SU1254292A1

SU1254292A1 - Method of checking profile of curvilinear surfaces

Info

Publication number: SU1254292A1
Application number: SU843746268A
Authority: SU
Inventors: Евгений Сергеевич Шаньгин
Original assignee: Shangin Evgenij S
Priority date: 1984-06-04
Filing date: 1984-06-04
Publication date: 1986-08-30

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и можеч использоватьс дл измерени и контрол деталей сложной формы. Целью изобретени вл етс расширение диапазона контрол путем устранени вли ни аберраций. Излучение от источника фокусируют двум объективами на поверхностных зеркал, пропуска его через светофильтры и через диафраг- ьел, тем самьп производ последовательное формирование в каждой точке контролируемой поверхности изображени световой марки с помощью световых лучей с отличными одна от другой длинами волн. Отраженные от контролируемой поверхности лучи с помощью плоского зеркала направл ют через светофильтры на фотоэлементы, производ при этом сканирование изображени марки, образующейс на контролируемой поверхности. Наход т координаты каждой контролируемой точки и определ ют профиль поверхности. Возможно также формирование марки с помощью монохроматического излучени с длинами волн, образующих при сме- шении цвет, длина волны которого равна полусумме длины волн или с помощью излучени света, дополнительного по отношению к белому цвету, например желтого и синего. 2 з. п. ф-лы, 1 ил. i (Л СThe invention relates to a measurement technique and can be used to measure and control parts of complex shape. The aim of the invention is to expand the range of control by eliminating the effect of aberrations. The radiation from the source is focused by two lenses on the surface mirrors, passing it through the light filters and through the diaphragm, thereby making it possible to sequentially form at each point of the monitored surface an image of a light mark using light rays with different wavelengths one from the other. The rays reflected from the monitored surface are guided by a flat mirror through the light filters on the photocells, thereby scanning the image of the mark formed on the monitored surface. The coordinates of each controlled point are found and the surface profile is determined. It is also possible to form a mark using monochromatic radiation with wavelengths which, when mixed, form a color whose wavelength is equal to half the sum of the wavelengths or by means of light emission that is complementary to the white color, for example, yellow and blue. 2 h. item f-ly, 1 ill. i (Л С

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и может использоватьс дл измерени и контрол деталей сложной формы.The invention relates to a measurement technique and can be used to measure and control parts of complex shape.

Целью изобретени вл етс расширение диапазона контрол путем устранени вли ни аберраций.The aim of the invention is to expand the range of control by eliminating the effect of aberrations.

На чертеже представлена схема устройства, реализующего способ котрол профил криволинейных поверхностей .The drawing shows a diagram of the device that implements the method of controlling the profile of curved surfaces.

Устройство содержит источник 1 излучени , два объектива 2 и 3, два светофильтра 4 и 5 с отличными одна от другой длинами волн, две диафрагмы 6 и 7, два плоских зеркала 8 и 9, устновленных с возможностью поворота вокруг их центров и перемешивани вдоль оптической оси устройства, плоское зеркало 10, установленное с возможностью вращени вокруг его центра, фоторегистрирун ций блок 11, выполненный в виде двух фотоэлементов 12 и 13 и двух светофильтров 14 и 15, уставн 3вленных перед фотоэлементами 12 и 13 с отличными одна от другой длинами волн, и контролируема поверхность 16,The device contains a source of radiation 1, two lenses 2 and 3, two filters 4 and 5 with different wavelengths one from the other, two diaphragms 6 and 7, two flat mirrors 8 and 9, installed with the possibility of rotation around their centers and mixing along the optical axis device, a flat mirror 10 mounted for rotation around its center, photo registration units 11, made in the form of two photocells 12 and 13 and two light filters 14 and 15, installed in front of photocells 12 and 13 with different wavelengths one from the other, and in control MA surface 16,

Способ контрол профил осуществл етс следующим образом.The profile control method is carried out as follows.

Излучение от источника 1 фокусируют двум объективами 2 и 3 на поверхност х зеркал 8 и 9, пропуска его через светофильтры 4 и 5 и через диафрагмы 6 и 7, тем самым производ последовательное формирование в каждой точке контролируемой поверхности 16 изображение световой марки с помощью световых лучей с отличными одна от другой длинами волн. Отраженные от контролируемой поверхности 16 лучи с помощью плоского зеркала 10 направл ют через светофильтры 14 и 15 на фотоэлемент 12 и 13, производ при этом сканирование изображени марки, образующейс на контролируемой поверхности 16. Наход т координаты каждой контролируемой точки и определ ют профиль поверхности.The radiation from source 1 is focused by two lenses 2 and 3 on the surfaces of mirrors 8 and 9, passing it through light filters 4 and 5 and through diaphragms 6 and 7, thereby producing a consistent light image at each point of the surface being monitored 16 with excellent one from the other wavelengths. The rays reflected from the monitored surface 16 using a flat mirror 10 are directed through the optical filters 14 and 15 to the photocell 12 and 13, scanning the image of the mark formed on the monitored surface 16. The coordinates of each monitored point are found and the surface profile is determined.

Возможно также формирование марки с помощью монохроматического излучени с длинами волн, образующих при смещении цвет, длина волны которого равна полусумме длин волн, или с помощью излучени дополнительного по отношению к белому цвету, например желтого и синего.It is also possible to form a mark using monochromatic radiation with wavelengths that form a color with a wavelength equal to half the sum of the wavelengths, or by using additional radiation relative to white, for example, yellow and blue.

1515

Claims

1. The method of controlling the profile of curvilinear surfaces, which consists in the fact that

An image of a light mark is recorded at each point of the Surface to be monitored, rays reflected from each point of the surface being monitored are recorded, and a surface profile is defined, characterized in that, in order to extend the range of control, the light mark is formed using light beams with different lengths

waves, scan the mark image, find the coordinates of each monitored point and determine the surface profile.

2. The method according to claim 1, about tl and h and u-u and so that form the light

a brand using monochromatic radiation with wavelengths forming a color when mixing, whose wavelength is equal to half the sum of the wavelengths.

3. A method according to claim 2, characterized in that a light mark is formed using monochromatic radiation, which is complementary to the white color, for example, yellow and blue.

Editor A. Dolinich

Compiled by N. Zakharenko

Tehred A. Kravchuk Proofreader E. Sirohman

Order 4709/43 Circulation 670 Subscription

VNIIPI USSR State Committee

for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., 4/5

Production and printing company, Uzhgorod, st. Project, 4