SU1137407A1 - Проходной детекторный СВЧ преобразователь мощности - Google Patents

Abstract

1. ПРОХОДНОЙ ДЕТЕКТОРНЫЙ ВЧ-ПРБ0БРАЗОВАТЕЛЬ МШЩОСТИ, содержащий отрезок волновода, детекторг; ный диод, размещенньй в нерезонанс- ном отверстии св зи, выполненном в виде щели в замещающем часть стенки отрезка волновода дисковом держателе, установленном с возможностью осевого поворота, блокирующий конденсатор и низкочастотньй вывод, о т л Ичающийс  тем, что, с целью уменьшени  неравномерности частотной характеристики и сохранени  посто нства формы этой характеристики в широ ких пределах регулировки выходного сигнала, детекторный диод и блокирующий конденсатор вьтолнен в виде ; единой монолитной структуры, состо щей из низкоомной полупроводниковой подложки, покрытой сводной стороны слоем эпитаксиального высокоомного полупроводника, на из участков которого нанесен первый слой металла, образующий с слоем зпитаксимального высокоомного полупроводника выпр мл ющий контакт, и вторым слоем метал:ла , образующим с низкоомной полупроводниковой подложкой омический контатк , а с другой стороны - слоем диэлектрика , образующим с нанесенным на него третьим слоем металла и низкоомной полупроводниковой подложкой блокирующий конденсатор,причем третий :слдЙ металла имеет гальванический контакт с одной из внутренних поверхностей щели, первый слой металла имеет контакт с противоположной внутренней поверхностью щели, а второй слой (Л металла имеет гальванический контакт  . : низкочастотным выводом. с 2.СВЧ-преобразователь мощности по П.1, отличающийс  тем, что, с Щ1ью увеличени  величины вьтр мленного тока, введен дополнительный детекторный диод, соединенсо на с детекторным диодом по двухполупериодной схеме. 3.СВЧ-преобразователь мощности 4i по П.1, отличающийс ,, что с с целью увеличени  величины выпр мленного тока и напр жени , вве- даны три дополнительных детекторных диода, соединенных,с детекторным диодом по мостовой схеме

Description

Изобр тение относитс  к технике измерений на СВЧ и может быть исполь зовано дл  контрол  уровн  передаваемой по волноводному тракту СВЧ-мощности ., Известен детекторньй СВЧ - преобразователь мощности содержащий отрезо волновода, детекторный диод, установ ленньм в нерезонансном отверстии св  зи, поглотитель дл  подавани  нежелательных излучений,ia также блокирующий конденсатор IJ. Недостатком известного детекторного СВЧ-преобразовател  мощности  в л етс  неравномерность его частотной характеристики. Наиболее близким техническим решением к предлагаемому  вл етс  проходной детекторньй СВЧ-преобразователь мощности, содержащий отрезок волновода, детекторный диод, размещенньй в нерезонансном отверстии св  зи, выполненном в виде щели в замещающем часть стенки отрезка волновода дисковом держателе, установленном с возможностью осевого поворота блокирующий конденсатор и низкочастотньм вьшодШ . ,Однако известный проходной детекторньй СВЧ-преобразователь мощности не обеспечивает равномерность частотной характеристики и сохранение посто нства формы этой характеристики в широких пределах регулировки выходного сигнала,;va также имеет низкую величину выпр мленного тока и напр жени . Цель изобретени  - уменьшение неравномерности часто-тной характеристики и сохранение посто нства формы этой характеристики в широких пределах регулировки выходного сигнала,   также увеличение величины выпр мленнбго напр жени  и тока. Указанна  цель достигаетс  тем, что в проходном детекторном СВЧ-преобразователе мощности, содержащем отрезок волновода, детекторньй диод размещенный в нерезонансном отвер-: стии св зи, выполненном в виде щели в замещающем часть стенки отрезка волновода дисковом держателе, установленном с возможностью осевого поворота, блокирующий конденсатор .и низкочастотньй вьтод, детекторньй диод и блокирующий конденсатор вьшол нены в виде единой монолитной струк ры, состо щей из низкоомной полупро водниковой подложки, покрытой с одной стороны слоем эпитаксиального высокоомного полупроводника, на -один из участков которого нанесен первьй слой металла, образукнций с слоем эпитаксиамального высокоомного полупроводника выпр мл ющий контакт, и вторым слоем металла , образующим с низкоомной полупроводниковой подложкой омический контакт, а с другой стороны - слоем диэлектрика, образующим с нанесенным на него третьим слоем металла и низкоомной полупроводниковой подложкой блокирующий конденсатор, причем третий слой металла имеет гальванически контакт с одной из внутренних поверхностей щели, первьй слой металла имеет контакт с противоположной внутренней поверхностью щели, а второй слой металла имеет гальванический контакт и с низкочастотным выводом, при этом в него введен дополнительньй детекторный диод, соединенный с детекторным диодом по двухполупериодной .схеме. Кроме того, в него введены три дополнительных детекторных диода, соединенных с детекторным диодом по мостовой схеме. I На фиг.1 приведена конструкци  проходного детекторного СВЧ-преобразовател  J на фиг.2 - конструкци  единой монолитной структуры на фиг.З - схема соединени  дополнительного детекторного диода, соединенного с первым по двухполупериодной схеме/ на фиг.4 - мостова  схема соединени  детекторных диодов. Проходной детекторньй СВЧ-преобразователь мощности содержит отрезок 1 волновода; часть стенки которого замещена дисковым держателем 2, установленном с возможностью осевого поворота. В, нерезонансном отверстии св зи в виде щели 3 установлена едина  монолитна  структура 4, состо ща  из низкоомной. полупроводниковой подложки 5, покрытой с-одной стороны слоем 6 эпитаксиального высокоомного полупроводника , на один из участков которого ненесен первьй слой 7 мегалла, образующий с слоем 6 эпитаксиального высокоомного полупроводника выпр мл ющий контакт, и вторым слоем 8 металла, образующим с низкоомной полупроволнико31 вой подложкой 5 омический контакт , а с другой стороны - с слоем диэлектрика 9, образук цим с нанесенным на него третьим слоем 10 металла и низкоомнбй полупроводниковой подложкой 5 блокирутсйций гальванический контакт с одной из внутренних , поверхностей щели 3. Первый слой 7 металла имеет контакт с проти воположной внутренней поверхностью щели 3, а второй-слой 8 металла имеет гальванический контакт с низкочастотным выводом 11, также дополнительный детекторньй диод 12 (фиг.З три дополнительных детекторных диода 13-15 (фиг.4) и детекторньй диод 16. В схемах с одним и трем  дополнительными детекторными диодами блокировка СВЧ-сигнала на выходе преобразовател  осуществл ете индуктивностью выводов выходного (продетектированного ) сигнала, диаметркоторых выбран менее 0,1 мм, а диэлектрический слой, образующий в схеме с одним соновным детекторным диодом блокирующий конденсатор, отсутствует . Проходной детекторный СВЧ-преобразователь мощности работает следующим образом. 074 Когда щела 3 расположена перпендикул рно токам (угол Cf 0), св зь внутреннего объема отрезка 1 волновода с детекторным диодом максимальна и соответственно максимальна чувствительность проходного детекторного СВЧ-преобразовател  мощности . При повороте дискового держател  на угол ( в пределах до 90 вследствие изменени  степени св зи , определ емой величиной проекции тока на направление, перпендикул рное щели 3, чувствительность измен етс  от максим ма теоретически до нул . Предлагаемьй проходной детекторный СВЧ-преобразователь мощности обеспечивает уменьшение неравномерности частотной характеристики и сохранение посто нства формы .этой характеристики в широких пределах регулировки выходного сигнала. Соединение детекторного диода с дополнительным детекторным диодом по двухполупериодной схеме позвол ет увеличить величину вьтр мленного тока. Соединение детекторного диода с трем  дополнительными детекторными диодами по мостовой схеме, позвол ет увеличить величину вьтр мленного тока и напр жени .

игЛ

Claims (3)

1. ПРОХОДНОЙ ДЕТЕКТОРНЫЙ СВЧ-ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МОЩНОСТИ, содержащий отрезок волновода, детектора ный диод, размещенный в нерезонансном отверстии связи, выполненном в виде щели в замещающем часть стенки отрезка волновода дисковом держателе, установленном с возможностью осевого поворота, блокирующий конденсатор и низкочастотный вывод, о т л и- ₄ чающийся тем, что, с целью уменьшения неравномерности частотной характеристики и сохранения постоянства формы этой характеристики в широ.ких пределах регулировки выходного сигнала, детекторный диод и блокирующий конденсатор выполнен в виде ; едйной монолитной структуры, состоящей из низкоомной полупроводниковой подложки, покрытой сводной стороны слоем эпитаксиального высокоомного полупроводника, на оХин из участков которого нанесен первый слой металла, образующий с слоем эпитаксимального высокоомного полупроводника выпрямляющий контакт, и вторым слоем металла, образующим с низкоомной полупроводниковой подложкой омический контатк, а с другой стороны - слоем диэлектрика, образующим с нанесенным на него третьим слоем металла и низкоомной полупроводниковой подложкой блокирующий конденсатор,причем третий : слой металла имеет гальванический кон-.

такт с одной из внутренних поверхностей щели, первый слой металла имеет контакт с противоположной внутрен- § ней поверхностью^,! щели, а второй слой металла имеет гальванический контакт !д. с низкочастотным выводом.

2. СВЧ-преобразователь мощности по ίι.1, отличающийся тем, что, с цпью увеличения величины выпрямленного тока, введен дополнительный детекторный диод, соединенный с детекторным диодом по двух•полупериодной схеме.

3. СВЧ-преобразователь мощности поп.1, отличающийс я’тем,. что с с целью увеличения величины выпрямленного тока и напряжения, вве^х дены три дополнительных детекторных диода, соединенных с детекторным дио-, дом по мостовой схеме