SU1266402A1 - Способ анизотропного травления мезоструктур - Google Patents
Способ анизотропного травления мезоструктурInfo
- Publication number
- SU1266402A1 SU1266402A1 SU3861900/25A SU3861900A SU1266402A1 SU 1266402 A1 SU1266402 A1 SU 1266402A1 SU 3861900/25 A SU3861900/25 A SU 3861900/25A SU 3861900 A SU3861900 A SU 3861900A SU 1266402 A1 SU1266402 A1 SU 1266402A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mesostructures
- anisotropic etching
- anisotropic
- etching
- absent
- Prior art date
Links
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
Способ анизотропного травления мезоструктур, включающий формирование на поверхности кремниевой пластины с ориентацией рабочей поверхности в плоскости [100] прямоугольных участков маски, стороны которых ориентированы в направлениях [110] , формирование в углах прямоугольных участков корректирующих фигур, анизотропное травление кремния в местах пластины, свободных от маски, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности процесса за счет уменьшения размеров разделительных канавок, формирование прямоугольных участков маски и травление кремния проводят вначале вдоль одного из направлений [110], затем осуществляют маскирующее окисление полученной поверхности и проводят формирование прямоугольных участков маски и травление кремния вдоль второго направления [110], а корректирующие фигуры формируют в виде отрезков прямых, проходящих от вершины прямоугольных участков маски под углом 45к направлению [110] до пересечения со смежной корректирующей фигурой.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3861900/25A SU1266402A1 (ru) | 1985-02-21 | 1985-02-21 | Способ анизотропного травления мезоструктур |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3861900/25A SU1266402A1 (ru) | 1985-02-21 | 1985-02-21 | Способ анизотропного травления мезоструктур |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1266402A1 true SU1266402A1 (ru) | 1996-05-20 |
Family
ID=60539834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU3861900/25A SU1266402A1 (ru) | 1985-02-21 | 1985-02-21 | Способ анизотропного травления мезоструктур |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1266402A1 (ru) |
-
1985
- 1985-02-21 SU SU3861900/25A patent/SU1266402A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0271838A3 (en) | Novel microorganisms capable of assimilating lactose | |
AU2428084A (en) | Generation of identification keys | |
SU1266402A1 (ru) | Способ анизотропного травления мезоструктур | |
SU1208765A1 (ru) | Способ получения производных феноксифенилмочевины | |
SU1167881A1 (ru) | Фенилгидразид морфолинодиэтилуксусной кислоты, обладающий противотуберкулезным действием | |
SU1240079A1 (ru) | Способ получения тетрабутоксититана | |
SU1256381A1 (ru) | Способ переработки редкоземельного концентрата | |
SU1192263A1 (ru) | Способ изготовления бриллианта фантазийной формы | |
SU1280931A1 (ru) | Катод магниевого электролизера (его варианты) | |
SU1259554A1 (ru) | Шарнир универсального шпинделя | |
SU1198912A1 (ru) | Арилгидразиды 2-бутилгекс-2-еновой кислоты, проявляющие противотуберкулезную активность, и способ их получения | |
SU1162200A1 (ru) | Способ получения смеси метилхлорсиланов | |
SU1240263A1 (ru) | Коллектор электронного прибора свч | |
SU1216940A1 (ru) | Способ получения изопрена | |
SU1254630A1 (ru) | Способ непрерывного литья заготовок | |
SU1135053A1 (ru) | Способ приготовления модифицированной гранулированной окиси алюминия | |
SU1182881A1 (ru) | Способ активационного анализа | |
SU1269465A1 (ru) | Способ получения 2-анилино-7-гидрокси-6н-1,3,4-тиадиазепинов | |
SU1269688A1 (ru) | Источник ионов | |
SU1264575A1 (ru) | Способ иммобилизации клеток | |
SU1262907A1 (ru) | Способ получения n-винилкарбазола | |
SU1216944A1 (ru) | Способ получения 2,6-ди-трет-бутилфенола | |
SU1258083A1 (ru) | Сталь | |
SU1233456A1 (ru) | Способ получения замещенных n-[(1,3,5-триазин-2-ил)аминокарбонил]бензолсульфонамидов | |
SU1501500A1 (ru) | Способ получения полиимидов |