SU1092606A1 - Video-monitoring device for scanning electron microscope - Google Patents
Video-monitoring device for scanning electron microscope Download PDFInfo
- Publication number
- SU1092606A1 SU1092606A1 SU833533421A SU3533421A SU1092606A1 SU 1092606 A1 SU1092606 A1 SU 1092606A1 SU 833533421 A SU833533421 A SU 833533421A SU 3533421 A SU3533421 A SU 3533421A SU 1092606 A1 SU1092606 A1 SU 1092606A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- output
- input
- video
- switch
- unit
- Prior art date
Links
Abstract
ВИДЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА, содержащее блок управлени , выходы которого соединены с управл ющими входами коммутатора разверток , коммутатора ви еосигналов, блока пам ти и генератора разверток и синхронизации, соединенного первым и вторым выходами через коммутатор разверток с системой отклонени электронного луча и блоком индикации, а также вторым выходом - с вторым адресным .входом блока пам ти, выход которого через видеоусилитель соединен с информационным входом блока индикации, и детектор излучени с предусилителем, соединенный с информационным входом коммутатора видеосигналов , первый выход которого соединен с ин(|)Ормационным входом блока пам ти, а второй выход - с входом видеоусилител , отличающеес тем, что, с целью получени немелькающего псевдорельефного изображени , оно снабжено сумматором, а .коммутатор видеосигналов содержит дополнительный третий выход, соединенный со втошрым входом сумматора, первый вход которого соединен с первым выходом генератора разверток и синхронизации, а выход - с первым адресным входом блока пам ти.The video control device for a scanning electron microscope, comprising a control unit which outputs are connected with the control inputs of the switch sweeps switch vi eosignalov, storage unit and the generator sweeps and synchronization connected first and second outputs via scans switch with deflection of the electron beam system and display unit and also the second output - with the second addressable input of the memory block, the output of which through the video amplifier is connected to the information input of the display unit, and the detectors An emitter with a preamplifier, connected to the information input of a video switch, the first output of which is connected to the input (|) memory input of the memory unit, and the second output to the video amplifier input, characterized in that, in order to obtain a non-flickering pseudo-relief image, it is equipped with an adder , and the video signal switch contains an additional third output connected to the second input of the adder, the first input of which is connected to the first output of the sweep and synchronization generator, and the output to the first address th input block memory.
Description
QOQO
OiOi
Изобретение относитс к электронной микроскопии и может быть использовано дл формировани изображени объекта, исследуемого в растровом электронном микроскопе.This invention relates to electron microscopy and can be used to form an image of an object under study in a scanning electron microscope.
Известны видеоконтрольные устройства (ВКУ) дл растровых электронных микроскопов (РЭМ), основанные на модул ции вертикального отклонени луча воспроизвод щей электронно-лучевой трубки (ЭЛТ) видеосигналами и содержащие блок управлени , генератор разверток и синхронизации, детектор излучени , видеоусилитель и блок индикации. За счет более высокой пространственной разрешающей способности человеческого зрени , по сравнению с контрастной разрещающей способностью, в полученном таким образом изображении фиксируютс даже те неоднородности объекта, которые при ркостной модул ции не про вл ютс . Такие изображени называют псевдорельефными или изображени ми с Y-MOдул цией 1 .Video monitoring devices (ICS) for scanning electron microscopes (SEM) are known, based on modulating the vertical deflection of a beam of a repetitive cathode ray tube (CRT) with video signals and containing a control unit, a sweep and timing generator, a radiation detector, a video amplifier, and a display unit. Due to the higher spatial resolution of human vision, compared with the contrast resolution, the image obtained in this way captures even those heterogeneities of the object, which do not appear during loudness modulation. Such images are called pseudo-relief or Y-MODULE 1 images.
Недостатком известных устройств вл етс то, что в св зи с ограниченной частотной полосой электромагнитных отклон ющих систем дл воспроизведени псевдорельефного изображени , в ВКУ необходимо вводить дополнительную ЭЛТ с электростатическим управлением либо ограничиватьс медленными стандартами и получать сильно утомл ющее оператора мелькающее изображение .A disadvantage of the known devices is that, in connection with the limited frequency band of electromagnetic deflecting systems, in order to reproduce a pseudo-relief image, it is necessary to introduce additional CRT with electrostatic control or be limited to slow standards and get a very tiring operator flashing image.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс ВКУ дл РЭМ, содержащее блок управлени , выходы которого соединены с управл ющими входами коммутатора разверток, коммутатора видеосигналов, блока пам ти и генератора разверток и синхронизации, соединенного своими первым и вторым выходами через коммутатор разверток с системой отклонени электронного луча и блоком индикации, а также вторым выходом - с вторым адресным входом блока пам ти, выход которого через видеоусилитель соединен с информационным входом блока индикации, и детектор излучени с предусилителем, соединенный с информационным входом коммутатора видеосигналов, первый выход которого соединен с информационным входом блока пам ти, а второй - с входом видеоусилител 2.The closest in technical essence to the invention is an ICS for SEM, comprising a control unit, the outputs of which are connected to the control inputs of a sweep switch, video switch, memory block and sweep and synchronization generator, connected by its first and second outputs through the sweep switch with the system deflection of the electron beam and the display unit, as well as the second output - with the second address input of the memory unit, the output of which is connected through the video amplifier to the information input of the display unit and a radiation amplifier with a preamplifier, connected to the information input of a video switch, the first output of which is connected to the information input of the memory unit, and the second to the input of video amplifier 2.
Данное устройство обеспечивает возможность наблюдени немелькающ го изображени микрообъекта на экране блока индикации , работающего в вещательном телевизионном стандарте. Однако оно не может воспроизводить псевдорельефное изображение .This device makes it possible to observe a non-flickering image of a micro-object on the screen of an indication unit operating in the broadcast television standard. However, it cannot reproduce a pseudo-relief image.
Целью изобретени вл етс получение немелькающего псевдорельефного изображени .The aim of the invention is to obtain a non-flashing pseudo-relief image.
Указанна цель достигаетс тем, что видеоконтрольное устройство дл растровогоThis goal is achieved by the fact that the video monitor for raster
электронного микроскопа содержащее блок управлени , выходы которого соединены с управл ющими входами коммутатора разверток , коммутатора видеосигналов, блока пам ти и генератора разверток и синхронизации , соединенного первым и вторым выходами через коммутатор разверток с системой отклонени электронного луча и блоком индикации , а также вторым выходом - с вторым адресйым входом блока пам ти, выход которого через видеоусилитель соединен с информационным входом блока индикации, и детектор излучени с предусилнтелем, соединенный с информационным входом коммутатора видеосигналов, первый выход которого соединен с информационным входом блока пам ти, а второй выход - с входом видеоусилител , снабжено сумматором, а коммутатор видеосигналов содержит дополнительный третий выход, соединенный со вторым входом сумматора, первый вход которого соединен с первым выходом генератора разверток и синхронизации, а выход - с первым адресным входом блока пам ти.an electron microscope containing a control unit whose outputs are connected to the control inputs of the sweep switch, video switch, memory block and sweep and synchronization generator connected to the first and second outputs through the sweep switch with the electron beam deflection system and display unit, as well as the second output the second addressable input of the memory unit, the output of which through the video amplifier is connected to the information input of the display unit, and a radiation detector with a preamplifier connected to The video input switch input, the first output of which is connected to the information input of the memory unit, and the second output - to the video amplifier input, is equipped with an adder, and the video switchboard contains an additional third output connected to the second input of the adder, the first input of which is connected to the first output of the scan generator and synchronization, and the output is with the first address input of the memory unit.
На чертеже представлена функциональна блок-схема ВКУ.The drawing shows a functional block diagram of the ICU.
Видеоконтрольное устройство содержит генератор 1 разверток и синхронизации, блок 2 управлени , блок 3 пам ти, коммутатор 4 разверток, колонну 5 растрового электронного микроскопа, детектор 6 излучени с предусилнтелем, коммутатор 7 видеосигналов , сумматор 8, блок 9 индикации, видеоусилитель 10. Внутри колонны 5 микроскопа размещена система 11 отклонени электронного луча. Блок 2 управлени своими выходами соединен с управл ющими входами коммутаторов 4 и 7 разверток и видеосигналов соответственно, блока 3 пам ти и генератора j разверток и синхронизации( соединенного первым и вторым выходами через коммутатор 4 разверток с системой 11 отклонени электронного луча и блока 9 индикации, HJ вторым выходом - также со вторым адреЬным входом блока 3 пам ти. На информационный вход блока 9 индикации через видеоусилитель 10 подан сигнал с выхода блока 3 пам ти и с второго выхода коммутатора 7 видеосигналов. Информационные входы коммутатора 7 видеосигналов соединены с выходом детектора излучений и с детектором 6. Первый выход коммутатора 7 видеосигналов соединен с информационным входом блока 3 пам ти, а третий дополнительный выход - со вторым входом сумматора 8, первый вход которого соединен с первым выходом генератора 1 разверток и синхронизации. Выход сумматора 8 соединен с первым адресным входом блока 3 пам ти.The video monitoring device contains a sweep and synchronization generator 1, a control unit 2, a memory block 3, a scan switch 4, a scanning electron microscope column 5, a radiation detector 6 with a preamplifier, a video switch 7, an adder 8, an indication unit 9, a video amplifier 10. Inside the column 5 a microscope is placed an electron beam deflection system 11. The control unit 2 with its outputs is connected to the control inputs of the switches 4 and 7 sweeps and video signals, respectively, the memory block 3 and the sweep generator and synchronization j (connected to the first and second outputs via the switch 4 sweeps to the electron deflection system 11 and the display unit 9, The HJ second output is also with the second address input of the memory block 3. The information input of the display unit 9 through the video amplifier 10 is fed to the output of the memory block 3 and from the second output of the video switch 7. the inputs of the video signal switch 7 are connected to the output of the radiation detector and to the detector 6. The first output of the video signal switch 7 is connected to the information input of the memory unit 3, and the third additional output is connected to the second input of the adder 8, the first input of which is connected to the first output of the 1 sweep generator and synchronization. The output of the adder 8 is connected to the first address input of the memory block 3.
Устройство работает следующим образом .:The device works as follows:
Генератор 1 разверток и синхронизации имеет в своем составе синхрогенератор и формирователи пилообразных сигналовThe generator 1 sweeps and synchronization has in its composition a synchronous generator and drivers of sawtooth signals
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU833533421A SU1092606A1 (en) | 1983-01-06 | 1983-01-06 | Video-monitoring device for scanning electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU833533421A SU1092606A1 (en) | 1983-01-06 | 1983-01-06 | Video-monitoring device for scanning electron microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1092606A1 true SU1092606A1 (en) | 1984-05-15 |
Family
ID=21043166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU833533421A SU1092606A1 (en) | 1983-01-06 | 1983-01-06 | Video-monitoring device for scanning electron microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1092606A1 (en) |
-
1983
- 1983-01-06 SU SU833533421A patent/SU1092606A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| .1. Деркач В. П. и др. Электроннозондовые устройства. Киев, «Наукова думка, 1974, с. 75. 2. Авторское свидетельство СССР № 687492, кл. Н 01 J 37/26, 1977 (прототип). * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4881124A (en) | X-ray television apparatus | |
| US2986596A (en) | Television writing pick-up systems | |
| SU1092606A1 (en) | Video-monitoring device for scanning electron microscope | |
| US4677351A (en) | Circuit for preventing burn-in spots on the picture screen of a visual display | |
| US3597534A (en) | System for displaying the distribution of thermal radiation from an object | |
| SU572230A3 (en) | Microscope scanning system | |
| US3221099A (en) | Electronic display system for use with photographic transparencies | |
| US3986027A (en) | Stereo scanning microprobe | |
| SU913479A1 (en) | Video control device for electron microscope with deflection system | |
| US3952149A (en) | Television apparatus suitable for video signal analysis | |
| JPS61220261A (en) | Method and apparatus for exciting subject zone of sample surface | |
| SU456325A1 (en) | Rasto electron microscope | |
| GB1483020A (en) | Method and system for tracking a selected image portion of a moving object | |
| SU687492A1 (en) | Video idication device for raster electronic microscope | |
| US3392306A (en) | Blanking circuits for television receivers | |
| US3988634A (en) | Controlled storage level for a storage cathode-ray tube | |
| JPH0586022B2 (en) | ||
| JP2838799B2 (en) | Charged particle beam equipment | |
| SU920894A1 (en) | Scanning device for reproducing specimen image | |
| JPH02220342A (en) | Charged particle beam device | |
| SU918995A1 (en) | Method of forming object field picture and its fragment in raster electron microscope | |
| SU651428A1 (en) | Electron beam switching device | |
| SU1603429A1 (en) | Device for displaying information on crt screen | |
| GB1006023A (en) | Improvements in or relating to video signal display systems | |
| KR830002860Y1 (en) | Scanning apparatus for scanning electron microscope and similar devices |