой поверхности.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  измерени  электростатического контраста на движутцихс  периодически зар женных диэлектрических и полупроводниковых сло х, содержащее неподвижный чувствительный электрод, расположенный над контролируемой поверхностью и .заключенный в экранную оболочку, открытую со стороны контролируемого потенциального рельефа, и усилитель,.выход которого соединен с входом измерительного преобразовател - , отличающеес   тем, что, с целью повьшгени  точности измерени , в него введен второй чувствительньш электрод, идентичный первому, при этом чувствительные электроды расположены друг от друга на рассто нии, равном нечетному числу пространственных полупериодов контролируемого потенцигшьного рельефа вдоль направлени  движени , и соединены с входами усилител , который выполнен дифференциальным.