SU1200337A1 - СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено - Google Patents

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено Download PDF

Info

Publication number
SU1200337A1
SU1200337A1 SU843753382A SU3753382A SU1200337A1 SU 1200337 A1 SU1200337 A1 SU 1200337A1 SU 843753382 A SU843753382 A SU 843753382A SU 3753382 A SU3753382 A SU 3753382A SU 1200337 A1 SU1200337 A1 SU 1200337A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
domain
containing film
ion implantation
magnetic field
optimum dose
Prior art date
Application number
SU843753382A
Other languages
English (en)
Inventor
Nikolaj N Kudelkin
Vladimir V Randoshkin
Mikhail N Titov
Original Assignee
Inst Obshchej Fiz An Sssr
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inst Obshchej Fiz An Sssr filed Critical Inst Obshchej Fiz An Sssr
Priority to SU843753382A priority Critical patent/SU1200337A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1200337A1 publication Critical patent/SU1200337A1/ru

Links

Description

Изобретение относится к области вычислительной техники и может быть использовано при контроле качества ионно-имплантированных доменосодержащих пленок с цилиндрическими магнитными доменами, предназначенными для использования в запоминающих устройствах.
Цель изобретения — повышение точности способа.
Предложенный способ осуществляют следующим образом.
На фиксированные участки доменосодержащей пленки воздействуют разными дозами ионов. Затем к доменосодержащей пленке прикладывают постоянное магнитное поле,
направленное перпендикулярно ее плоскости, и сверхвысокочастотноё магнитное поле. Путем изменения напряженности постоянного магнитного поля изменяют поглощаемую до5 меносодержащей пленкой энергию сверхвысокочастотного магнитного поля до возникновения ферромагнитного резонанса. Далее для каждого из фиксированных участков доменосодержащей пленки регистрируют интенсивность линии ферромагнитного резонанса
10 в ионно-имплантированном слое доменосодержащей пленки и по зависимости этой интенсивности от дозы имплантации, имеющей экстремум при оптимальной дозе имплантации, определяют оптимальное значение этой дозы.

Claims (1)

  1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки доменосодержащей пленки с одинаковой площадью разными
    дозами ионов и постоянным магнитным полем, направленным перпендикулярно плоскости доменосодержащей пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности способа, воздействуют на доменосодержащую пленку сверхвысокочастотным магнитным полем, изменяют энергию этого поля, поглощаемую доменосодержащей пленкой, до возникновения ферромагнитного резонанса путем изменения постоянного магнитного поля, регистрируют для каждого из фиксированных участков доменосодержащей пленки интенсивность линии ферромагнитного резонанса в ионно-имплантированном слое доменосодержащей пленки и по зависимости этой интенсивности от дозы имплантации ионов определяют ее оптимальное значение. ί
    (Ζ)
    1200337
SU843753382A 1984-06-19 1984-06-19 СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено SU1200337A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843753382A SU1200337A1 (ru) 1984-06-19 1984-06-19 СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843753382A SU1200337A1 (ru) 1984-06-19 1984-06-19 СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1200337A1 true SU1200337A1 (ru) 1985-12-23

Family

ID=21123893

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843753382A SU1200337A1 (ru) 1984-06-19 1984-06-19 СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1200337A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT387105B (de) Halbleiteranordnung mit herabgesetzter oberflaechenfeldstaerke
DE3218723A1 (de) Magnetventil mit leistungsverstaerker
BR8103621A (pt) Aperfeicoamnetos em sistemas de fechadura magnetico eletronica
EP0353911A3 (en) Flux spreading thin film magnetic devices
JPS5346699A (en) Garnet single crystal film for magnetic bubble domain element
SE7711119L (sv) Sett och anordning for bestemning av fordelningen av absorberad stralning i en skiva av en kropp
SU1200337A1 (ru) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено
AT364383B (de) Gleisstopfmaschine mit stopftiefensteuerung
DK151905C (da) Fremgangsmaade til elektroplettering af en genstand med chrom i oploesninger indeholdede trivalent chrom
AT355449B (de) Steuereinrichtung, insbesondere magnetzylinder- schloss
GB2002422B (en) Method for the easy direction of magnetization of an admorphous magnetic film
SU1198569A1 (ru) Способ контрол однородности ионно-имплантированного сло в доменосодержащей пленке
JPS5250219A (en) Magnetic recorded pattern reading device
Gavrilyuk et al. The Determination of Domain-Boundary Energy in Thin Ferromagnetic Films
JPS5516463A (en) Bulb magnetic region element
JPS52136496A (en) Apparatus for ion beam machining
JPS51135425A (en) Mark reading system
OWENS Depth profiling of the magnetic hyperfine field in ultra-thin films of iron[Ph. D. Thesis]
JPS53147512A (en) Disc finishing device
JPS57205827A (en) Manufacture of magnetic recording medium
JPS5673435A (en) Manufacture of semiconductor device
SU1123060A1 (ru) Способ формировани параллельной полосовой доменной структуры в магнитоодноосной пленке
JPS5726414A (en) Controlling device for magnetization and demagnetization
HANSEN et al. Influence of ion radiation on the magnetic properties of ferrimagnetic films[Final Report, Jan. 1982]
JPS5779670A (en) Manufacture of semiconductor device