Изобретение относитс к оптичес кому приборостроению, конкретнее к электронно-оптическим координаторам , и может быть использовано, например, дл контрол положени и лучающего объекта в системах измерени геометрических размеров различных изделий. Известно координатно-чувствител ное устройство, содержащее фокусирующую систему и полупроводниковую пластину с коллекторами электродами Г 1 . Недостатками известного устройства вл ютс больша погрешность измерени из-за нелинейности позиционной характеристики и низка чувствительность. Наиболее близким к изобретению вл етс координатно-чувствительное устройство, содержащее светоде литель и фотоприемнйки. В этом устройстве излучение объ екта собираетс телескопом и направл етс на четырехгранную зеркальную пирамиду. Отразившись от ее граней и вспомогательных зеркал световой поток попадает на катоды четьфех фотоумножителей. Разность напр жений с выходов противоположных фотоумножителей подаетс на со ответствующий усилитель. Если световой луч падает по центру зеркаль ной призмы (нулевое положение), то световые потоки, отраженные от пирамиды, одинаковы по интенсивнос ти, и сигналы фотоумножителей также одинаковы. При смещении светово . го луча засветка противоположных граней становитс неравномерной, и на выходе усилителей по вл етс сигнал рассогласовани С 23. Однако известное устройство име ет невысокую точность и сложность конструкции, поскольку дл его раб ты необходимо, .чтобы пучок излучени был равен половине щирины основани пирамиды. При работе с узким лазерным лучом данный приемник использовать нельз , поскольку необходимо использовать расширитель, что усложн ет устройство и снижает разрешение прибора, а следовательно , и точность измерени , кроме то го, при/ смещении луча от нулевого положени по одной координатной ос световые потоки в направлении другой оси всегда уменьшаютс , т.е. о ношение сигнал/шум фотоприемников зависит ,от положени луча по другой оси. Устройство требует особо точного изготовлени вершины пира{шды , а также точной установки ее в центре фокальной плоскости, что С1 азываетс на погрешности измерени и обуславливает сложность при его эксплуатации. Целью изобретени вл етс повьш1ение точности и упрощение конструкции устройства. Эта цель достигаетс тем, что в координатно-чувствительном устройстве , содержащем светоделитель и фотоприемники , светоделитель выполнен в виде четырех светоделительных пластин с коэффициентами отражени светового потока соответственно 0,25; 0,33; 0,5 и 1,0 последовательно установленных по ходу светового потока, а между этими пластинами и фотоприемниками по ходу отраженных пластинами световых потоков установлены фильтры, каждый из которых содержит оптический клин, причем оптические, клинь расположены так, что дл каждой пары фильтров, соответствующей одной из координат, оптическа плотность клина измен етс вдоль ЭТОЙ координаты, а направление изменени оптической плотности в одном из фильтров пары противоположно направлению изменени оптической плотности в другом фильтре. На фиг. 1 показана схема устройства} на фиг. 2 - оптическа схема устройства. Устройство содержит светоделительные пластины, например призмы, 1-5, введенные между собой в оптический конт;акт, фотоприемники 6, светофильтры 7 и линзы 8. Светоделительные грани, образованные при контакте призм 1-5, имеют коэффициенты отражени в направлении распространени потока излучени , равные 0,25-, 0,33; 0,5; 1,0, что обеспечивает равенство световых потоков , падающих на каждый фотоприемник . Каждый из светофильтров 7 выполнен из двух клиньев, при этом один из клиньев выполнен из материала прозрачного дл излучени , а второй - из материала, имеющего оптическую плотность, отличнзпо от нул . Каждой из координат соответствует одна пара светофильтров 7. Клинь в светофильтрах 7 ориентированы по координатам таким образом. 3 чтобы дл каждой из координат оптическа плотность светофильтров мен лась в направлении этой координаты , и расположены таким образом чтобы при смещении излучени вдоль этой координаты оптическа плотность одного из светофильтров пары увеличивалась, а другого - уменьша лась. Устройство работает следующим образом. При нахождении пучка излучени в начале координат интенсивность излучени на всех фотоприемниках будет одинаковой. При смещении пучка излучени по оси X (смещение по оси У 0) опти ческа плотность светофильтра в од ном канале X увеличиваетс , а в др гом - уменьшаетс за счет изменени толщины клина с оптической плотностью от О до 4 - (верхний предел обусловлен чувствительностью фотоприемника ) отличной от нул . Соот114 ветственно изменитс величина электрического сигнала в фотоприемниках в каналах, котора вл етс функцией смещени по оси X: в одном из каналов сигнал увеличитс , а в другом - уменьшитс . При этом в каналах У сигнал не изменитс , поскольку оптическа плотность светофиль- ) тров в каналах 5Ь не изменитс . При смещении пучка излучени по оси У измен етс оптическа плотность светофильтров в каналах У и соответственно измен ютс сигналы на фотолЙ емниках 6 этих каналов, причгм сигнал в одном из них увеличиваетс а в другом - уменьшаетс . Устройство обеспечивает линейность электрооптической характеристики приемников, высокую точность измерени величины смещени светового потока. Использование этого устройства позвол ет повысить точность измерени геометрических параметров полупроводниковых пластин.The invention relates to optical instrumentation, more specifically to electron-optical coordinators, and can be used, for example, to control the position of a radiating object in the systems for measuring the geometrical dimensions of various products. A coordinate-sensing device is known that contains a focusing system and a semiconductor plate with collectors with G1 electrodes. The disadvantages of the known device are the large measurement error due to the nonlinearity of the positional characteristic and low sensitivity. Closest to the invention is a coordinate-sensitive device containing a light-emitting diode and photo-detectors. In this device, the radiation of an object is collected by a telescope and directed to a four-sided mirror pyramid. Reflected from its faces and auxiliary mirrors, the luminous flux falls on the cathodes of the chip of the photomultipliers. The voltage difference from the outputs of the opposite photomultipliers is fed to the corresponding amplifier. If the light beam falls in the center of the mirror prism (zero position), then the light fluxes reflected from the pyramid are the same in intensity, and the signals of the photomultipliers are also the same. When offset light. The illumination of opposite edges becomes uneven on the beam, and the error signal C 23 appears at the output of the amplifiers. However, the known device has a low accuracy and complexity of design, since for its operation it is necessary that the radiation beam be equal to half the width of the pyramid base. When working with a narrow laser beam, this receiver cannot be used, since it is necessary to use an expander, which complicates the device and reduces the resolution of the device, and hence the measurement accuracy, besides when the beam is shifted from the zero position along one axis. the direction of the other axis is always reduced, i.e. The signal-to-noise ratio of the photodetectors depends on the position of the beam on the other axis. The device requires a particularly accurate production of the peak of the pyramid, as well as its precise installation in the center of the focal plane, which C1 calls for measurement errors and makes it difficult to operate. The aim of the invention is to improve the accuracy and simplify the design of the device. This goal is achieved by the fact that in the coordinate-sensitive device containing a beam splitter and photodetectors, the beam splitter is made in the form of four beam-splitting plates with reflectances of the light flux, respectively, 0.25; 0.33; 0.5 and 1.0 successively installed along the light flux, and between these plates and photodetectors along the light flux reflected by the plates, filters are installed, each of which contains an optical wedge, the optical wedge arranged so that for each pair of filters corresponding to one of the coordinates, the optical density of the wedge changes along THIS coordinate, and the direction of change in optical density in one of the filters of the pair is opposite to the direction of change in optical density in the other filter. FIG. 1 shows a diagram of the device} in FIG. 2 shows the optical layout of the device. The device contains beam-splitting plates, e.g. prisms, 1-5, interposed into optical contact; act, photodetectors 6, light filters 7 and lenses 8. Beam-splitting edges formed by prism contact 1-5 have reflection coefficients in the direction of propagation of radiation flux, equal 0,25-, 0,33; 0.5; 1.0, which ensures the equality of the light fluxes incident on each photodetector. Each of the light filters 7 is made of two wedges, with one of the wedges made of a material that is transparent to radiation, and the second is made of a material having an optical density other than zero. Each of the coordinates corresponds to one pair of filters 7. The wedge in the filters 7 is oriented along the coordinates in this way. 3 so that for each of the coordinates the optical density of the optical filters varies in the direction of this coordinate, and is arranged so that when the radiation shifts along this coordinate, the optical density of one of the optical filters of the pair increases and the other decreases. The device works as follows. When a radiation beam is located at the origin of coordinates, the radiation intensity at all photodetectors will be the same. When the radiation beam is shifted along the X axis (offset along the Y axis is 0), the optical density of the light filter in one channel X increases and in the other decreases by changing the thickness of the wedge with optical density from 0 to 4 - (the upper limit is caused by the sensitivity of the photodetector ) different from zero. Accordingly, the magnitude of the electrical signal in the photodetectors in the channels, which is a function of the X-axis bias, will change accordingly: in one channel, the signal will increase, and in the other, it will decrease. At the same time, in the Y channels, the signal does not change, since the optical density of the optical filter in channels 5b does not change. When the radiation beam is shifted along the Y axis, the optical density of the optical filters in the Y channels changes and, accordingly, the signals on the photocell 6 of these channels change, the signal increases in one of them, and decreases in the other. The device ensures the linearity of the electro-optical characteristics of the receivers, the high accuracy of measuring the magnitude of the displacement of the light flux. The use of this device improves the accuracy of measuring the geometric parameters of semiconductor wafers.