SU1163218A1 - Method of measuring transmission factor of specimen of optical material - Google Patents

Method of measuring transmission factor of specimen of optical material Download PDF

Info

Publication number
SU1163218A1
SU1163218A1 SU833619558A SU3619558A SU1163218A1 SU 1163218 A1 SU1163218 A1 SU 1163218A1 SU 833619558 A SU833619558 A SU 833619558A SU 3619558 A SU3619558 A SU 3619558A SU 1163218 A1 SU1163218 A1 SU 1163218A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
sample
wedge
radiation
intensity
optical material
Prior art date
Application number
SU833619558A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Борис Ефимович Лисянский
Павел Андреевич Морозов
Светлана Петровна Морозова
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8584
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8584 filed Critical Предприятие П/Я В-8584
Priority to SU833619558A priority Critical patent/SU1163218A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1163218A1 publication Critical patent/SU1163218A1/en

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТА ПРОПУСКАНИЯ ОБРАЗЦА ОПТИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА, включающий пропускание через клиновидный образец оптического материала параллельного пучка когерентного излучени  и регистрацию интенсивности прошедшего излучени , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерений коэф реги мум поло чени клин где а ко опр гд фициента пропускани  образца, стрируют максимум мчкс и миниJ ,MH интенсивности одной из с интерференционной картины излу , прошедшего через образец с овидностью fb , причем Л - длина волныизлучени ; п - показатель преломлени  материала образца; р, - размер облучаемой области образца, эффициент пропускани  образца с дел ют по соотношению г-1 . 1 (ьУГ) , Ч-мйкс -м.н 2(i.) f -f ММКС /ЛИН е K г WCXKC WHH /ЛИН Ло- интенсивность падающего на образец пучка излучени .METHOD OF MEASURING THE COEFFICIENT OF PASSING A SAMPLE OF AN OPTICAL MATERIAL, which includes passing a wedge-shaped sample of the optical material of a parallel coherent radiation beam and registering the transmitted radiation intensity, which in order to improve the accuracy of measurement of the coefficients of the wedge where the wedge where the wedge is applied, in order to improve the measurement accuracy they stripe a maximum of mchs and miniJ, MH of the intensity of one of the interference patterns from the radiation passing through the sample with ovity fb, and L is the wavelength of Eni; n is the refractive index of the sample material; p, is the size of the sample area being irradiated, the sample transmission coefficient s is divided by the ratio g-1. 1 (c), Hmx mn 2 (i.) F - f MMX / LIN e Kg WCXKC WHH / LIN The intensity of the radiation beam incident on the sample.

Description

1 Изобретение относитс  к исследовани м оптических свойств материалов , в частности измерени м коэффициента пропускани  образцов, и може быть использовано при изготовлении и оценке качества оптических матери алов. Известен способ измерени  коэффи циента пропускани  образца, включающий фокусировку параллельного пучк лазерного излучени  на образец и ре гистрацию прошедшего через образец излучени  QJ. Недостатками этого способа  вл ютс  сильна  зависимость аогрешносТ измерений от толщины образца, а также ограничени , накладьтаемые на диапазон измерение толщины образ цов без перестройки ; схемы. Наиболее близким к изобретению  вл етс  способ измерени  коэффициен та пропускани  образца оптического материала, включающий пропускание через клиновидный образец оптическо материала параллельного пучка когерентного излучени .и регистрацию интенсивности прошедшего излучени  Недостатком известного способа  вл етс  мала  точность измерений, св занна  с тем, что при исследован образца с помощью высокоразрешающей аппаратуры угол клиновидности образ ца необходимо делать весьма значи тельным (,/i 0,3-0,5) , при этом, изменение толщины образца в предела исследуемой области может составл т существенную долю толщины образца. Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени  коэффициента пропускани  образца. Поставленна  цель достигаетс  те что при способе измерени  коэффициента пропускани  образца оптическог материала, включающем пропускание через клиновидный образец оптическо материала параллельного пучка коге (Рентного излучени  и регистрацию интенсивности прошедшего излучени , регистрируют максимум (tcc и минимум JjuHH интенсивности одной из полос интерференционной картины излучени , прошедшего через образец с клиновидностью j5 ) причем тл;-где Я - длина волны излучени ; п - показатель преломлени  материала образца; 182 Ед - размер облучаемой области образца, а коэффициент пропускани  образца t определ ют по соотношению . К (Гм«кс мин ) f -f MoiKC мин где К V г АЛИКС Мо(К..с N ммкс ммн Лр - интенсивность падающего на образец пучка излучени . На чертеже показано распределение интенсивности излучени  по сечению пучка .до и после образца. Способ осуществл ют следующим образом. Коллимироваинь1й пучок когерентного излучени  пропускают через клиновидный образец исследуемого оптического материала и регистрируют с помощью сканирующего фотоприемного устройства. Образец ориентируют таким образом, что интерференционные полосы перпендикул рны направлению сканировани . Измер ют интенсивности 3 , и и ПС формуле (1) определ ют коэффициент поглощени  образца t. Проведем сравнение погрешностей изерений С известным и предлагаемым способами на измерени  коэффициента пропускани  t пластины из поликрис таллического германи  толщиной с/ 1 мм, имеющей угол клиновидности /5 0,5 при использовании регистрирующей аппаратуры, имеющей f 100 мкм, ; 10,6 мкм и диаметр исследуемой области if 30 мм. При этом рассматриваютс  только составл ющие погрешности Д , и , которые определ ютс  способом измерений. При известном способе составл юща  погрешности Д,, равна 8,5%. Составл юща  погрешности д , определ ема  изменением толщины данного образца в пределах исследуемой области , составл ет 4,25% при 0,26 мм. Дп  измерений предлагаемым способом достаточно наличи  всего двух интерференционных полос в исследуемой области, поэтому при ЕЯ 30 мм может быть измерено пропускание пластины, имеющей угол клиновидности й ::-г- О при этом измене/h «с( ние толщины образца в исследуемой области составл ет oj 1,2 мкм, т.е в 210 раз меньше, чем при известном способе, поэтому составл ющей погреш ности 4j в предлагаемом способе можно пренебречь. Составл юща  погрешности д,, искл и за счет того, что при измеречаетс  НИИ f, И вычислении f используетс  информаци  величины об отражательных и поглощательных свойствах образца, заложенна  в распределении интенсивности излучени  в полосах равной толщины, т.е. в данном случае интерференционные полосы  вл ютс  не мешающим фактором а используютс  непосредственно дл  измерений. Таким образом, при предлагаемом способе измерений LO составл ющие погрешности д и д существенно меньше, чем при известном способе. 1 84 что обеспечивает более высокую точность Измерений. Кроме того, при предлагаемом способе возможно проводить измерени  коэффициента пропускани  плоскопараллельных образцов, всегда имеющих небольшую клиновидность из-за неточности изготовлени , котора , как правило, не превышает 1-2 . Погрешность измерений при предлагаемом способе определ етс , в основном, аппаратурной составл ющей, в частности такими факторами, как нестабильность излучени  лазера за врем  измерений, нестабильность коэффициента передачи сканирующего преобразовател  изображени  и собственна  погрешность .регистрирующего устройства. Вклад в общую погрешность методической составл ющей , обусловленной способом из epeний , незначителен, что подтверждает эффективность предлагаемого способа.1 The invention relates to the study of the optical properties of materials, in particular measurements of the transmittance of samples, and can be used in the manufacture and evaluation of the quality of optical materials. A known method for measuring the transmission coefficient of a sample involves focusing a parallel beam of laser radiation on the sample and registering the radiation transmitted through the sample QJ. The disadvantages of this method are the strong dependence of the measurement errors on the sample thickness, as well as the limitations imposed on the measurement range of the thickness of the samples without adjustment; scheme. The closest to the invention is a method for measuring the transmittance of a sample of an optical material, including passing a parallel coherent radiation beam through a wedge-shaped sample of optical material. And recording the transmitted radiation intensity. The disadvantage of this method is the small measurement accuracy associated with With the help of high-resolution equipment, the angle of the wedge-shaped specimen should be made very significant (, / i 0.3-0.5), while changing the thickness of the specimen WCA limit in the investigated region may comprise a substantial proportion m sample thickness. The aim of the invention is to improve the accuracy of measurement of the sample transmittance. The goal is achieved by the method of measuring the transmittance of a sample of optical material, including passing a wedge-shaped optical material through a wedge-shaped sample of a parallel beam (Rental radiation and recording the transmitted radiation intensity, record the maximum (tcc and minimum JjuHH of one of the interference pattern of the radiation transmitted through sample with wedge shape j5) where t is; where i is the radiation wavelength; n is the refractive index of the sample material; 182 U is the size of the irradiation my sample area, and the sample transmittance t is determined by the ratio. K (Hm к ks min) f -f MoiKC min where K V g ALIX Mo (K..s N mmks mmn Lr is the intensity of the radiation beam incident on the sample. The drawing shows the distribution of the radiation intensity over the beam section before and after the sample. The method is carried out as follows: The collimated radiation beam of coherent radiation is passed through a wedge-shaped sample of the optical material under study and recorded using a scanning photoreceiver. The sample is oriented in such a way that the interference fringes are perpendicular to the scanning direction. The intensities of 3 are measured, and the PS of formula (1) is the absorption coefficient of the sample, t. We will compare the errors of C measurements with known and proposed methods for measuring the transmittance t of a polycrystalline germanium plate with a thickness of / 1 mm, having a wedge angle of / 5 0.5 using recording equipment having f 100 µm,; 10.6 µm and diameter of the test area if 30 mm. In this case, only the error components D, and which are determined by the measurement method are considered. With the known method, the error component D ,, is equal to 8.5%. The error component, d, determined by the change in the thickness of this sample within the area under study, is 4.25% at 0.26 mm. The dp measurement by the proposed method is sufficient to have only two interference fringes in the studied area, therefore, at HER 30 mm, the transmittance of a plate having a wedge angle nd :: - g - O can be measured with this change h h (the thickness of the sample in the studied area em oj 1.2 µm, i.e., 210 times less than with the known method, therefore, the component error 4j can be neglected in the proposed method. It is due to the fact that when the scientific research institute f is measured, And the calculation of f uses the information about the reflective and absorbing properties of the sample, embedded in the distribution of the radiation intensity in bands of equal thickness, i.e. in this case, the interference bands are not an interfering factor and are used directly for measurements. Thus, with the proposed method of measuring LO, the components of error d and d is significantly less than with the known method.184 which provides higher accuracy of measurements.In addition, with the proposed method it is possible to measure the transmittance of plane pairs llelnyh samples always have a small wedge due to manufacturing inaccuracies, which usually do not exceed 1-2. The measurement error in the proposed method is mainly determined by the hardware component, in particular, factors such as the instability of the laser radiation during the measurement time, the instability of the transmission coefficient of the scanning image converter and the inherent error of the recording device. The contribution to the total error of the methodological component, due to the method of history, is insignificant, which confirms the effectiveness of the proposed method.

Claims (2)

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТА ПРОПУСКАНИЯ ОБРАЗЦА ОПТИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА, включающий пропускание через клиновидный образец оптического материала параллельного пучка когерентного излучения и регистрацию интенсивности прошедшего излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений коэффициента пропускания образца, регистрируют максимум Эмчкс и минимум Эмин интенсивности одной из полос интерференционной картины излучения, прошедшего через образец с клиновидностью /ь , причемMETHOD FOR MEASURING THE OPTICAL MATERIAL SAMPLE TRANSMISSION COEFFICIENT, including passing a parallel beam of coherent radiation through a wedge-shaped sample of optical material and recording the intensity of transmitted radiation, characterized in that, in order to increase the accuracy of measuring the transmittance of the sample, the maximum Emfx and minimum E min of intensity of one of the bands are recorded interference pattern of radiation transmitted through a wedge-shaped sample fb, and 2 η «й ’ где Λ - длина волны излучения;2 η "th" where Λ is the radiation wavelength; η - показатель преломления материала образца;η is the refractive index of the sample material; % - размер облучаемой области образца, а коэффициент пропускания образца £ определяют по соотношению% - the size of the irradiated region of the sample, and the transmittance of the sample £ is determined by the ratio I [k-G-Vi-k1)] 2¼¼ k2 ) „„„ мыкс “И . ~ где К - - —----, uMotK с г --макс мино с- _ СМ«н“ Ί')I [kG-Vi-k 1 )] 2¼¼ k 2 ) „„ “ mix ” And. ~ where K - - —----, u MotK with r --max mino s- _ C M “n“ Ί ') - 0i- 0 i Jo- интенсивность падающего образец пучка излучения.J o - the intensity of the incident sample radiation beam. 'uc/C' -t-V к макс мин на х'uc / C' -t-V to max min per x SU „1163218SU „1163218
SU833619558A 1983-07-11 1983-07-11 Method of measuring transmission factor of specimen of optical material SU1163218A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833619558A SU1163218A1 (en) 1983-07-11 1983-07-11 Method of measuring transmission factor of specimen of optical material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833619558A SU1163218A1 (en) 1983-07-11 1983-07-11 Method of measuring transmission factor of specimen of optical material

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1163218A1 true SU1163218A1 (en) 1985-06-23

Family

ID=21073609

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833619558A SU1163218A1 (en) 1983-07-11 1983-07-11 Method of measuring transmission factor of specimen of optical material

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1163218A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Рондарев B.C. Погрешность фотометрировани в лазерных ИК микроскопах ,-ОМП, 1980, № 7, с.3-5. 2. Прокопенко В.Т., Рондарев B.C. Измерение оптической прозрачности с использованием когерентных излучателей. - Измерительна техника, 1979, № 12, с.28-30 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0011708B1 (en) Method and device for measuring the evenness, roughness or curvature radius of an area to be measured
US4332476A (en) Method and apparatus for studying surface properties
DE69023342T2 (en) OPTICAL DEVICES.
CA1275170C (en) Method for on-line thickness monitoring of a transparent film
US4636076A (en) Displacement measuring apparatus and method
Sharpe The interferometric strain gage: Fringe patterns are produced by monochromatic light incident upon two small grooves on specimen surface. Strain is measured by recording fringe pattern motion
WO1986001286A1 (en) Distributed, spatially resolving optical fiber strain gauge
SU1163218A1 (en) Method of measuring transmission factor of specimen of optical material
JPH11237377A (en) Apparatus for measuring quality of paper or sheet
DE102019114167A1 (en) Optical measuring device and method
Grindel Testing collimation using shearing interferometry
DE60219792T2 (en) GLOSS SENSOR WITH DIRT COMPENSATION DEVICE AND METHOD
DE2252527A1 (en) Measurement of methyl compound film thickness - chopped laser beam detects variation in thickness compared to standard with no film
JP2544428B2 (en) Stress measuring method and stress measuring device
Piel et al. The fastest real time spectroscopic ellipsometry: applications and limitations for in situ and quality control
JPS55103404A (en) Measuring method of film thickness
DE19814056A1 (en) Optical parameter measuring device e.g. for optical layer absolute thickness and refractive index measurement
DE3510314A1 (en) Method and device for non-contact testing of materials for inhomogeneities
SU664496A1 (en) Interference method of measuring taper of transparent plates
Petermann et al. Fibre Bragg grating characterization with ultraviolet-based interferometric side diffraction
DE4038883C2 (en) Physical measuring apparatus for the absolute determination of the material constant refractive index
RU2047859C1 (en) Method for determining the degree of spatial ordering polymer material
JP2952284B2 (en) X-ray optical system evaluation method
SU748128A1 (en) Contact-free apparatus for determining optical length between two translucent parallel surfaces
SU1728648A1 (en) Method of measuring thickness of thin layers