SU1114905A1 - Термопарный вакуумметр - Google Patents

Термопарный вакуумметр Download PDF

Info

Publication number
SU1114905A1
SU1114905A1 SU823408866A SU3408866A SU1114905A1 SU 1114905 A1 SU1114905 A1 SU 1114905A1 SU 823408866 A SU823408866 A SU 823408866A SU 3408866 A SU3408866 A SU 3408866A SU 1114905 A1 SU1114905 A1 SU 1114905A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
heater
thermocouple
current source
ammeter
source
Prior art date
Application number
SU823408866A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Константинович Игнатьев
Original Assignee
Московский Ордена Трудового Красного Знамени Физико-Технический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский Ордена Трудового Красного Знамени Физико-Технический Институт filed Critical Московский Ордена Трудового Красного Знамени Физико-Технический Институт
Priority to SU823408866A priority Critical patent/SU1114905A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1114905A1 publication Critical patent/SU1114905A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

ТЕРМОПАРНЫЙ ВАКУУММЕТР, содержащий нагреватель, соединенный с термопарой, подключенной одним концом к одному входу дифференциального усилител  непосредственно, а другим , концом к другому его входу через источник опорного напр жени , и амперметр , отличающийс  тем, что, с целью расширени  диапазона измер емых давлений путем повышени  чувствительности при низких давлени х , в него дополнительновведены управл емый источник тока, подключенный через амперметр к нагревателю и соединенный управл ющим входом с выходом дифференциального усилител , и источник тока смещени , подключенный непосредственно к нагревателю и соединенный встречно-параллельно с управл емым источником тока. О)

Description

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения давления· газов в вакуумных установках.
Известны термопарные вакуумметры, 5 содержащие нагреватель, соединенный с термопарой, источник тока через амперметр, подключенный к нагревателю, и вольтметр, подключенный к термопаре L1J . Ю
Недостатком таких устройств является трудоемкость процесса измерения давления, обусловленная ручной регулировкой тока через нагреватель в зависимости от показаний вольтметра. 15
Известен термопарный вакуумметр, содержащий нагреватель, соединенный с термопарой, подключенной к дифференциальному усилителю одним концом к одному его входу непосредственно, 20 а другим - к другому его входу через источник опорного напряжения и амперметр С2].
Область измерения низких давлений известного вакуумметра ограничена 25 его низкой чувствительностью в этой области, вследствие большого начального тока, протекающего в нагревателе.
Целью изобретения является расши- 30 рение диапазона измеряемых давлений путем повышения чувствительности при . низких давлениях.
Поставленная цель достигается тем, что в термопарный вакуумметр, содержащий нагреватель, соединенный ^5 с термопарой, подключенной одним концом к одному входу дифференциального усилителя непосредственно, а другим концом к другому его входу че40 рез источник опорного напряжения, и амперметр, дополнительно введены управляемый источник тока, подключенный через амперметр к нагревателю, и соединенный управляющим входом с выходом дифференциального усилителя, и источник тока смещения, подключенный непосредственно к нагревателю и соединенный встречно-параллельно с управляемым источником токй.
На чертеже приведена блок-схема 50 термопарного вакуумметра.
Термопарный вакуумметр содержит нагреватель 1, соединенный с термопарой 2, подключенной к дифференциальному усилителю 3 одним концом к 55 одному его входу (инвертирующему) неВНИИПИ Заказ 6758/28 Филиал ППП Патент*, посредственно, а другим концом к другому его входу (неинвертирующему) через источник 4 опорного напряжения. Управляемый источник 5 тока подключен через амперметр 6 к нагревателю 1 , а управляющим входом непрсредственно - к выходу усилителя 3. Источник 7 тока смещения подключен к нагревателю 1 и встречно-параллельно к управляемому источнику 5 тока. Устройство работает следующим образом.
При изменении давления газа напряжение на термопаре 2 сравнивается с опорным напряжением источника 4. Разница напряжений между ними усиливается усилителем 3, поддерживая напряжение на термопаре 2 постоянным за счет управления током накала нагревателя 1 с помощью источника 5 тока. Ток через нагреватель 1 при этом описывается зависимостью
1н =Vh P/(P«)+32’ , где в - давление газа в вакуумметре; 1ц- ток, протекающий через нагреватель;
1О- начальный ток, протекающий через нагреватель при давлении меньшем 10~ч мм.рт .ст.; Нис- постоянные, зависящие от рода газа.
Источник 7 тока смещения пропускает через нагреватель постоянный ток, равный 10. Таким образом, измеряемый ток, регистрируемый амперметром 6. находится из зависимости где I - измеряемый ток.
Ток, измеряемый амперметром 6, служит мерой давления газа.
Введение источника 7 тока смещения позволяет увеличить крутизну характеристики преобразования вакуумметра, а следовательно, чувствительность и нижнюю границу измеряемых давлений приблизительно до Ю'^мм.рт. ст. Применение управляемого источника 5 тока позволяет расширить верхний диапазон измеряемых давлений путем автоматической установки необходимого тока накала нагревателя.
Кроме того, предлагаемое устройство допускает использование в нем манометрических преобразователей теплоэлектрических вакуумметров различных типов: как с гальванической связью термопары с нагревателем,так и без нее. Тираж 822 Подписное
г.Ужгород, ул.Проектная, 4

Claims (1)

  1. , ТЕРМОПАРНЫЙ ВАКУУММЕТР, содержащий нагреватель, соединенный с термопарой, подключенной одним концом к одному входу дифференциального усилителя непосредственно, а другим , концом к другому его входу через источник опорного напряжения, и амперметр, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений путем повышения чувствительности при низких давлениях, в него дополнительно'введены управляемый источник тока, подключенный через амперметр к нагревателю и соединенный управляющим входом с выходом дифференциального усилителя, и источник тока смещения', подключенный непосредственно к нагревателю и соединенный встречно-параллельно с управляемым источником тока.
SU823408866A 1982-03-16 1982-03-16 Термопарный вакуумметр SU1114905A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823408866A SU1114905A1 (ru) 1982-03-16 1982-03-16 Термопарный вакуумметр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823408866A SU1114905A1 (ru) 1982-03-16 1982-03-16 Термопарный вакуумметр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1114905A1 true SU1114905A1 (ru) 1984-09-23

Family

ID=21001672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823408866A SU1114905A1 (ru) 1982-03-16 1982-03-16 Термопарный вакуумметр

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1114905A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0213757A2 (en) * 1985-07-31 1987-03-11 Varian Associates, Inc. Thermocouple vacuum gauge
CN1035840C (zh) * 1991-01-25 1997-09-10 北京大学 定温条件用的宽量程热偶规管

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Востров Г.А., Розанов Л.Н. Вакуумметры. Л., Машиностроение, 1967, с. 80, рис. 3-19. 2. Авторское свидетельство СССР 544882, кл. G 01 L 21/14, 1975 (прототип). , *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0213757A2 (en) * 1985-07-31 1987-03-11 Varian Associates, Inc. Thermocouple vacuum gauge
CN1035840C (zh) * 1991-01-25 1997-09-10 北京大学 定温条件用的宽量程热偶规管

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE58906755D1 (de) Druckmesskatheter.
SU1114905A1 (ru) Термопарный вакуумметр
GB1518148A (en) Measuring apparatus
SU884587A3 (ru) Устройство дл измерени плотности газообразных сред
US3694734A (en) Sensor instrumentation
US2673465A (en) Tempeature responsive instrument
US4066948A (en) Concentration measuring apparatus and process
GB2169720A (en) Detecting rate of change of signals
SU1318929A1 (ru) Фазометр
SU808946A1 (ru) Измеритель изменений сопротивлени
SU885929A1 (ru) Устройство дл автоматического измерени коэффициента шума четырехполюсника и непосредственным отсчетом
SU957114A1 (ru) Устройство дл измерени мгновенных значений импульсных напр жений
SU717615A1 (ru) Устройство дл определени пределов упругости и текучести материалов при раст жении
SU938220A1 (ru) Устройство дл измерени дифференциального коэффициента передачи тока транзисторов
RU2008638C1 (ru) Способ компенсации температурной погрешности тензопреобразователя и устройство для его осуществления
SU1530980A1 (ru) Способ определени сухости пара
SU898266A1 (ru) Устройство дл измерени температурных полей
SU434289A1 (ru) ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВАКУУММЕТР.•4J!::;v *v-;-'t-='-;i'rf»a •v^-'i^i C?b;:^s:.r !iJ3
JPS56119823A (en) Radiation thermometer
SU1026093A1 (ru) Устройство дл измерени разности напр жений затвор-исток пар полевых транзисторов
SU1767454A1 (ru) Устройство дл измерени электрических параметров кварцевых резонаторов
SU987417A1 (ru) Устройство дл измерени температуры
SU1425431A1 (ru) Вихретоковый толщиномер
SU466459A1 (ru) Способ измерени параметрическими преобразовател ми
SU482698A1 (ru) Устройство дл измерени коэффициента нелинейных искажений