SU1200337A1 - СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено - Google Patents
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено Download PDFInfo
- Publication number
- SU1200337A1 SU1200337A1 SU843753382A SU3753382A SU1200337A1 SU 1200337 A1 SU1200337 A1 SU 1200337A1 SU 843753382 A SU843753382 A SU 843753382A SU 3753382 A SU3753382 A SU 3753382A SU 1200337 A1 SU1200337 A1 SU 1200337A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- domain
- containing film
- ion implantation
- magnetic field
- optimum dose
- Prior art date
Links
Description
Изобретение относится к области вычислительной техники и может быть использовано при контроле качества ионно-имплантированных доменосодержащих пленок с цилиндрическими магнитными доменами, предназначенными для использования в запоминающих устройствах.
Цель изобретения — повышение точности способа.
Предложенный способ осуществляют следующим образом.
На фиксированные участки доменосодержащей пленки воздействуют разными дозами ионов. Затем к доменосодержащей пленке прикладывают постоянное магнитное поле,
направленное перпендикулярно ее плоскости, и сверхвысокочастотноё магнитное поле. Путем изменения напряженности постоянного магнитного поля изменяют поглощаемую до5 меносодержащей пленкой энергию сверхвысокочастотного магнитного поля до возникновения ферромагнитного резонанса. Далее для каждого из фиксированных участков доменосодержащей пленки регистрируют интенсивность линии ферромагнитного резонанса
10 в ионно-имплантированном слое доменосодержащей пленки и по зависимости этой интенсивности от дозы имплантации, имеющей экстремум при оптимальной дозе имплантации, определяют оптимальное значение этой дозы.
Claims (1)
- СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки доменосодержащей пленки с одинаковой площадью разнымидозами ионов и постоянным магнитным полем, направленным перпендикулярно плоскости доменосодержащей пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности способа, воздействуют на доменосодержащую пленку сверхвысокочастотным магнитным полем, изменяют энергию этого поля, поглощаемую доменосодержащей пленкой, до возникновения ферромагнитного резонанса путем изменения постоянного магнитного поля, регистрируют для каждого из фиксированных участков доменосодержащей пленки интенсивность линии ферромагнитного резонанса в ионно-имплантированном слое доменосодержащей пленки и по зависимости этой интенсивности от дозы имплантации ионов определяют ее оптимальное значение. ί(Ζ)1200337
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843753382A SU1200337A1 (ru) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843753382A SU1200337A1 (ru) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1200337A1 true SU1200337A1 (ru) | 1985-12-23 |
Family
ID=21123893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843753382A SU1200337A1 (ru) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1200337A1 (ru) |
-
1984
- 1984-06-19 SU SU843753382A patent/SU1200337A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AT387105B (de) | Halbleiteranordnung mit herabgesetzter oberflaechenfeldstaerke | |
DE3218723A1 (de) | Magnetventil mit leistungsverstaerker | |
BR8103621A (pt) | Aperfeicoamnetos em sistemas de fechadura magnetico eletronica | |
EP0353911A3 (en) | Flux spreading thin film magnetic devices | |
JPS5346699A (en) | Garnet single crystal film for magnetic bubble domain element | |
SE7711119L (sv) | Sett och anordning for bestemning av fordelningen av absorberad stralning i en skiva av en kropp | |
SU1200337A1 (ru) | СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИМАЛЬНОЙ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛЕНКЕ, основанный на воздействии на фиксированные участки домено | |
AT364383B (de) | Gleisstopfmaschine mit stopftiefensteuerung | |
DK151905C (da) | Fremgangsmaade til elektroplettering af en genstand med chrom i oploesninger indeholdede trivalent chrom | |
AT355449B (de) | Steuereinrichtung, insbesondere magnetzylinder- schloss | |
GB2002422B (en) | Method for the easy direction of magnetization of an admorphous magnetic film | |
SU1198569A1 (ru) | Способ контрол однородности ионно-имплантированного сло в доменосодержащей пленке | |
JPS5250219A (en) | Magnetic recorded pattern reading device | |
Gavrilyuk et al. | The Determination of Domain-Boundary Energy in Thin Ferromagnetic Films | |
JPS5516463A (en) | Bulb magnetic region element | |
JPS52136496A (en) | Apparatus for ion beam machining | |
JPS51135425A (en) | Mark reading system | |
OWENS | Depth profiling of the magnetic hyperfine field in ultra-thin films of iron[Ph. D. Thesis] | |
JPS53147512A (en) | Disc finishing device | |
JPS57205827A (en) | Manufacture of magnetic recording medium | |
JPS5673435A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
SU1123060A1 (ru) | Способ формировани параллельной полосовой доменной структуры в магнитоодноосной пленке | |
JPS5726414A (en) | Controlling device for magnetization and demagnetization | |
HANSEN et al. | Influence of ion radiation on the magnetic properties of ferrimagnetic films[Final Report, Jan. 1982] | |
JPS5779670A (en) | Manufacture of semiconductor device |