SU1216714A1 - Interferometer for plasma diagnostics - Google Patents
Interferometer for plasma diagnostics Download PDFInfo
- Publication number
- SU1216714A1 SU1216714A1 SU843776762A SU3776762A SU1216714A1 SU 1216714 A1 SU1216714 A1 SU 1216714A1 SU 843776762 A SU843776762 A SU 843776762A SU 3776762 A SU3776762 A SU 3776762A SU 1216714 A1 SU1216714 A1 SU 1216714A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- oscillations
- mixer
- plasma
- film
- plasma chamber
- Prior art date
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Изобретение обеспечивает повышение точности измерений. Колебани СВЧ-генератора 1 частотой , дел тс пленочным делителем мощности (ВДМ) 2. Отраженные от пленки ГЩМ 2 колебани поступают в смеситель 3 опорного канала . Колебани , прошедшие через пленку , поступают в плазменную камеру 7 и проход т далее в смеситель 4 измерительного канала. СВЧ колебани от гетеродина 5 частотой i , поступа на на четвертое плечо ПДМ 2, дел тс им. Колебани , прошедшие пленку, по- .ступают в смеситель 3, а колебани , отраженные от нее, проход т через плазменную камеру 7 на смеситель 4. С выходов смесителей 3 и 4 колебани разностной частоты ui ; по- i ступают на фазометр 9. По фазовому сдвигу суд т об электронной концентрации плазмы. 1 ил. Q со слThe invention provides improved measurement accuracy. The oscillations of the microwave generator 1 by the frequency, are divided by the film power divider (VDM) 2. The oscillations reflected from the GSRM 2 film enter the mixer 3 of the reference channel. Oscillations that have passed through the film enter the plasma chamber 7 and then pass to the mixer 4 of the measuring channel. The microwave oscillations from the local oscillator 5, frequency i, entered on the fourth arm of the PTP 2, are shared by it. Oscillations that have passed the film flow into the mixer 3, and oscillations reflected from it pass through the plasma chamber 7 to the mixer 4. From the outputs of the mixers 3 and 4, the oscillations of the difference frequency ui; step on phase meter 9. Phase shift determines the electron plasma concentration. 1 il. Q with sl
Description
1.one.
Изобретение относитс к технике измерений на СВЧ и может использоватьс дл определени электронной концентрации стационарной или газорар дной плазмы.The invention relates to a technique for measuring at microwave frequencies and can be used to determine the electron concentration of a stationary or gaz plasma.
Цель изобретени - повышение точности измерений.The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy.
На чертежа приведена структурна электрическа схема интерферометра дл диагностики плазмы.The drawing shows the structural electrical circuit of the interferometer for plasma diagnostics.
Интерферометр дл диагностики .плазмы содержит -СВЧ-генератор 1, Iпленочный делитель 2 мощности, перг вый и второй смесители 3 и 4, гетеродин 5, ввод 6 СВЧ-сигнала в плазме1П1ую камеру 7, вывод 8 СВЧ-сигнала из плазменной камеры 7, фазометр 9.Interferometer for diagnostics. Plasma contains -HF-generator 1, I film divider 2 power, first and second mixers 3 and 4, local oscillator 5, input 6 of the microwave signal in plasma chamber 1, output 8 of the microwave signal from the plasma chamber 7, phase meter 9.
Интерферометр дл диагностики плазмы работает следующим образом.An interferometer for plasma diagnostics works as follows.
Колебани от СВЧ-генератора I с частотой раздел ютс пленочньп- делителем мощности на опорный и измерительньй каналы. Отраженные от пленки пленочного делител 2 мощности колебани поступают в первый смеситель 3 опорного канала. Колебани , прошедшие пленку, поступают через ввод 6 в плазменную камеру 7, принимаютс выводом 8 и далее проход т во второй смеситель 4 измерительного какала. СВЧ-колебани от гетеродина 5 частотой , раздел ютс тем же пленочным делителем 2 измерительного сигнала. Колебани , прошедшие пленку, поступают в первый смеситель 3 опорного канала. Колебани , отраженные от пленки, поступают через ввод 6 в плазменную камеру принимаютс выводом 8 и поступают во второй смеситель 4 измерительного канала. На выходах первого и второго смесителей 3 и 4 опорного и измерительного каналов выдел ютс колебани разностной частоты которые поступают в фазометр 9, индицирующий фазовый сдвиг cj между этими колебани ми, по которому суд тThe oscillations from the microwave generator I are frequency separated by a film-type power splitter into reference and measuring channels. The power reflected from the film divider 2 is transmitted to the first mixer 3 of the reference channel. Fluctuations that have passed through the film enter through the inlet 6 into the plasma chamber 7, are taken out by the outlet 8 and then pass to the second mixer 4 of the measuring scale. Microwave oscillations from the local oscillator 5 frequency, separated by the same film divider 2 measuring signal. The oscillations that have passed through the film enter the first mixer 3 of the reference channel. The oscillations reflected from the film enter through the inlet 6 into the plasma chamber and are received in outlet 8 and enter the second mixer 4 of the measuring channel. At the outputs of the first and second mixers 3 and 4 of the reference and measuring channels, oscillations of the difference frequency are output to the phase meter 9, indicative of a phase shift cj between these oscillations, judged by
142142
об электронной концентрации ng исследуемой плазмы.on the electron concentration ng of the investigated plasma.
Измер емый фазовый сдвиг в основном обусловлен дисперсионными свойствами исследуемой среды. Дл случа , ui f, -i;j i( формула, св зывающа с параметрами плазмы, имеет следующий вид:The measured phase shift is mainly due to the dispersion properties of the medium under study. For the case, ui f, -i; j i (the formula relating to plasma parameters is as follows:
27iiL/ (27iiL / (
Cf,CF,
гдеWhere
i,i,
пё - плазменна час 9-10 тота;pe - plasma hour 9-10 tons;
L - линейные размеры плазмы; С - скорость света в свободном пространстве. Фазовый сдвиг Cf, , полученный с помощью данного интерферометра, менее 2 ТГ , поэтому легко индицируетс фазометром 9, что позвол ет определить параметры высокоплотной плазмы, стационарной во времени, или высокоплотной газоразр дной плазмы с большими поперечными размерами . Путем выбора ±, и fg можно дл данного диапазона определ емых концентраций получить удобно измер емую величину ср ,L is the linear dimensions of the plasma; C is the speed of light in free space. The phase shift Cf, obtained with this interferometer is less than 2 TH, therefore it is easily indicated by a phase meter 9, which allows determining the parameters of a high-density plasma, stationary in time, or a high-density gas-discharge plasma with large transverse dimensions. By choosing ±, and fg, for a given range of detectable concentrations, a conveniently measured value of cp can be obtained,
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843776762A SU1216714A1 (en) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Interferometer for plasma diagnostics |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843776762A SU1216714A1 (en) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Interferometer for plasma diagnostics |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1216714A1 true SU1216714A1 (en) | 1986-03-07 |
Family
ID=21133156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843776762A SU1216714A1 (en) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Interferometer for plasma diagnostics |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1216714A1 (en) |
-
1984
- 1984-07-20 SU SU843776762A patent/SU1216714A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Душин Л.А. СВЧ-интерферометры дл измерени плотности плазмы в импульсном газовом разр де. - М.: Атомиздат, 1973, с. 23. Там же, с. 33 (прототип). * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5625293A (en) | Determination of the watercut of a multiphase flow directly from measured microwave frequency dielectric properties | |
WO1982000717A1 (en) | Method and apparatus for photometric detection in fluids | |
Evenson et al. | Optical Detection of Microwave Transitions Between Excited Electronic States of CN and the Identification of the Transitions Involved | |
US4104585A (en) | Measurement of impurity concentration in liquids | |
SU1216714A1 (en) | Interferometer for plasma diagnostics | |
Owens et al. | Pulsed-flow instrument for measurement of fast reactions in solution | |
GB1513938A (en) | Determination of the concentration ratio between two components of a mixture of substances | |
US3348136A (en) | Gyromagnetic resonance apparatus utilizing two-sample signal comparison | |
SU1252715A1 (en) | Interferometer for diagnostic checking of plasma | |
SU1215061A1 (en) | Measuring probe | |
SU1236884A1 (en) | Apparatus for measuring the distribution of electron concentration in plasma | |
SU1651230A1 (en) | Method of determining full phase angle | |
SU1338085A1 (en) | Device or measuring cable length | |
SU907456A1 (en) | Generator signal frequency fluctuation meter | |
SU1337825A1 (en) | Device for measuring parameters of materials | |
SU1236385A2 (en) | Device for measuring carrier frequency of r.f.pulses | |
SU958876A1 (en) | Device for measuring non-electrical values | |
SU321783A1 (en) | ||
SU734504A1 (en) | Optronic range finder | |
SU304519A1 (en) | HIGH FREQUENCY PHASOMETER | |
SU853501A1 (en) | Device for determination of solution dielectric penetrability | |
SU1488730A1 (en) | Device for measuring thickness of semiconductor films | |
SU1215064A1 (en) | Apparatus for measuring signal-to-noise ratio | |
SU718802A1 (en) | Phase calibrator | |
SU1239633A1 (en) | Device for measuring specific conductance |