1 1 Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано при измерении концентрации .газов с помощью полупроводниковых датчиков. Цель изобретени - уменьшение времени а1 ализа при определении концентрации анализируемого газа. Способ определени концентрации газов путем измерени сопротивлени полупроводникового чувствительного элемента, снабженного нагревателем, осуществл етс нагреванием чувствительного элемента пропусканием тока посто нной величины через нагреватель , периодической подачей сравнительной и анализируемой среды к поверхности элемента, измерением макси мального изменени его сопротивлени при подаче анализируемой среды, по которому суд т о концентрации анализируемого газа| периодическим изме нением тока нагревател дл ускорени десорбции во врем между измерени ми максимального изменени сопротивлени и контролем конца десорбции по достижении исходных значений сопротивлени элемента и тока нагревател в сравнительной среде. При осуществлении способа исходное значение сопротивлени чувствительного элемента получают регулированием сопротивлени током нагревател , которое начинают в момент достижени максимального изменени сопротивлени элемента и прекращают по достижении стабильного во времени исходного значени тока нагревател , причем подача сравнительной среды производитс в момент достижени максимального изменени сопротивлени элемента. С увеличением тока на гревател (или что то же самое мощности нагревател и температуры элемента) ускор етс десорбци анали зируемого газа. т.е. уменьшаетс изменение сопротивлени чувствительного элемента, вызванное адсорбцией авто же врем уменьшаетс сопротивление , обусловленное примесной проводимостью , и сопротивление элемента равное исходному в случа х, когда от адсорбции анализируемого газа происходит увеличение сопротивлени можно получить при разных значени х . 2 тока нагревател , не равных исходному . Поэтому критерием возврата соето ни поверхности элемента к исходному будет установление стабильного во времени исходного значени тока нагревател (т.е. температуры элемента ) при равном исходному значении сопротивлени элемента, т.е. полна десорбци анализируемого газа. Изменение тока (мощности) нагревател и, следовательно, температуры элемента вл етс функцией от изменени сопротивлени чувствительного элемента, св занной с количеством анализируемого газа, сорбированного поверхностью элемента, и такое контролируемое регулирующее воздействие будет быстрее приводить поверхность элемента к исходному состо нию, чем при посто нных по величине воздействи х , не св занных с концентрацией анализируемого тока. Закон регулировани , т.е. зави- i симость между током нагревател и сопротивлением чувствительного элемента, выбираетс исход из конкретных .свойств данного датчика и может быть, например, пропорциональньм . На фиг. 1 представлена зависимость сопротивлени R элемента от времени t; на фиг. 2 - зависимость тока I нагревател от времени t. Предварительно в сравнительной среде при подаче посто нного по величине тока 1,, устанавливаетс необходима температура и сопротивление чувствительного элемен а- и« . Затем в момент времени ti подают анализирумую среду к поверхности чувствительного элемента, измер ют максимальное сопротивление элемента , по которому суд т о концентрации анализируемого газа, а в момент времени t достижени максимального изменени сопротивлени элемента К-лдц начинают регулировать сопротивление элемента током нагревател и подают сравнительную среду. По достижении стабильного во време- . ни исходного значени тока нагревател (момент tj) регулирование прекращают , а затем периодически повтор ют эти операции.1 1 The invention relates to a measurement technique and can be used to measure the concentration of gases with semiconductor sensors. The purpose of the invention is to reduce the time a1 alisa when determining the concentration of the analyzed gas. The method of determining the concentration of gases by measuring the resistance of a semiconductor sensing element equipped with a heater is carried out by heating the sensitive element by passing a constant current through the heater, periodically feeding the comparative and analyzed medium to the element surface, measuring the maximum change in its resistance when the analyzed medium is fed. trial on test gas concentration | periodically changing the current of the heater to accelerate desorption during the time between measurements of the maximum change in resistance and control of the end of desorption upon reaching the initial values of the resistance of the element and current of the heater in the comparative environment. When implementing the method, the initial value of the resistance of the sensitive element is obtained by adjusting the heater current resistance, which starts when the maximum resistance of the element is reached and stops when the initial value of the heater current is stable, and the reference medium is supplied at the moment the maximum resistance of the element is reached. With an increase in current to the heater (or the same heater power and element temperature), the desorption of the sample gas is accelerated. those. the change in the resistance of the sensing element decreases, caused by adsorption. At the same time, the resistance due to impurity conductivity decreases, and the resistance of the element is equal to the initial one in cases when the adsorption of the analyzed gas results in an increase in resistance at different values. 2 current heater, not equal to the original. Therefore, the criterion for the return of an element's surface to the initial one will be the establishment of a stable initial heater current value (i.e., element temperature) at a time equal to the initial element resistance value, i.e. complete desorption of the analyzed gas. The change in the current (power) of the heater and, therefore, the element temperature is a function of the change in the resistance of the sensitive element associated with the amount of gas being analyzed, which is sorbed by the element surface, and such a controlled regulating effect will quickly bring the element surface to its original state than when effects of magnitude unrelated to the concentration of the analyzed current. The law of regulation, i.e. The dependence between the current of the heater and the resistance of the sensitive element is selected on the basis of the specific properties of this sensor and can be, for example, proportional. FIG. 1 shows the dependence of the resistance R of an element on time t; in fig. 2 - dependence of the current I of the heater on time t. Previously, in a comparative environment, when a constant current 1 is applied, the temperature and resistance of the sensing element - and - are necessary. Then, at the time ti, the analyzed medium is supplied to the surface of the sensing element, the maximum resistance of the element is measured by which the concentration of the analyzed gas is judged, and at the time t of reaching the maximum change in the resistance of the element K-cylinder, the resistance of the element is adjusted by the heater current and a comparative Wednesday Upon reaching a stable in time-. Neither the initial value of the heater current (instant tj) is stopped, and then these operations are periodically repeated.