SU1216714A1 - Interferometer for plasma diagnostics - Google Patents

Interferometer for plasma diagnostics Download PDF

Info

Publication number
SU1216714A1
SU1216714A1 SU843776762A SU3776762A SU1216714A1 SU 1216714 A1 SU1216714 A1 SU 1216714A1 SU 843776762 A SU843776762 A SU 843776762A SU 3776762 A SU3776762 A SU 3776762A SU 1216714 A1 SU1216714 A1 SU 1216714A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
oscillations
mixer
plasma
film
plasma chamber
Prior art date
Application number
SU843776762A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Вячеслав Александрович Щербов
Павел Кириллович Нестеров
Original Assignee
Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиофизики И Электроники Ан Усср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиофизики И Электроники Ан Усср filed Critical Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиофизики И Электроники Ан Усср
Priority to SU843776762A priority Critical patent/SU1216714A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1216714A1 publication Critical patent/SU1216714A1/en

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Изобретение обеспечивает повышение точности измерений. Колебани  СВЧ-генератора 1 частотой , дел тс  пленочным делителем мощности (ВДМ) 2. Отраженные от пленки ГЩМ 2 колебани  поступают в смеситель 3 опорного канала . Колебани , прошедшие через пленку , поступают в плазменную камеру 7 и проход т далее в смеситель 4 измерительного канала. СВЧ колебани  от гетеродина 5 частотой i , поступа  на на четвертое плечо ПДМ 2, дел тс  им. Колебани , прошедшие пленку, по- .ступают в смеситель 3, а колебани , отраженные от нее, проход т через плазменную камеру 7 на смеситель 4. С выходов смесителей 3 и 4 колебани  разностной частоты ui ; по- i ступают на фазометр 9. По фазовому сдвигу суд т об электронной концентрации плазмы. 1 ил. Q со слThe invention provides improved measurement accuracy. The oscillations of the microwave generator 1 by the frequency, are divided by the film power divider (VDM) 2. The oscillations reflected from the GSRM 2 film enter the mixer 3 of the reference channel. Oscillations that have passed through the film enter the plasma chamber 7 and then pass to the mixer 4 of the measuring channel. The microwave oscillations from the local oscillator 5, frequency i, entered on the fourth arm of the PTP 2, are shared by it. Oscillations that have passed the film flow into the mixer 3, and oscillations reflected from it pass through the plasma chamber 7 to the mixer 4. From the outputs of the mixers 3 and 4, the oscillations of the difference frequency ui; step on phase meter 9. Phase shift determines the electron plasma concentration. 1 il. Q with sl

Description

1.one.

Изобретение относитс  к технике измерений на СВЧ и может использоватьс  дл  определени  электронной концентрации стационарной или газорар дной плазмы.The invention relates to a technique for measuring at microwave frequencies and can be used to determine the electron concentration of a stationary or gaz plasma.

Цель изобретени  - повышение точности измерений.The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy.

На чертежа приведена структурна  электрическа  схема интерферометра дл  диагностики плазмы.The drawing shows the structural electrical circuit of the interferometer for plasma diagnostics.

Интерферометр дл  диагностики .плазмы содержит -СВЧ-генератор 1, Iпленочный делитель 2 мощности, перг вый и второй смесители 3 и 4, гетеродин 5, ввод 6 СВЧ-сигнала в плазме1П1ую камеру 7, вывод 8 СВЧ-сигнала из плазменной камеры 7, фазометр 9.Interferometer for diagnostics. Plasma contains -HF-generator 1, I film divider 2 power, first and second mixers 3 and 4, local oscillator 5, input 6 of the microwave signal in plasma chamber 1, output 8 of the microwave signal from the plasma chamber 7, phase meter 9.

Интерферометр дл  диагностики плазмы работает следующим образом.An interferometer for plasma diagnostics works as follows.

Колебани  от СВЧ-генератора I с частотой раздел ютс  пленочньп- делителем мощности на опорный и измерительньй каналы. Отраженные от пленки пленочного делител  2 мощности колебани  поступают в первый смеситель 3 опорного канала. Колебани , прошедшие пленку, поступают через ввод 6 в плазменную камеру 7, принимаютс  выводом 8 и далее проход т во второй смеситель 4 измерительного какала. СВЧ-колебани  от гетеродина 5 частотой , раздел ютс  тем же пленочным делителем 2 измерительного сигнала. Колебани , прошедшие пленку, поступают в первый смеситель 3 опорного канала. Колебани , отраженные от пленки, поступают через ввод 6 в плазменную камеру принимаютс  выводом 8 и поступают во второй смеситель 4 измерительного канала. На выходах первого и второго смесителей 3 и 4 опорного и измерительного каналов выдел ютс  колебани  разностной частоты которые поступают в фазометр 9, индицирующий фазовый сдвиг cj между этими колебани ми, по которому суд тThe oscillations from the microwave generator I are frequency separated by a film-type power splitter into reference and measuring channels. The power reflected from the film divider 2 is transmitted to the first mixer 3 of the reference channel. Fluctuations that have passed through the film enter through the inlet 6 into the plasma chamber 7, are taken out by the outlet 8 and then pass to the second mixer 4 of the measuring scale. Microwave oscillations from the local oscillator 5 frequency, separated by the same film divider 2 measuring signal. The oscillations that have passed through the film enter the first mixer 3 of the reference channel. The oscillations reflected from the film enter through the inlet 6 into the plasma chamber and are received in outlet 8 and enter the second mixer 4 of the measuring channel. At the outputs of the first and second mixers 3 and 4 of the reference and measuring channels, oscillations of the difference frequency are output to the phase meter 9, indicative of a phase shift cj between these oscillations, judged by

142142

об электронной концентрации ng исследуемой плазмы.on the electron concentration ng of the investigated plasma.

Измер емый фазовый сдвиг в основном обусловлен дисперсионными свойствами исследуемой среды. Дл  случа , ui f, -i;j i( формула, св зывающа  с параметрами плазмы, имеет следующий вид:The measured phase shift is mainly due to the dispersion properties of the medium under study. For the case, ui f, -i; j i (the formula relating to plasma parameters is as follows:

27iiL/ (27iiL / (

Cf,CF,

гдеWhere

i,i,

пё - плазменна  час 9-10 тота;pe - plasma hour 9-10 tons;

L - линейные размеры плазмы; С - скорость света в свободном пространстве. Фазовый сдвиг Cf, , полученный с помощью данного интерферометра, менее 2 ТГ , поэтому легко индицируетс  фазометром 9, что позвол ет определить параметры высокоплотной плазмы, стационарной во времени, или высокоплотной газоразр дной плазмы с большими поперечными размерами . Путем выбора ±, и fg можно дл  данного диапазона определ емых концентраций получить удобно измер емую величину ср ,L is the linear dimensions of the plasma; C is the speed of light in free space. The phase shift Cf, obtained with this interferometer is less than 2 TH, therefore it is easily indicated by a phase meter 9, which allows determining the parameters of a high-density plasma, stationary in time, or a high-density gas-discharge plasma with large transverse dimensions. By choosing ±, and fg, for a given range of detectable concentrations, a conveniently measured value of cp can be obtained,

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Интерферометр дл  диагностики плазмы, содержащий последовательно соединенные СВЧ-генератор, пленочный делитель мощности, первый смеситель и фазометр, а также гетеродин, ввод СВЧ-сигнала в плазменную камеру , соединенный с третьим плечомPlasma diagnostic interferometer containing a series-connected microwave generator, a film power divider, a first mixer and a phase meter, as well as a local oscillator, input of a microwave signal into the plasma chamber connected to the third arm пленочного делител  мощности, вывод СВЧ-сигнала из плазменной камеры, подсоединенный к входу второго смесител ,, выход которого подключен к второму входу фазометра, о т л ичающийс  тем, что, с целью повьш1ени  точности измерений, выход гетеродина подсоединен к четвертому плечу пленочного делител  мощности.film power divider, the output of the microwave signal from the plasma chamber connected to the input of the second mixer, the output of which is connected to the second input of the phase meter, which is only due to the fact that, in order to increase the measurement accuracy, the output of the local oscillator is . Составитель Р.Кузнецова Редактор И.Савко , Техред О.Ващ1-шинаCompiled by R.Kuznetsova Editor I.Savko, Tehred O.Vash1-bus 997/55997/55 Тираж 778ПодписноеCirculation 778 Subscription ВНИИПИ Государственного комитета СССРVNIIPI USSR State Committee по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектна , 4Branch PPP Patent, Uzhgorod, st. Project, 4 Корректор Л.ПилипенкоProofreader L. Pilipenko
SU843776762A 1984-07-20 1984-07-20 Interferometer for plasma diagnostics SU1216714A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843776762A SU1216714A1 (en) 1984-07-20 1984-07-20 Interferometer for plasma diagnostics

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843776762A SU1216714A1 (en) 1984-07-20 1984-07-20 Interferometer for plasma diagnostics

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1216714A1 true SU1216714A1 (en) 1986-03-07

Family

ID=21133156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843776762A SU1216714A1 (en) 1984-07-20 1984-07-20 Interferometer for plasma diagnostics

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1216714A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Душин Л.А. СВЧ-интерферометры дл измерени плотности плазмы в импульсном газовом разр де. - М.: Атомиздат, 1973, с. 23. Там же, с. 33 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5625293A (en) Determination of the watercut of a multiphase flow directly from measured microwave frequency dielectric properties
WO1982000717A1 (en) Method and apparatus for photometric detection in fluids
Evenson et al. Optical Detection of Microwave Transitions Between Excited Electronic States of CN and the Identification of the Transitions Involved
US4104585A (en) Measurement of impurity concentration in liquids
SU1216714A1 (en) Interferometer for plasma diagnostics
Owens et al. Pulsed-flow instrument for measurement of fast reactions in solution
GB1513938A (en) Determination of the concentration ratio between two components of a mixture of substances
US3348136A (en) Gyromagnetic resonance apparatus utilizing two-sample signal comparison
SU1252715A1 (en) Interferometer for diagnostic checking of plasma
SU1215061A1 (en) Measuring probe
SU1236884A1 (en) Apparatus for measuring the distribution of electron concentration in plasma
SU1651230A1 (en) Method of determining full phase angle
SU1338085A1 (en) Device or measuring cable length
SU907456A1 (en) Generator signal frequency fluctuation meter
SU1337825A1 (en) Device for measuring parameters of materials
SU1236385A2 (en) Device for measuring carrier frequency of r.f.pulses
SU958876A1 (en) Device for measuring non-electrical values
SU321783A1 (en)
SU734504A1 (en) Optronic range finder
SU304519A1 (en) HIGH FREQUENCY PHASOMETER
SU853501A1 (en) Device for determination of solution dielectric penetrability
SU1488730A1 (en) Device for measuring thickness of semiconductor films
SU1215064A1 (en) Apparatus for measuring signal-to-noise ratio
SU718802A1 (en) Phase calibrator
SU1239633A1 (en) Device for measuring specific conductance