SU112624A1 - Способ изготовлени полуфабрикатов (труб, прутков, листов, штанг и т.п..) из полупроводниковых материалов - Google Patents

Description

При изготовлении полуфабрикатов (проволоки, пластин, прутков и т. п.) из полупроводниковых материалов , например из германи , сначала получают методом выт гивани  из расплава монокристаллы, затем разрезают пх на пластины, прутки и т. п. При этом образуетс  много отходов, а выход годной продукции весьма невелик.

Описываемый способ получени  полуфабрикатов (труб, прутков, листов , штанг и т. п.) из полупроводниковых материалов путем непосредственного выт гивани  или вып ессовывани  из расплава с применением держателей-затравок различной формы и фильер с отверсти ми различного профил  позвол ет сократить до минимума образование отходов, повысить выход годной продукции и степень полезного использовани  исходных полупроводниковых материалов.

Описываемый способ отличаетс  тем, что дл  придани  полуфабрикату определенного профил  примен ют погруженный в расплав экран

с щелью или фильеру, расположенную на поверхности расплава или плавающую по ней.

Расплав через отверстие фильеры может продавлпватьс  под давлением или же выт гиватьс  за счет капилл рных сил.

Описываемый способ может выполн тьс  в двух вариантах. В расплав полупроводникового материала (германи , кремни  и т. п). погружаетс , как и обычно, держательзатравка , которой сообщаетс  непрерывное поступательное движение вверх. За затравкой под действием капилл рных сил выт гиваетс  вверх столб расплава, который над поверхностью расплавленной ванны подвергаетс  охлаждению п кристаллизации .

Нужные структура (в том числе- и монокристаллическа ), профиль и форма выт гиваемому полуфабрикату придаютс  путем применени  держателей-затравок необходимой формы и создани  надлежащего тe пeратурного пол  как непосредственно над расплавом в зоне формировани 

Afb 112624- 2

издели , так и в непосредственно прилегающей к ней зоне расплава. Соответствующие температурные услови  в этих зонах создаютс  системой холодильников и экраном, погруженным в .

В случае необходимости в зоне формировани  издели  и плавлени  нолунроводникового материала могут быть созданы вакуум или атмосфера инертного газа.

Второй вариант способа отличаетс  от первого тем, что, с целью придани  соответствуюи его профил  изделию, оно непрерывно выт гиваетс  вверх через отверстие фильеры , нлавающей или укрепленной на поверхности расплава. Фильера нижней частью погружаетс  в раснлав; она устанавливаетс  над экраном или замен ет его. Держательзатравка ногружаетс  в расплав через отверстие («очко) фильеры.

В этом варианте способа прот гивание (продавливание) расплава через «очко осуществл етс  не только за счет капилл рных сил, но и за счет сил гидростатического давлени , создаваемого вследствие погружени  нижней части фильеры в расплав, а также и за счет давлени , оказываемого на расплав при помощи поршневых, пневматических или механических устройств.

Полученные описываемым способом полупроводниковые полуфабрикаты могут потребовать незначительной обработки, нанример, илифовки и полировки, с целью доведени  их толщины или сечени  до строго определенных размеров.

Способ позвол ет путем изменени  условий выт гиБан   и кристаллизации получать издели  (полуфабрикаты ) любых размеров - от тончайших до крупногабаритных.

Предмет изобретени 

Claims (2)

1.Способ изготовлени  полуфабрикатов (труб, прутков, листов, штанг и т. п.) из полупроводниковых материалов путем непосредственного выт гивани  или выпрессовывани  из расплава с применением держателей-затравокразличной формы и фильер с отверсти ми различного профил , отличающийс   тем, что, с целью придани  полуфабрикату определенного профил , примен ют погруженный в расплав экран с щелью или распололсенную на поверхности расплава или плавающую по ней фильеру.

2.Прием выполнени  способа по п. 1, отличающийс  тем, что подачу расплава через отверстие фильеры осуществл ют под гидростатическим давлением, создаваемым погружением фильеры в расплав или посредством поршневых, пневматических или механических устройств.