Изобретение относитс к электроизмерительной технике и может быть использованЬ при определении потенциала зар жаемых коронным ра&р дом тонких диэлектрических пленок и фотополупроводниковых слоев, в частности в электрофотографии дл испытаний слоев, предназначенных дл регистрации оптической информации. Дл измерени потенциалов электрофотографических слоев широко прим н ютс электрометры с динамической ем костью. Сущность измерени потенциа лов с помощью таких электрометров состоит в том, что посто нный сигнал , подаваемый на некоторую динамическую емкость, преобразуетс бла годар модул ции этой емкости с определенной частотой -в переменный сигнал, пропорциональный входному сигналу, т.е. принцип измерени со стоит в использовании дл преобразовани сигналов на входе усилител конденсатора с переменно измен ющейс емкостью С П . Электрометры с динамической емкостью позвол ют достаточно точно определ ть потенциал высокоомных слоев после их зар дки, при измере нии же зар женных низкоомных слоев определ етс лишь спад потенциала, а кинетика нарастани потенциала при зар дке остаетс неизвестной. Наиболее близким к предлагаемому вл етс устройство дл измерени потенциала зар женных слоев, содержащее коронирующий электрод, измеритеЛьный блок, снабженный по крайней мере одним зондом, соединенным с электроприводом и регистрирующим прибором,, и контакты, дл заземлени причем коронирующий электрод и измерительный зонд укреплены на враща кнцемс диске один напротив другого и параллельно диску расположена несуща пластина с отверсти ми, равномерно распределенными по окружности С23 , Недостатком данного устройства вл етс то, что зар дка производит с не посто нно, а только в момент когда коронирующий электрод находитс над отверстием, следовательно в промежутки времени между зар дкой и измерением потенциал падает и тем значительнее, чем низкоомнее исследуемое вещество. Поэтому, когда измерительный зонд проходит над отверстием, он фиксирует не тот потенциал, который был нанесен коро ной, а значительно меньший. Подача напр жени на корону через скольз щие контакты вызывает значительные технологические трудности. Цель изобретени г расширение функциональных возможностей устройства . Поставленна цель достигаетс тем, что в устройство дл измерени потенциала зар женных слоев,, содержащее коронирующий электрод, измерительный блок, снабженный по крайней мере одним зондом, соединенным с электроприводом и регистрирующим прибором, и контакты дл заземлени , введен соединенный с электроприводом цилиндрический каркас, на оси которого закреплен коронирующий электрод, а бокова поверхность снабжена окнами и экранирующими полосками , несущими зонды. На чертеже изображена схема предлагаемого устройства. Устройство включает в себ коронирующий электрод 1, окруженный цилиндрическим заземленным каркасом 2, на противоположных поверхност х которого размещены экранирующие полоски 3 с зондами 4, Контакты 5 служат дл сн ти сигналов с зондов 4, а контакты 6 - дл заземлени экранирукицих полосок 3. Каркас 2 приводитс во вргицение приводом 7, Исследуемый слой 8 помещаетс под каркас 2. Источники питани коронирующего электрода 1 и привода 7 не показаны. Регистрирующий прибор 9 подключен к контактам 5 измерительнЕЛх зондов 4 и зашунтирован сопротивлением 10, Устройство работает следукидим образом. На коронирующий электрод 1 подаетс высокое напр жение и исследуемый слой 8 зар жаетс в поле коронного разр да. Одновременно приводитс во вращение каркас 2 с установленньоли на нем зондами 4. Поверхностный зар д на слое 8 вызывает в проход щем над ним зонде ЭДС электростатической индукций. Ток, проход щий через сопротивление 10, фиксируетс измерительным прибором 9, например осциллографом . Зар д, индуцированный на зонде, определ етс соотношением где Е - напр женность пол ; 5 - площадь зонда. Потенциал зонда определ етс по где of - рассто ние от зонда до При вращении зонда напр женность пол Е между зондом и слоем равна EгV{5 гs nшt) , где 5 - среднеее рассто ние от зонда до сло ; b - радиус каркаса, т,е, величина сигнала с зондов пропорциональна частоте вращени и рассто нию от ближайшего к слою зонда 4 до поверхности сло 8. Поэтому эти парамет « устанавливаютс перед градуировкой устройства и впередь ие измен ютс . Дл градуировки, вместо исследуемого образца, помещаетс металлическа пластина одинаковых с исследуемым образцом размеров. На пластину подаетс посто нное напр жение той же пол рности, что и нано-. симый на исследуемый слой потенциал. С зондов снимаетс сигнал, гилплитуда которого пропорциональна напр жению на пластине, и строитс градуи ровочный график, используемый дл определени потенциала исследуемого сло , Градуировочный график дает линейную зависимость между потенциалом , подаваемым на эталонную пластин;Ку ,и величиной сигнала,фиксируемого измерительным прибором.
Помей(а вместо эталонной пластины исследуемый образец тех же размеров, фиксируют сигнал с зондов измерительным прибором И по градуировочному графику определ ют потенциал сло . Такое выполнение устройства позвол ет производить измерени потенциала ниэкоомных слоев непосредствен0 но в процессе зар дки. Кроме того, создаетс возможность измерени не только спада потенциала сло после его зар дкой/ но и его нарастание в процессе зар дки. Закрепление коронирующего электрода устран ет сколь5 з щие контакты дл подачи напр жени питани ,и,тем самым,упрощаетс конструкци устройства и его обслуживание,.