SU1237426A1

SU1237426A1 - Vacuum chamber

Info

Publication number: SU1237426A1
Application number: SU843825315A
Authority: SU
Inventors: Степан Степанович Волков; Михаил Юрьевич Тимашев
Original assignee: Предприятие П/Я В-8754
Priority date: 1984-12-10
Filing date: 1984-12-10
Publication date: 1986-06-15

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике и может быть использовано дл передачи движени в вакуум в металлических вакуумных системах.The invention relates to vacuum technology and can be used to transfer motion to vacuum in metal vacuum systems.

Целью изобретени , вл етс упрощение конструкции и повьшение .надежности герметизации.The aim of the invention is to simplify the construction and increase the reliability of sealing.

На чертеже схематично изображена предлагаема вакуумна камера.The drawing schematically shows the proposed vacuum chamber.

Вакуумна камера содержит силь- фон 1 с торцовыми фланцами 2 и 3„ шток Д, жестко соединенный с фланцем 3 сильфона 1, исполнительный орган 5, расположенный на штоке 4, направл ющую 6, жестко соединенную с фланцем 2, трубку 7, корпус 8 камеры , кран 9, насос 10 и пружину 1 I . Трубка 7 соединена одним кондом с сильфоном I через отверстие во фланце 2, а другим концом - с краном 9 и проходит через корпус 8 камеры, Кран 9 соединен с насосом 10. К трубке 7 подсоединен манометр П дл измерени даёлени воздуха.The vacuum chamber contains a sylphon 1 with end flanges 2 and 3 "rod D, rigidly connected to the flange 3 of the bellows 1, an actuator 5 located on the rod 4, guide 6, rigidly connected to the flange 2, tube 7, chamber 8 , crane 9, pump 10 and spring 1 I. The tube 7 is connected by one condom to the bellows I through an opening in the flange 2, and the other end is connected to the crane 9 and passes through the body 8 of the chamber.

Вакуумна камера работает следующим образом.The vacuum chamber works as follows.

Привод камеры находитс в вакууме . ЕСЛИ воздух из сильфона 1 не откачан, то давление внутри сильфона на 1 атм больше, чем снаружи. Сила FP давлени на торцы сильфона раст гивающа снльфонThe camera drive is in a vacuum. If the air from the bellows 1 is not pumped out, then the pressure inside the bellows is 1 atm more than outside. FP pressure force on the ends of the bellows of the stretching sylfon

FP йР S, где йР - разность давлений внутриFP YP S, where YP is the pressure difference inside

и снаружи сильфона; S - максимальна площадь поперечного сечени сильфона .and outside the bellows; S is the maximum cross-sectional area of the bellows.

Одновременно на сильфон 1 действует ст гивающа сила F пружины 12, . жестко скрепленной с фланцами 2 и 3 сильфона 1. Упругость пружины выбирают Такой, чтобы при атмосферном давлении внутри сильфона (точнее U Р 1 атм) сильфон раст гивалс на максимальную величину. При условии дР О, т.е. при откачанном сильфоне, .раст гивающа сила F,, 0 При этом действует только ст гиваРедактор А. ЛежнинаSimultaneously, the bellows 1 is affected by the shearing force F of the spring 12,. rigidly bonded to the flanges 2 and 3 of the bellows 1. The elasticity of the spring is chosen such that at atmospheric pressure inside the bellows (more precisely, U P 1 atm) the bellows is stretched to its maximum. Provided dR Oh, i.e. with the evacuated bellows, the expanding force F ,, 0 In this case only the stack acts. Editor A. Lezhnin

Составитель А.Позн к Техред;Г.ГерберCompiled by A.Pozn to Tehred; G.Gerber

Заказ 3237/17Order 3237/17

Тираж 1031ПодписноеCirculation 1031 Subscription

ВНИИПИ Государственного комитета СССРVNIIPI USSR State Committee

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб„, д. 4/5for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab, 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г, Ужгород, ул. Проектна , 4Production and printing company, Uzhgorod, st. Project, 4

3742637426

юща сила пружины и сильфон оказываетс максимально сжатым.The spring force and bellows force is maximally compressed.

При изменении давлени в пределах О ьР 1 атм подвижный фла5 нец сильфона перемещаетс от максимально сжатого до максимально раст нутого положени сильфона. Согласно этому перемещаетс исполнительный орган 5 у соединенный через штокWhen the pressure changes within the O? P 1 atm, the movable end of the bellows moves from the maximum compressed position to the maximum extended position of the bellows. Accordingly, the actuator 5 moves through the stem.

О 4 с фланцем 3. Направл юща 6 обеспечивает заданное направление поступательного перемещени , Величина перемещени oпp eдeл eтc по величине давлени в сильфоне и в трубS5 ке 7 манометром 11. Уменьшение давлени в сильфоне производитс с помощью насоса 10, крана 9 и трубки 7 . About 4 with flange 3. Guide 6 provides a predetermined direction of translational movement.

Повышение давлени осущес1 вл ет20 с напуском воздуха из атмосферы с помощью крана 9, который служит также дл фиксации давлени .The increase in pressure is 20 with the intake of air from the atmosphere by means of a valve 9, which also serves to fix the pressure.

Сильфон с направл ющей можно располагать в любом месте вакуум-The bellows with a guide can be placed anywhere in the vacuum

25 ной системы с произвольной ориентацией без изменени точности перемещени исполнительного органа и без механкгческих усложнений.25 systems with arbitrary orientation without changing the accuracy of the movement of the executive body and without mechanical complications.

При использовании гибкого троси30 ка в оболочке в качестве штока силь- фонный узел можно удал ть также и от перемещаемого объекта, что позвол ет производить манипул ции в самых насыщенных и труднодоступныхWhen using a flexible cable in the shell as a rod, the syphonic unit can also be removed from the object being moved, which allows manipulations in the most saturated and difficult to reach.

35 местах вакуумных систем.35 ground vacuum systems.

Вакуумна камера позвол ет осуществл ть , кроме поступательного, также вращательное движение. Дл этой цели можно использовать анкер40 ный механизм, соединенный со штоком.The vacuum chamber allows, in addition to translational, also rotational movement. For this purpose, an anchor mechanism connected to the rod can be used.

Предлагаемую конструкцию можно реализовать с применением сильфона сварной конструкции, изготовленной из тонкие: металлических шайб с внеш45 ним диаметром - 15 мм. При длине сильфона 40 мм максимальный ход составл ет пор дка 10 мм. Диаметр трубки, проход щей через фланец, может составл ть пор дка 4 мм.The proposed construction can be realized with the use of a bellows of a welded structure made of thin: metal washers with an outer diameter of 15 mm. With a bellows length of 40 mm, the maximum stroke is in the order of 10 mm. The diameter of the tube passing through the flange may be in the order of 4 mm.

Корректор Е. СирохманProofreader E. Sirohman

Claims

A VACUUM CAMERA, comprising a housing, a manipulator with a drive having a sealed input into the camera housing, and an actuator associated with this drive, characterized in that, in order to simplify the design and increase the reliability of sealing, it is equipped with a source of the working medium located outside the camera, and a guide for the executive body, and the actuator is made in the form of a bellows with end flanges located inside the housing and connected by one flange to the source of the working medium through an additional tube, rigidly mounted the flange of the bellows is rigidly connected to the guide, and the second (movable) flange of the bellows is connected to the actuator by means of an additionally inserted rod located in the guide along an axis coinciding with the axis of the bell – § Background, while a spring is located inside the bellows compression.

SU „, .1237426