SU1269060A1 - Устройство дл регистрации вольтфарадных характеристик - Google Patents

Устройство дл регистрации вольтфарадных характеристик Download PDF

Info

Publication number
SU1269060A1
SU1269060A1 SU853919253A SU3919253A SU1269060A1 SU 1269060 A1 SU1269060 A1 SU 1269060A1 SU 853919253 A SU853919253 A SU 853919253A SU 3919253 A SU3919253 A SU 3919253A SU 1269060 A1 SU1269060 A1 SU 1269060A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
output
input
amplifier
voltage
measurement object
Prior art date
Application number
SU853919253A
Other languages
English (en)
Inventor
Леонид Васильевич Каменев
Виктор Федорович Рыжов
Борис Вульфович Цыпин
Александр Александрович Чумаков
Сергей Викторович Шварев
Original Assignee
Пензенский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского Института Приборостроения
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Пензенский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского Института Приборостроения filed Critical Пензенский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского Института Приборостроения
Priority to SU853919253A priority Critical patent/SU1269060A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1269060A1 publication Critical patent/SU1269060A1/ru

Links

Landscapes

  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к области электронной техники и может быть использовано дл  проведени  контрол  качества полупроводниковых структур при производстве интегральных схем. Цель изобретени  - повышение точности регистрации вольт-фарадных характеристик достигаетс  за счет использовани  узкополосного избирательного усилител , обладающего, большим коэффициентом усилени , чем широкополосные, и имеющего меньшую погрешность преобразовани . Устройство содержит генератор 1 синусои-. дального напр жени , блок 2обработки , состо щий из индикатора 3 синфазности , управл емого делител  4 напр жени , образцового резистора 5, усилител  6, конденсаторов 7 и 8, выпр мител  9, сумматор 10, источник 11 смещени , графопостроитель 12, объект 13 измерени , эквивалентна  схема которого представл ет собой с 9 параллельно соединенные конденсатор 14 и сопротивление 15, образцовый (Л конденсатор 16, резистор 17 и узкополосный избирательный усипитель 18. 1 ют.

Description

1C
а со о
О)
Изобретение относитс  к области электронной техники и может быть использовано дл  проведени  контрол  качества полупроводниковых структур при производстве интегральных микро схем.
Целью изобретени   вл етс  повышение точности регистрации вольтфар адных характеристик.
Указанна  цель достигаетс  за счет возможности использован1 1Я узкополосного избирательного усилител , обладающего большим коэффициентом усилени , чем широкополосные, и, следовательно, имеющего меньшую погрешность преобразовани .
На чертеже представлена функциональна  схема устройства.
Устройство содержит генератор 1 синусоидального напр жени , блок 2 обработки, состо щий из индикатора 3 синфазности, управл емого делител  4 напр жени , образцового резистора 5 (RO)J усилител  6, первого и второго образцовых конденсаторов 7 (С2) и 8 (СЗ), выпр мител  9, сумматор 10, источник 11 смещени , графопостроитель 12, объект 13 измерени , эквивалентна  схема которого представл ет собой параллельно соединенные конденсатор 14 (С) и резистор 15 (R), образцовый конденсатор 16 (С), резистор 17 (R), избирательный усилитель 18.
Генератор 1 синусоидального напр жени  соединен с первыми входами блока 2 обработки и сумматора 10, источник 11 смещени  соединен с горизонтальным входом графопостроител  12 и вторым входом сумматора 10, выход которого подкл)эчен к первому полюсу объекта 13 измерени , избирательный усилитель 18 соединен по выходу со вторым входом блока 2 обработки , выход которого соединен с вертикальным входом графопостроител  12. Образцовый конденсатор 16 (С1) включен в цепь обратной св зи избирательного усилител  18, вход которого соединен с третьим входом сумматора 10, второй клеммой дл  подключени  объекта 13 измерени  и первым выводом резистора 17, второй вывод которого соединен с общей шиной, входы индикатора 3 синфазности и управл емого делител  4 напр жени  соединены между собой и через первый вход блока 2 обработки с генератором 21 синусоидального напр жени . Выход индикатора 3 синфазности подключен к управл ющему входу управл емого делтел  4 напр жени , выход которого через образцовый резистор 5 (R) соединен с инвертирующим входом усилител  бис первглми выводами первого и второго образцовых конденсаторов 7 (С2) и 8 (СЗ), вторые выводы которых соединены соответственно с выходом усилител  6 и через второй вход блока 2 обработки - с выходом избирательного усилител  18, вход выпр мител  9 соединен с выходом усилител  6 и вторым входом индикатора 3 синфазности, а выход через выход блока 32 обработки подключен к вертикальному входу графопостроитл  12.
Эквивалентна  схема объекта 13 измерени  представл ет собой параллельно соединенные конденсатор 14 (Су) и резистор 15 (Ry).
Устройство работает следующим образом.
К объекту 13 измерени  прикладываетс  через сумматор 10 сумма ли-нейно-измен ющегос  напр жени  смещени  от источника 11 смещени  и синусоидального тестового сигнала от генератора 1 синусоидального напр жени  .
Резистор 17 необходим дл  соединени  второго полюса объекта 13 измерени  с общей шиной по посто нному току, т.е. дл  замыкани  цепи воздействи  на об7)ект 1 3 измерени  напр жени  смещени . При этом падение напр жени  U-, на объекте 13 измерени  равно;
U,,7 (1) где
U2 lJcM+Ui()+UR.n , (2)
и - значение напр жени  на выходе сумматора 10; UR падение напр жени  на резисторе 17; .vJu) - значение синусоидального
нап1  жени  (тестового сигнала ) на выходе сумматора 10;
значение напр жени  смещени  на выходе сумматора 10, равное значению напр жени  смещени  на выходе источника 1 1 сме  ени ; . кругова  частота синусоидального напр жени ; Следовательно: ,,(jiO) (3) Таким образом, действительное па дение напр жени  смещени  на объекте t3 измерени  равно заданному зна чению напр жени  на выходе источник II смещени , фиксируемому графопостроителем 12. Выходное напр жение избирательно го усилител  18 равно: и,, (ju3)-U, (jc) llRiiSr-ii. где и,(jtO) - значение напр жени  на выходе избирательно го усилител  18. С выхода избирательного усилител  18 сигнал, пропорциональный комп лексной проводимости объекта 13 изм рени , поступает через второй вход блока 2 обработки на второй образцовый конденсатор 8 (СЗ). Через первый вход блока 2 обработки напр жение с выхода генератора 1 синусоидального напр жени  поступает на первый вход управл емого делител  4 напр жени . Значение напр жени  на выходе усилит л  6 равно: UgCju)-и, (ju)) - К ju)-c,-RO - 5- и С2 где К - коэффициент передачи управл емого делител  4 напр жени . Дп  исключени  на выходе усилител  6 составл ющей сигнала, пропорцио „, 1 , нальнои проводимости утечки (--) объекта 13 измерени , усилитель 6 охвачен цепью обратной св зи, состо щей из первого образцрвого конденсатора 7 (С2), образцового резистора 5 (RO) индикатора 3 синфазности и управл емого делител  4 напр жени . Индикатор 3 синфазности сравнивает ( 4) 04 фазы напр жений генератора 1 синусоидального напр жени  и выхода усилител  6 и регулирует коэффициент передачи управл емого делител  А налр женин до достижени  равенства фаз UgCjcJ) и и (jco), что соответствует условию равенства нулю составл ющей сигнала, завис щей от проводимости утечки объекта 13 измерени , на выходе усилител  6. Действительно, при условии равенства нулю реактивной составл ющей выражени  (6), т.е. C3-R , 1 при К С1 R и (jiO) и Uj (jto) синфазнапр жени  ны. При этом Us(Ju3)U,(ju))С1-С2 а напр жение Од (jcj) на выходе, упра л емого делител  напр жени  4 равно U(Ju3)U, (ju)).(ju:)) т.е. пропорционально проводимости утечки резистора 15 (---) объекта 13 измерени . Напр жение, с выхода усилител  6, пропорциональное емкое-. ти конденсатора 14 (Су) объекта 13 изерени , детектируетс  вьшр мителем 9 и подаетс  на вертикальный вход графопостроител  12, Избирательный усилитель 18 выполнен в виде усилител  переменного тока , полоса пропускани  которого может быть очень узкой и выбираетс , исход  из требуемой частоты синусоидального напр жени . Это позвол ет обеспечить высокий коэффициент уси-(. лени  и, следовательно: повысить точность преобразовани  комплексного сопротивлени  объекта 13 измерени  в напр жение. Сужение полосы пропускани  избирательного усилител  18 позвол ет снизить значение шумов на выходе усилител , что также повышает точность регистрации вольт-фарадных характеристик. Таким образом, в результате подключени  средней точки делител , образованного комплексным сопротивлением объекта 13 измерени  и резистором 17 (R), к третьему входу сумма5
тора 10 обеспечиваетс  полное соответствие между заданным напр жением смещени  и действительным падением напр жени  смещени  на объекте 13 измерени  во всем диапазоне изменени  напр жени  смещени .
Сужение полосы пропускани  избирательного усилител  18 позвол ет повысить его коэффициент усилени  и уменьшить значение шумов на его выходе. Все это позвол ет повысить точность регистрации вольт-фарадных характеристик.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Устройство дл  регистрации вольтфарадных характеристик, содержащее генератор синусоидального напр жени  соединенный с первым входом блока
    690606
    обработки и первым входом сумматора, второй вход которого подключен к источнику смещени  и горизонтальному входу графопостроител , вертикалы 5 ный вход которого соединен с выходом блока обработки, а выход сумматора соединен с первой клеммой дл  подключени  объекта измерени , втора  клемма дл  подключени  которого 10 соединена с входом усилител , через образцовый конденсатор с выходом усилител  и с вторым входом блока обработки, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точнос15 ти, оно снабжено резистором, усипитель выполнен избирательным, а сумматор снабжен трётим входом, соединенным с второй клеммой дл  подключени  объекта измерени  и первым
    20 выводом резистора, второй вывод которого подключен к общей шине.
SU853919253A 1985-06-26 1985-06-26 Устройство дл регистрации вольтфарадных характеристик SU1269060A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853919253A SU1269060A1 (ru) 1985-06-26 1985-06-26 Устройство дл регистрации вольтфарадных характеристик

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853919253A SU1269060A1 (ru) 1985-06-26 1985-06-26 Устройство дл регистрации вольтфарадных характеристик

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1269060A1 true SU1269060A1 (ru) 1986-11-07

Family

ID=21185690

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853919253A SU1269060A1 (ru) 1985-06-26 1985-06-26 Устройство дл регистрации вольтфарадных характеристик

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1269060A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3139305B2 (ja) 容量型加速度センサ
US4246497A (en) Phase measuring circuit
US4340854A (en) Distortion measurement system
US6639414B2 (en) Circuit for measuring changes in capacitor gap using a switched capacitor technique
CN102455727B (zh) 100pA-1μA量程的微弱电流源
CN111693784A (zh) 一种微弱电容变化测量电路
EP0517549A2 (en) Method and apparatus for measuring RMS values
Malik et al. A dual-slope-based capacitance-to-time signal conditioning circuit for leaky capacitive sensors
SU1269060A1 (ru) Устройство дл регистрации вольтфарадных характеристик
CN109752597B (zh) 一种电感引线补偿装置及方法
RU2317559C1 (ru) Способ измерений комплексных сопротивлений многополюсника (варианты)
KR970009870B1 (ko) 2차 액티브 위상등가기
Ansari et al. A novel direct reading active-RC system for measurements of in-circuit, discrete, and incremental capacitances
SU572722A1 (ru) Устройство дл измерени сопротивлени фаза-нуль
SU1196775A1 (ru) Устройство дл измерени переменного напр жени
Gupta et al. Using an Un-Balanced AC Wheatstone Bridge to Measure Capacitance and Inductance
SU1456909A1 (ru) Устройство дл измерени составл ющих комплексных сопротивлений
JPH06308176A (ja) 容量測定回路及びそれを備えたlcrメ−タ
JPH0468858B2 (ru)
SU836760A1 (ru) Фазовый детектор
SU1629879A1 (ru) Преобразователь параметров параллельных R @ С @ цепей в напр жение
SU408238A1 (ru) Способ измерения сопротивления изоляции
SU1348741A1 (ru) Устройство дл измерени относительной разности двух напр жений
SU1404961A1 (ru) Преобразователь напр жение-ток с заземленной нагрузкой
Surdu et al. Wide frequency range quadrature bridge comparator Pont