Изобретение относитс к контроль но-йзмерительной технике, а именно к контролю герметичности полых изделий , не допускакнцих контакта с индикаторным газом. По основному авт.св. № 1033883 известна установка, содержаща вакуумную камеру дл контролируемого издели , систему подачи и регулировани рабочего и индикаторного газов, масс спектрометрический течеискатель, индикаторную камеру, сообщаемую с полостью издели , а также соединённую через запорный.орган с масс-спектрометрическим течеискателем и соединен ную с системой подачи и -регулировани рабочего газа, и выравнивающую камер с эластичным разделителем, одна из полостей которой сообщаетс с полостью издели , а друга соединена с системой йодачи и регулировани индикаторного газа и сообщена через запорный орган с индикаторной камерой l. Недостатками известной установки вл ютс невозможность оперативного контрол случайных натеканий индикаторного газа из элементов установки в полость издели , что отрицательно сказьшаетс на надежности установки недостоверный контроль герметичности издели из-за вли ни на показани масс-спектрометрического течеискател индикаторного газа, накапливающегос в полости выравнивающей камеры, сообщаемой с изделием. Цель изобретени - повышение надежности и достоверности контрол . Указанна цель достигаетс тем, что установка дл контрол герметичности полых изделий снабжена контрольной камерой, соединенной с системой подачи и регулировани рабочего газа, а через запорньй органс масс-спектрометрическим течеискателем , индикаторной камерой, сообщакицейс с полостью издели , причем индикаторна камера соединена -через зайорный орган с одной из полостей выравниваннцей камеры, котора через запорный орган сообщена с атмосферой . На чертеже представлена функциональна схема установки дл контрол герметичности полых изделий. Установка содержит вакуумную камеру 1J предназначенную дл размещеЛи гконтролируемого издели 2, индикаторную камеру 3, контрольную камеру А, выравнивающую камеру 5 с эластичным разделителем 6 и двум полост ми 7 и 8, масс-спектрометрический течеискатель 9, систему подачи и регулировани рабочего газа, состо щую из балона 10 со сжатым рабочим газом, регул тора 11 давлени и запорного органа 12, систему подачи и регулировани индикаторного газа, состо щую из баллона 13 со сжатым индикаторным газом, регул тора 14 давлени и запорного органа 15. Индикаторна камера 3 соединена через запорный орган 16 с масс-спектрометрическим течеискателем 9. Контрольна камера 4 соединена с системой подачи и регулировани рабочего газа, а через запорный орган 17 - с масс-спектрометрическим течеискателем , кроме того, она сообщена с полостью издели 2 и с индикаторной камерой 3 соответственно через запорные органы 18 и 19. Полость 7 выравнивающей камеры 5 сообщена через запорный орган 20 с индикаторной камерой 3, а через запорный орган 21 с атмосферой. Полость 8 выравнивающей камеры 5 соединена с системой подачи и регулировани индикаторного газа, сообщена через запорный орган 22 с индикаторной камерой 3, а через запорньй орган 23 - с атмосферой. Установка при контроле герметичности полого издели работает следующим образом. Исходное состо ние установки: в вакуумную камеру 1 помещено контролируемое изделие 2, все запорные органы закрыты, регул торы 11 и 14 давлени разгружены, баллоны 10 и 13 закачаны сжатым рабочим и индикаторным газом соответственно. Открывают запорные органы 15 и 23, настраивают регул тор 14 на давление Р, , Соответствующее услови м работы издели 2, и продувают индикаторным газом полость 8 выравнива-. ющей камеры 5, после чего закрывают запорные органы 15 и 23. Открывают запорные органы 12, 19. 20 и 21, настраивают регул тор давлени 11 на давление Р и продувают рабочим газом контрольную камеру 4, индикаторную камеру 3 и полость 7 выравнивающей камеры 5. Открьшают запорный орган 17. При достижении нулевого уровн индикаторного газа в контрольной камере 4 контролируемого масс-спектрометрическим течеискателем 9, закрывают запорные органы 17 и .21. Открывают запорный орган 18 и по средством эластичного разделител 6 выравнивающей камеры 5 прецизионно вьфавнивают давление в изделии 2, индикаторной камере 3, контрольной камере А-и в полост х 7 и В вьфавни вающей камеры 5, после чего закрьюа ют запорные органы 12 и 20. Закрывают запорные органы 18 и 1 открывают запорный орган 22 и создают диффузионное перетекание индикаторного газа из полости 8 выравнивающей камеры 5 в индикаторную камеру 3. Через врем , обусловленное чувствительностью масс-спектрометри- ческого течеискател 9, запорный орган 22 закрываетс . Открываетс запорный орган 16 и массспектрометрическим течеискателем. 9 измер етс диффузионный фон () индикаторного газа в индикаторной камере 3, после чего запорный орган 16 закрываетс . После повторной продувки полости В выравнивающей камеры 5 индикаторным газом, а койтрольной камеры 4, индикаторной камеры 3 и полости 7 выравнивакщей камеры 5 - рабочим газом, установлени в ниХ давлени Р( прецизионно выравнивают давление в контролируемом изделии 2 и в перечисленных камерах и полост х открыткем запорного органа 18, после чего закрывают запорные органы 12 и 20. Затем изделие 2 выдерживают в вакуумной камере 1 при разрежении, соответствующем услови м работы издели , и закрывают запорные органы 17 и 18. Открывают запорный орган 22 и перепускают индикаторный газ из полости 8 выравнивающей камеры 5 в индикаторную камеру 3./Через врем запорный орган 22 закрывают. Открьтают запорный орган 16 и массспектрометрическим течеискателем 9 измер ют уровень (fi индикаторного газа в индикаторной камере 3, после чего запорный орган 16 закрываетс . По разности Лч Лj--otg-уровней индикаторного газа в индикаторной камере 3 суд т о величине негерметичности издели 2. Открьша запорный орган 17, масс-спектрометрическим течеискателем 9 контролируют отсутствие индикаторного газа в контрольной камере 4, а соответственно, и в изделии 2. Таким образом, предлагаема установка позвол ет .вести оперативный контроль случайных натеканий индикаторного газа из элементов установки в полость издели , а возможность сообщени полости выравнибающей камеры с атмосферой обеспечивает продувку ее рабочим газом, при которой . удал етс накапливающийс вэтой полости индикаторный газ, который вли ет на достоверность контрол герметичности издели .