SU1266402A1 - Способ анизотропного травления мезоструктур - Google Patents

Способ анизотропного травления мезоструктур

Info

Publication number
SU1266402A1
SU1266402A1 SU3861900/25A SU3861900A SU1266402A1 SU 1266402 A1 SU1266402 A1 SU 1266402A1 SU 3861900/25 A SU3861900/25 A SU 3861900/25A SU 3861900 A SU3861900 A SU 3861900A SU 1266402 A1 SU1266402 A1 SU 1266402A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mesostructures
anisotropic etching
anisotropic
etching
absent
Prior art date
Application number
SU3861900/25A
Other languages
English (en)
Inventor
Н.А. Брюхно
Original Assignee
Н.А. Брюхно
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Н.А. Брюхно filed Critical Н.А. Брюхно
Priority to SU3861900/25A priority Critical patent/SU1266402A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1266402A1 publication Critical patent/SU1266402A1/ru

Links

Landscapes

  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Weting (AREA)

Abstract

Способ анизотропного травления мезоструктур, включающий формирование на поверхности кремниевой пластины с ориентацией рабочей поверхности в плоскости [100] прямоугольных участков маски, стороны которых ориентированы в направлениях [110] , формирование в углах прямоугольных участков корректирующих фигур, анизотропное травление кремния в местах пластины, свободных от маски, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности процесса за счет уменьшения размеров разделительных канавок, формирование прямоугольных участков маски и травление кремния проводят вначале вдоль одного из направлений [110], затем осуществляют маскирующее окисление полученной поверхности и проводят формирование прямоугольных участков маски и травление кремния вдоль второго направления [110], а корректирующие фигуры формируют в виде отрезков прямых, проходящих от вершины прямоугольных участков маски под углом 45к направлению [110] до пересечения со смежной корректирующей фигурой.
SU3861900/25A 1985-02-21 1985-02-21 Способ анизотропного травления мезоструктур SU1266402A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3861900/25A SU1266402A1 (ru) 1985-02-21 1985-02-21 Способ анизотропного травления мезоструктур

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3861900/25A SU1266402A1 (ru) 1985-02-21 1985-02-21 Способ анизотропного травления мезоструктур

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1266402A1 true SU1266402A1 (ru) 1996-05-20

Family

ID=60539834

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3861900/25A SU1266402A1 (ru) 1985-02-21 1985-02-21 Способ анизотропного травления мезоструктур

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1266402A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0271838A3 (en) Novel microorganisms capable of assimilating lactose
AU2428084A (en) Generation of identification keys
SU1266402A1 (ru) Способ анизотропного травления мезоструктур
SU1208765A1 (ru) Способ получения производных феноксифенилмочевины
SU1167881A1 (ru) Фенилгидразид морфолинодиэтилуксусной кислоты, обладающий противотуберкулезным действием
SU1240079A1 (ru) Способ получения тетрабутоксититана
SU1256381A1 (ru) Способ переработки редкоземельного концентрата
SU1192263A1 (ru) Способ изготовления бриллианта фантазийной формы
SU1280931A1 (ru) Катод магниевого электролизера (его варианты)
SU1259554A1 (ru) Шарнир универсального шпинделя
SU1198912A1 (ru) Арилгидразиды 2-бутилгекс-2-еновой кислоты, проявляющие противотуберкулезную активность, и способ их получения
SU1162200A1 (ru) Способ получения смеси метилхлорсиланов
SU1240263A1 (ru) Коллектор электронного прибора свч
SU1216940A1 (ru) Способ получения изопрена
SU1254630A1 (ru) Способ непрерывного литья заготовок
SU1135053A1 (ru) Способ приготовления модифицированной гранулированной окиси алюминия
SU1182881A1 (ru) Способ активационного анализа
SU1269465A1 (ru) Способ получения 2-анилино-7-гидрокси-6н-1,3,4-тиадиазепинов
SU1269688A1 (ru) Источник ионов
SU1264575A1 (ru) Способ иммобилизации клеток
SU1262907A1 (ru) Способ получения n-винилкарбазола
SU1216944A1 (ru) Способ получения 2,6-ди-трет-бутилфенола
SU1258083A1 (ru) Сталь
SU1233456A1 (ru) Способ получения замещенных n-[(1,3,5-триазин-2-ил)аминокарбонил]бензолсульфонамидов
SU1501500A1 (ru) Способ получения полиимидов