SU1224568A1 - Интерференционное устройство дл измерени штриховых мер - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, в частности к средствам дл  измерени  длины штриховых мер. Цель изобретени  - повьппение точности измерений - достигаетс  за счет четырехкратного прохождени  световым потоком измер емого рассто ни . Перемещение отража-/ телей приводит к смещению интерференционных полос, соответствующему алгебраической сумме перемещений их вершин вдоль объекта, что соответствует удвоенной величине перемещени  фокуса микроскопа в силу его. расположени  на каретке, установленной в такое положение, при котором фокус микроскопа совмещен со ттрнг хом меры, т.е. объектом, удвоенное перемещение фокуса микроскопа вдоль которого соответствует удвоенному рассто нию между штрихами меры. 1 ил. I (Л го ю д; СП 05 00

Description

I

Изобретение относитс  к контроль но-измерительной технике, в частное ти к средствам дл  измерени  длины штриховых мер.

Цель изобретени  - повьшение точности измерений.

На чертеже изображено интерференционное устройство дл  измерени  штриховых мер„

Устройство содержит станину 1, интерферометр, включающий установленные на станине 1 осветитель 2, i полупрозрачные пластины 3 и 4, ре гистрирующий узел 5 и уголковые отражатели 6 и 7. На станине 1 уста новлена с возможностью перемещени  вдоль объекта 8 каретка 9 с расположенными на ней уголковыми отражате™ п ми 6 и 7 и микроскопом 10, разме ценным таким образом, что его фокус расположен симметрично относительно оптических центров отражателей 6 и На станине 1 установлена также сист ма из отражающих элементов, последо вательно размещенных один за другим под углом один относительно другого отражающими поверхност ми навстре™ чу друг другу. Отражатель 6 оптичес ки св зан с элементом.1, а отра жатель 7 оптически св зан с элементом 12 и через пластину 4 с регист рьрующим узлом 5.

Устройство работает следующим образом.

Световой поток от .осветител  2 через пластину 3 проходит на отражатель 6, образу  измерительный поток, и отражаетс  на пластину 4, образу  опорный поток. От отражател  6 световой поток через отра жательные элементы 11 и 12 падает . на отражатель 7, а от него, пройд  через пластину 4 - на регистри рующий узел 5.

Таким образом, световой поток проходит измер емое рассто ние четыре раза. Измерительный поток, прошедший через пластину 4, смеши-, ваетс  с опорным потоком, отраженным этой пластиной 4, и образует на регистрирующем узле 5 интерференционную картину в виде полос. Пере- мещение оптических центров каждого из отражателей 6 и 7 вдоль объекта 8 приводит к смещению интерференционных полос, соответствующему величине и направлению перемещени . Перемещение двух отражателей 6 и 7

S

0

приводит к смещению интерферёнцион ных полос, соответствующему алгеб- раической сумме перемещений их вершин вдоль объекта 8, что соответствует удвоенной величине перемещени  фокуса микроскопа 10 в силу его расположени  на каретке 9. Каретку 9 устанавливают в такое положение, при котором фокус микроскопа 10 совмещен со штрихом меры, котора   вл етс  объектом 8. Перемеща  каретку 9 до совмещени  фокуса микроскопа 10 с другим штрихом меры, регистрируют смещение интерференционных полос, величина которого, соответствующа  удвоенному перемещению фокуса микроскопа вдоль объекта 8 (штриховоймеры), соответствует удвоенному рассто нию между штрихами меры.

В устройстве используетс  ва-. куумированный корпус.

Предлагаемое размещение микроскопа приводит в совокупности с остальными признаками к исключению погрешности Аббе, что позвол ет повысит ь точность измерени , в частности, штриховых мер.

5

Claims (1)

1. 30 Формула изобретени 

   Интерференционное устройство дл  измерени  штриховых мер, содержащее станину, интерферометр, включающий осветитель, установленньш на стани не, и уголковый отражатель, микроскоп , каретку, установленную с возможностью перемещени  вдоль объекта измерени , и регистрирующий узел, установленный на станине, а уголковый отражатель и микроскоп расположены на каретке, отличающее - с   тем, что, с целью повьш1ени  точности измерений, оно снабжено вторым уголковым отражателем, установленным на каретке, и системой из отражающих элементов, установленных на станине последовательно один за другим под углом один относительно другого, отражающими поверхност ми навстречу друг другу, первый из отражателей оптически св зан с первым - из отражающих элементов, а второй оптически св зан с последним из отражающих элементов и с регистрирующим элементом, а микроскоп размещен таким образом, что его фокус распола жен симметрично относительно оптических центров отражателей.

   IIM t nii iM MiiMiin

   It I и I и It ml