NCiNCi
00 ОС00 OS
| Изобретение относитс к дозирующим устройствам, в частности к паев матическим дозаторам агрессивных жидкостей, и может быть использовано дл автоматизации операций дозировани в химических установках дл производства микроэлектронных прибо ров, в частности интегральных схем. Известен пневматический дозатор агрессивных сред, содержащий прибор управлени , вспомогательное устройс во в виде клапанного блока с пр модействукщими пневматическими мембра ными клапанами, реактор и мерную емкость. Мерна емкость выполнена герметичной, с внутренней перегород кой, дел щей ее на две равные полос ти, соединенные в верхней части между собой и с реактором, а нижние части каждой полости соединены через клапанный блок исполнительного устройства с магистральным трубопро водом и реактором Jl . Недостатками данного дозатора в л ютс отсутствие универсальности, так как размеры мерной емкости однозначно определ ют величину дозы, и низка точность дозировани , определ юща с точностью изготовлени мерной емкости. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и дост гаемому результату вл етс пневматический дозатор содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, рас ходную емкость с соединительными ма гистрал ми и штуцером слива дозы, насос, источник сжатого газа, систему управлени с клапанами 2 . Недостатком известного дозатора вл етс низка точность дозировани за счет вли ни на размер дозы газовых пузырьков в ее объеме. Целью изобретени вл етс повышение точности дозировани . Указанна цель достигаетс тем, что в пневматический дозатор жидкост содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, расходную емкость с соединительными магистрал ми и штуце ром слива дозы, насос, источник сжатого газа, систему управлени с клапанами, введена дополнительна ем кость с крышкой, нижн часть которо соединена с насосом и через первый клапан - с верхней частью расходной емкости, котора сообщена с верхней частью дополнительной емкости, котора через второй клапан подключена к источнику сжатого газа, причем мерна емкость с регулируемым объемом вьшолнена в виде гибкой трубки, первый конец которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости, а второй - соединен через третий клапан со штуцером слива и снабжен приводом вертикального перемещени , а объем мерной емкости выбран не больше объема дополнительной емкости между ее крышкой и первым концом трубки. На чертеже изображен пневматический дозатор жидкости. Устройство содержит мерную емкость 1 с регулируемым объемом, расходную емкость 2 с соединительными магистрал ми 3-5 и штуцером 6 слива дозы., насос 7, источник 8 сжатого газа, систему 9 управлени с клапанами 10-12, дополнительную емкость 3 с крьщ1кой 14, нижн часть которой соединена с насосом 7 и через первый клапан 10 - с верхней частью 11 расходной емкости 2, котора сообщена с верхней частью дополнительной емкости 13, последн через второй клапан 11 подключена к источнику 8 сжатого газа. Мерна емкость 1 с регулируемым объемом вьтолнена в виде гибкой трубки, первый конец 15которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости 13, а второй 16соединен через третий клапан 12 со штуцером 6 слива и снабжен приводом 17вертикального перемещени . Дозатор работает следующим образом . При дозировании включаетс ласос 7. Жидкость из расходной емкости 2 насосом -7 по соединительной магистрали3 -подаетс в дополнительную емкость 13 и, заполнив ее, по оединительной магистрали 4 сливает обратно в расходную, емкость 2. После заполнени дополнительной емкости 13 насос 7 включаетс и открываетс третий клапан 12. Дозируема идкость заполн ет мерную емкость 1 (гибкую трубку) до уровн , общето с уровнем жидкости в дополнительной емкости 13, причем этот уровень выше ервого конца трубки 5, так как доолнительный объем мерной емкости 1 ыбран не больше объема дополнительной емкости 13 между ее крышкой 14 первым концом 15 трубки с целью беспечени полного заполнени труП31 ки 1 (мерной емкости) при максимальной дозе. При заполнении трубки 1 жидкостью газовые пузьгри барботируют через третий клапан 12, что обусловливает исключение вли ни их объемов на точность дозировки. После заполнени мерной емкости 1 (трубки) открываетс первый клапан 10, избыточное количество жидкости сливаетс по соединительной магистрали 3 через первый клапан 10, в расходную емкость 2, при этом по срезу первого конца 15 трубки 1 происходит формирование дозы жидкости. После получени дозы закрываетс первый клапан 10, открываетс второй клапан 11. Инертный газ, поступа по магистрали 5, выдавливает дозу 7Л в 1 абочий объем. Автоматическое управление насосом 7 и клапанами 10 12 осуществл ет система 9 управлени , Настройка величины дозы в дозоторе осуществл етс вертикальным перемещением подвижного второго конца 16 трубки 1 приводом 17. Регулировка дозы в области малых значений может производитьс заменой трубки 1 одного сечени трубкой другого сечени . Таким.образом, при использовании и гибкой мерной емкости, соединенной с приводом перемещени , обеспечиваетс повышение точности дозировани малых доз жидкости, а также исключь;ние вли ни на величину дозы газовых пузьфей.| The invention relates to dispensing devices, in particular, to share chemicals of aggressive liquids, and can be used to automate dosing operations in chemical plants for the production of microelectronic devices, in particular integrated circuits. A pneumatic aggressive media dispenser is known, containing a control device, an auxiliary device in the form of a valve block with pneumatic diaphragm valves, a reactor and a measuring vessel. The measuring vessel is sealed, with an internal partition dividing it into two equal strips connected in the upper part with each other and with the reactor, and the lower parts of each cavity are connected through the valve block of the actuator with the main pipeline and the reactor Jl. The disadvantages of this dispenser are the lack of versatility, since the dimensions of the measuring capacity unambiguously determine the dose, and the low accuracy of the dispensing, which determines the accuracy of manufacturing the measuring capacity. The closest to the invention by technical essence and the achieved result is a pneumatic dispenser containing a measuring tank with an adjustable volume, a flow container with connecting pipes and a nozzle for discharge of the dose, a pump, a source of compressed gas, a control system with valves 2. A disadvantage of the known dispenser is low dosage accuracy due to the effect on the size of the dose of gas bubbles in its volume. The aim of the invention is to improve the accuracy of dosing. This goal is achieved by the fact that a pneumatic metering device containing a volumetric tank with an adjustable volume, a supply tank with connecting pipes and a nozzle for draining the dose, a pump, a source of compressed gas, a control system with valves, has an additional bone connected to the pump and through the first valve to the upper part of the supply tank, which communicates with the upper part of the additional tank, which is connected to the source of compressed gas through the second valve, with adjustable volume, made in the form of a flexible tube, the first end of which is inserted into the lower part of the additional tank, and the second is connected via a third valve with the drain fitting and is equipped with a vertical displacement drive, and the volume of the measuring tank is not more than the volume of the additional tank between its cap and the first end of the tube. The drawing shows a pneumatic fluid dispenser. The device contains a volumetric tank 1 with an adjustable volume, a supply tank 2 with connecting lines 3-5 and a dose discharge nozzle 6., Pump 7, a source of 8 compressed gas, a control system 9 with valves 10-12, an additional tank 3 with a crush 14, the lower part of which is connected to the pump 7 and through the first valve 10 to the upper part 11 of the supply tank 2, which communicates with the upper part of the additional tank 13, the latter through the second valve 11 is connected to the source 8 of compressed gas. The measuring tank 1 with an adjustable volume is filled in the form of a flexible tube, the first end 15 of which is inserted into the lower part of the additional tank 13, and the second 16 is connected through the third valve 12 with the drain fitting 6 and is equipped with a vertical movement actuator 17. The dispenser works as follows. When dosing, the lasos 7 is turned on. Liquid from the supply tank 2 by pump-7 along the connecting line 3 is supplied to the additional tank 13 and, filling it, through the connecting line 4 drains back to the supply tank 2. After filling the additional tank 13, the pump 7 turns on and opens the third valve 12. The dosing fluid fills the measuring tank 1 (flexible tube) to a level that is common with the liquid level in the additional tank 13, and this level is higher than the first end of the tube 5, since the additional volume of the measuring tank 1 is There is no more than the volume of the additional container 13 between its lid 14 and the first end 15 of the tube in order to ensure that pipe 31 and 1 (measuring container) are completely filled at the maximum dose. When the tube 1 is filled with liquid, gas puzzles are bubbled through the third valve 12, which causes the exclusion of the influence of their volumes on the dosage accuracy. After filling the measuring tank 1 (tube), the first valve 10 opens, the excess amount of fluid is discharged through the connecting line 3 through the first valve 10 to the supply tank 2, while forming a dose of the fluid through the first end 15 of the tube 1. After receiving the dose, the first valve 10 is closed, the second valve 11 opens. The inert gas, entering through line 5, squeezes the dose of 7L into 1 working volume. Automatic control of the pump 7 and valves 10 12 is carried out by the control system 9, the dose magnitude in the dispenser is adjusted vertically by moving the movable second end 16 of the tube 1 by the actuator 17. The dose can be adjusted to small values by replacing the tube 1 of one cross section with another. In this way, with the use of a flexible measuring container connected to a moving drive, the accuracy of dosing of small doses of liquid is improved, as well as the elimination of the effect on the dose of gas fluids is eliminated.