SU1256208A1 - Устройство дл измерени параметров пленки в процессе вакуумного испарени вещества - Google Patents
Устройство дл измерени параметров пленки в процессе вакуумного испарени вещества Download PDFInfo
- Publication number
- SU1256208A1 SU1256208A1 SU843709499A SU3709499A SU1256208A1 SU 1256208 A1 SU1256208 A1 SU 1256208A1 SU 843709499 A SU843709499 A SU 843709499A SU 3709499 A SU3709499 A SU 3709499A SU 1256208 A1 SU1256208 A1 SU 1256208A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- input
- output
- counter
- control circuit
- inputs
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Изобрете(П-:е, относитс к измерительной технике. Цель изобретени - повышение точности и расширение функциональных возможностей устройства достигаетс благодар тому, что в устройство, содержащее кварцевый резонатор 1 и измерительный генера-тор 2, введены цифровой частотомер 3, вычитающий счетчик 4, счетчик 7 толщины , схема 5 сравнени кодов, счетчик 8 скорости, схемы 9 и 10 индикации, схема 6 управлени , включающа , двух- входовые элементы И-НЕ 11 и t5, элементы НЕ 12 и 21, формирователи 13 и 17 импульсов, одновибратор 14 блокировки , RS-триггеры 16 и 18, четырех- входовый элемент И-НЕ 19 и генератор 20 тактовых импульсов, с образованием новьЕх св зей между элементами устройства. 2 ил. i СЛ 00
Description
Изобретение относитс к измери- тельной технике,
Целью изобретени вл етс повышение точности и расширение функциональных возможностей устройства.
На фиг. 1 представлена функциональна схема устройства; на фиг. 2 - диаграммы, по сн ющие его работу.
Устройство содержит кварцевый резонатор 1, измерительный генератор 2, цифровой частотомер 3, вычитающий счетчик 4, схему 5 сравнени кодов, схему 6 управлени , счетчик 7 толщины , счетчик 8 скорости, первую схему 9 индикации, вторую схему 10 индика- ции, причем в блок 6 управлени вход т первый двухвходовый элемент И-НЕ 11, первый элемент НЕ 12, первый формирователь 13 импульсов, однови б- ратор 14 блокировки, второй двухвхо- довый элемент И-НЕ 15, первый RS- триггер 16, второй формирователь 17 импульсов, второй RS-триггер 18, че- тырехвходовый элемент И-НЕ 19, генератор 20 тактовых импульсов, второй элемент НЕ 21. Кварцевый резонатор 1 соединен с измерительным генератором 2, выход которого соединен с цифровым частотомером 3, выходы декад которого сое- динены с установочными входами вычитающего счетчика 4 и с первыми входами схемы 5 сравнени кодов, вторые входы схемы 5 сравнени соединены с кодовыми выходами вычитающего счетчика 4, а выход схемы 5 сравнени - с первым входом схемы 6 управлени .Первый выход схемы 6 управлени , соединен со счетными входами вычитаклцего счетчика 4, счетчика 7 толщины и счетчи- ка 8 скорости, второй выход схемы 6 управлени соединён с входом занесени вычитающего счетчика 4 и входом сброса счетчика 7 толщины, третий выход схемы 6 управлени соединен со сбросовым входом счетчика .8 скорости, четвертый выход схемы б управлени подключен к входам схем 9 и 10 индикации . Кодовые выходы счетчиков 7 и 8 соединены с входами схем 9 и 10 индикации .
Схема 6 управлени содержит вход Пуск, соединенный с одним из входов первого двухвходового элемента И-НЕ 11, второй вход которого соеди- нен с управл ющим выходом частотомера 3, выход которого соединен с входо первого элемента НЕ 12 и входом пер
вого формировател 13 импульсон,входом одновибратора 14 блокировки и сбросовым входом счетчика 8 скорости.
Выход первого элемента НЕ 12 соединен с входом второго двухвходового элемента И-НЕ 15, второй вход которого подключен к инверсному выходу первого RS-триггера 16, Выход второго двухвходового элемента И-НЕ 15 соединен с установочным входом вычитающего счетчика 4, сбросовым входом счетчика 7 толщины и входом второго формировател 17 импульсов.
Выход первого формировател 13 импульсов подключен к установочному входу первого RS-триггера 16, сбросовый вход которого соединен с входом Общий сброс схемы 6 управлени и сбросовым входом второго RS-триггера 18. Выход второго формировател 17 импульсов соединен с установочным вхо- .дом второго RS-триггера 18, выход которого подключен к одному из входов четырехвходового элемента И-НЕ 19, к второму входу которого подключен выход схемы 5 сравнени кодов, к третьему входу - выход генератора 20 тактовых импульсов. Выход одновибратора 14 блокировки соединен с четвертым входом четырехв ходового элемента И-НЕ 19 и второго элемента НЕ 21. Выход четырехвходового элемента И-НЕ 19 подключен к счетным входам счетчиков 4, 7 и 8, а выход второго элемента НЕ 21 соединен с входами управлени схем 9 и 10 индикации.
Устройство работает следующим образом ,
В элемент И-НЕ 11 схемы 6 управлени из цифрового частотомера поступает импульс Запуск ЦШ1 (цифропеча- т ак цего механизма), свидетельствующий о конце измерени в частотомере 3, Врем измерени выбирают, кратным 1 с.
Преобразование числа импульсов в значение скорости и толщины пленки производитс путем одновременной работы всех счетчиков.
После включени схемы 6 управлени из первого импульса частотомера 3 в схеме 6 управлени вьграбатьшает- с сигнал, который подаетс на вход S (занесение) вычитающего счетчика 4. Вычитающий счетчик 4 по этому сигналу из схемы 6 управлени принимает начальное значение кода частотомера 3, после чего в каждом цикле измерени (определ емом следуюищми импульсами частотомера Запись ЦПМ) счетчик 4 отслеживает значение кода час тотомера 3.
Схема 5 сравнени кодов анализир ет коды, подход щие с частотомера 3 и вычитающего счетчика , и подает разрешающий сигнал в схему 6 управлени на выдачу тактовых импульсов только в том случае, если код час- тотомера 3 меньше кода счетчика 4. В первом цикле коды частотомера 3 и счетчика 4 всегда равны. При увеличении толщины пленки частота измерительного генератора 2 уменьшаетс и схема 5 сравнени кодов разрешает из устройства 6 управлени вьщачу. тактовых импульсов, которые поступают на счетные входы всех трех счетчиков . Это происходит до тех пор, пока код вычитающего счетчика 4 не станет равным коду частотомера 3.
Счетчик 7 толщины сбрасываетс только в.начале работы, поэтому в нем фиксируетс изменение кода час- тотомера с момента запуска устройства , пропорциональное толщине т пленки.
Счетчик 8 скорости сбрасываетс с заданным временным интервалом,на- пример, -один раз в секунду, поэтому в нем фиксируетс изменение кода частотомера, пропорциональное скорости напылени пленки.
Окончанию периода изме.рени час- тотомера соответствует сигнал Запуск ЦПМ, а накопление импульсов в счетчиках происходит до момента, определ емого схемой сравнени кодов частотомера 3 и счетчика 4.
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл измерени параметров пленки в процессе вакуумного испарени вещества, содержащее кварцевый резонатор, помещенный в зоне осаждени пленки, соединенный с измерительным генератором, отличающеес тем, что, с ц елью повьшени точности и расширени функциональных возможностей, в него введены цифровой частотомер, вычитающий счетчик, схема сравнени кодов, счетчик толщины, счетчик скорости, перва схема индикации, втора схема индикации и схема управлени , со держаща первый двухвходовый элементИ-НЕ, первый элемент НЕ, первый формирователь импульсов, одновйбратор блокировки, второй формирователь импульсов , второй двухвходовый элемент И-НЕ, первый и второй -ЕЗ-триггеры, четырехвходовый элемент И-НЕ, генератор тактовых импульсов и второй элемент НЕ, при этом вход Пуск схемы управлени соединен через первый элемент И-НЕ, первый элемент НЕ и второй элемент И-НЕ с входом второго формировател импульсов, вл киршс вторым выходом схемы управлени , первым выходом которой вл етс выход четы- рехвх одового элемента И-НЕ, первый вход которого вл етс первым входом схемы управлени , вторым входом которой вл етс второй вход первого лвухвходового элемента И-НЕ, третий выход схемы управлени соединен с входом первого элемента НЕ, входом первого формировател импульсов и через одно- вибратор блокировки с четвертым входом четырехвходового элемента И-НЕ и входом второго элемента НЕ, выход которого вл етс четвертым выходом схемы управлени , вход Общий сброс которой соединен с входами сбросапервого и второго RS-триггеров, инверсный выход первого RS-триггера соединен с вторым входом второго двух входбвого элемента И-НЕ, установочные входы первого и в торого КЗ-триггеров соединены соответственно с выходами первого и второго формирователей импульсов, пр мой выход второго RS-триггера. соединен с вторым вхо-, дом четырехвходового элемента И-НЕ, третий вход которого соединен с выходом генератора тактовых импульсов,при этом к выходу измерительного генера- тора подключен цифровой частотомер, выходы декад которого соединены с установочными входами вычитающего счетчика и первыми входами схемы сравнени кодов, вторые входы которой соединены с соответствующими выходами декад вычитакндего счетчика, а выход схемы сравнени кодов подключен к первому входу схемы сравнени , к второму входу которой подключен управл ющий выход частотомера, первый выход схемы управлени соединен со счетными входами всех счетчиков, второй выход соединен с входом занесени вычитающего счетчика и входом сброса счетчика толщины, третий выход подS1236208aключей к входу сброса счетчика ско- кагцш, выходы счетчиков скорости и рости. четвертый выход управлени под- тс лщи ы соелике-и., . схем ин- ключен к управл ющим входам схем инди- ,;;;.:;. щик.ЦПМj............«.j...,,.,... .......„.зо. s i/--f6Ts , jj ыU//J --- ™ -- - .-...-.-..--...1Д11Ш11111 1йУЛ1 11И1 11У1 1 1 1и1иШШЯ1ШШ1 Ш 111П1Ж..r:rxJ-.5 A- U ,,jf-l, j ,......... -l::l..|.у / %:П / /г«7 4 ; liilL. .,3.-B-U i -./,- trsreituissiuc 4,..s, ,i:: : ii-T-,-.r..-,ri-3,jX-.i:i,-,--j:i ii : i:.i/.i„.J /ffffifffGi mi L.,l ///(.ajus.f
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843709499A SU1256208A1 (ru) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | Устройство дл измерени параметров пленки в процессе вакуумного испарени вещества |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843709499A SU1256208A1 (ru) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | Устройство дл измерени параметров пленки в процессе вакуумного испарени вещества |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1256208A1 true SU1256208A1 (ru) | 1986-09-07 |
Family
ID=21106899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843709499A SU1256208A1 (ru) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | Устройство дл измерени параметров пленки в процессе вакуумного испарени вещества |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1256208A1 (ru) |
-
1984
- 1984-03-13 SU SU843709499A patent/SU1256208A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 255728, кл, Н 03 К 13/20, 1968. Авторское свидетельство СССР № 450344, кл. Н 03 К 13/20, 1974. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1256208A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров пленки в процессе вакуумного испарени вещества | |
US4922447A (en) | Device for measuring the distance travelled and the speed of a rail vehicle | |
US3817083A (en) | Device and process for measuring a characteristic value of the operation of a clockwork | |
US3857274A (en) | Apparatus for rapidly evaluating the rate of a timekeeper | |
SU1569801A1 (ru) | Электронные часы | |
SU425149A1 (ru) | ||
SU1370604A1 (ru) | Цифровой фазометр | |
SU1219982A1 (ru) | Цифровой усредн ющий фазометр | |
SU917172A1 (ru) | Цифровой измеритель временных интервалов | |
SU1758630A1 (ru) | Цифровой измеритель отношени двух временных интервалов | |
SU824073A1 (ru) | Цифровой фазометр с посто ннымизМЕРиТЕльНыМ BPEMEHEM | |
SU445123A1 (ru) | Устройство дл автоматической настройки избирательного усилител на фиксированные частоты | |
SU918884A1 (ru) | Цифровой фазометр-частотомер | |
SU1721584A1 (ru) | Устройство дл измерени длительности переходного процесса | |
SU1377601A1 (ru) | Весоизмерительное устройство | |
JPS56144634A (en) | Burst gate pulse forming circuit | |
SU1160239A1 (ru) | УСТРОЙСТВО ДЛЯ СИНХРОНИЗАЦИИ ЧАСОВ ПО РАДИОКАНАЛУ по авт.св. № 591800 | |
SU1211663A1 (ru) | Устройство обработки сигналов допплеровского измерител скорости | |
SU1200126A1 (ru) | Расходомер | |
SU945818A1 (ru) | Цифровой частотомер | |
SU1495774A1 (ru) | Устройство дл формировани временных интервалов | |
SU748273A1 (ru) | Способ измерени сдвига фаз | |
SU570849A1 (ru) | Устройство дл измерени периода гармонического сигнала | |
SU855602A2 (ru) | Измеритель временных интервалов | |
SU911452A1 (ru) | Устройство дл дискретного измерени интервалов времени |