SU1081448A1

SU1081448A1 - Absolute pressure pickup

Info

Publication number: SU1081448A1
Application number: SU833559570A
Authority: SU
Inventors: Владимир Александрович Семенов; Виктор Николаевич Марин; Татьяна Александровна Бекетова
Original assignee: Предприятие П/Я А-1891
Priority date: 1983-03-01
Filing date: 1983-03-01
Publication date: 1984-03-23

Abstract

ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ, содержащий корпус, разделенный мембраной на две камеры - измерительную и опорную, вакуумированную, шток. жестко св занн.ый с мембраной, взаимодействующий с упругим элементом с расположенными на нем тензорезистораivM , и ограничительный упор под мембрану , отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерени малых абсолютных давлений путем исключени перегрузок от действи атмосферного давлени в процессе эксплуатации, в нем упругий элемент выполнен с центральным сквозным отверстием под шток, на выступающей час .ти которого с зазором относительно упругого элемента установлен с возможностью перемещени вдоль штока дополнительный упор.ABSOLUTE PRESSURE SENSOR, comprising a housing divided by a membrane into two chambers - measuring and supporting, evacuated, stem. rigidly connected with the membrane, interacting with an elastic element with a strain gauge M on it, and a restrictive stop under the membrane, characterized in that, in order to improve the accuracy of measuring small absolute pressures by eliminating overloads from atmospheric pressure during operation, the elastic element is made with a central through-hole for the rod, on the protruding hour of which, with a gap relative to the elastic element, is mounted for movement along the rod th stop.

Description

0000

4 44 4

0000

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике, а точнее к датчикам, служащим дл измерени абсолютного давлени менее О,610 Па газообразных сред.The invention relates to instrumentation technology, and more specifically to sensors that serve to measure an absolute pressure of less than 0.610 Pa gaseous media.

Известны конструкции датчиков, со держащие корпус с упругим элементом, в которых под действием атмосферного давлени упругий элемент посто нно находитс в напр женном состо нии Clj.Sensor constructions are known which comprise a housing with an elastic element in which the elastic element is constantly in the stressed state Clj under the action of atmospheric pressure.

. Недостатком этих устройств вл етс недостаточно высока точность измерений.. The disadvantage of these devices is the insufficient accuracy of the measurements.

Наиболее близким -к изобретению по технической сущности вл етс конструкци датчика разности давлени содержаща корпус, в котором установлена мембрана, раздел юща корпус на две камеры, упругий элемент, жёстко св занный штоком с мембраной, и ограничительный упор под мембрану С2.The closest to the invention according to the technical essence is the design of a differential pressure sensor comprising a housing in which a membrane is installed, dividing the housing into two chambers, an elastic element rigidly connected with the stem to the membrane, and a restrictive abutment under the membrane C2.

Конструкци этого датчика не обедпечивает защиту упругого элемента от перегрузок, вызванных атмосферным давлением в процессе эксплуатации, что приводит к изменению начального выходного сигнала и, в свою очередь, к снижению точности измерени малых давлений.The design of this sensor does not finish the protection of the elastic element against overloads caused by atmospheric pressure during operation, which leads to a change in the initial output signal and, in turn, to a decrease in the accuracy of measuring low pressures.

Целью изобретению вл етс повышение точности измерени малых абсолютных давлений за счет исключени перегрузок от действи атмосферного давлени в процессе эксплуатации.The aim of the invention is to improve the accuracy of measuring small absolute pressures by eliminating overloads from atmospheric pressure during operation.

Поставленна цель достигаетс тем, что в датчике давлени , содержащем корпус, разделенный мембраной на две камеры - измерительную и опор .ную, вакуумированную, шток, жестко св занный.с мембраной,взаййодейст . вующий с упругим элеменТ(5м с расположенными на нем тензорезисторами, и ограничительный упор под мембрану, упругий элемент выполнен с центральным сквозным отверстием под шток, на выступающей части которого с зазором относительно упругого элемента установлен с возможностью перемещени вдоль штока дополнительный упор.The goal is achieved by the fact that in a pressure sensor comprising a housing divided by a membrane into two chambers - a measuring and a support, evacuated, a rod rigidly connected with a membrane, is attached. With a resilient element (5m with strain gages located on it, and a restrictive abutment under the membrane, the resilient element is made with a central through hole for the stem, on the protruding part of which, with a gap relative to the resilient element, an additional abutment is mounted to move along the stem.

На чертеже представлен датчик абсолютного давлени , общий вид.The drawing shows an absolute pressure sensor, a general view.

Датчик абсолютного давлени содержит корпус 1, соединенный со штуцером 2. Внутри корпуса 1 на основании 3 закреплены мембрана 4 и упру .гий элемент 5. С мембраной 4 жестко соединен шток 6, проход щий в отверстии упругого элемента 5. На конце штока б с зазором относительно упругого элемента 5 и с возможностью перемещени вдоль штока 6 установлен упор 7. Под мембраной 4 установлен ограничительный упор 8. Под упругим элементом 5 расположена герметична Kaiviepa 9.The absolute pressure sensor comprises a housing 1 connected to fitting 2. Inside the housing 1 on the base 3, a membrane 4 and an elastic element 5 are fixed. A diaphragm 4 is rigidly connected to a rod 6 that passes through an opening in the elastic element 5. At the end of the stem b with a gap relative to the elastic element 5 and with the ability to move along the stem 6, the stop 7. is installed. Under the membrane 4 there is a restrictive stop 8. Under the elastic element 5, a Kaiviepa 9 is sealed.

Датчик работает следующим образомThe sensor works as follows

При отсутствии с приемной полости штуцера 2 измер емого давлени мембрана 4 под действием атмосферного давлени прогнута и за счет св занного с ней шгока 6 между упругим элементом 5 и ограничительным нижним упором 7, наход щимс на конце штока б, имеет зазор, за счет которого упругий элемент 5 находитс в свободном состо нии, что и обеспечивает его защиту от перегрузки.In the absence of the measured pressure from the receiving cavity of the fitting 2, the membrane 4 is bent under the action of atmospheric pressure and due to the blockage 6 connected with it between the elastic element 5 and the restrictive lower stop 7 located at the end of the rod b, has a gap due to which elastic element 5 is in a free state, which ensures its protection against overload.

При подаче в приемную полость штуцера 2 измер емого давлени разделительна мембрана 4 прогибаетс в обратную сторону, за счет предварительного нагружени , заданного при настройке датчика, что ведет к плотному поджатию ограничительного нижнего упора 7 к упругому элементу 5. Зазор между ограничительным упором 7 и упругим элементом 5 исключаетс , и между ними осуществл етс жестка св зь. Упругий элемент 5 Деформируетс , и с выхода мостовой т енэорезис торной схемы, расположенной на нем, снимаетс выходной сигнал.When the measured pressure fitting 2 is fed into the receiving cavity, the separation membrane 4 bends in the opposite direction due to the preloading specified when adjusting the sensor, which leads to tight preload of the restrictive lower stop 7 to the elastic element 5. The gap between the limit stop 7 and the elastic element 5 is eliminated, and there is a hard link between them. The elastic element 5 is deformed, and the output signal is removed from the output of the bridge-and-resistive circuit located on it.

Таким образом, использование этого устройства позвол ет повысить точность измерени за счет исключени перегрузок упругого элемента в процессе эксплуатации.Thus, the use of this device makes it possible to increase the measurement accuracy by eliminating overloads of the elastic element during operation.

Claims

(5 7) ABSOLUTE PRESSURE SENSOR, comprising a housing divided by a membrane into two chambers - a measuring and supporting, evacuated, a rod rigidly connected to the membrane, interacting with an elastic element with strain gauges located on it, and a limit stop under the membrane, characterized in that , in order to improve the accuracy of measuring small absolute pressures by eliminating overloads from the action of atmospheric pressure during operation, the elastic element is made in it with a central through hole for the rod Payuschie part which with clearance relative to the elastic member is mounted for movement along the rod, additional emphasis.