SU1046661A1 - Chamber for measuring concentration of plasma electrons and gas jet density - Google Patents

Chamber for measuring concentration of plasma electrons and gas jet density Download PDF

Info

Publication number
SU1046661A1
SU1046661A1 SU813352544A SU3352544A SU1046661A1 SU 1046661 A1 SU1046661 A1 SU 1046661A1 SU 813352544 A SU813352544 A SU 813352544A SU 3352544 A SU3352544 A SU 3352544A SU 1046661 A1 SU1046661 A1 SU 1046661A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
segment
rectangular waveguide
waveguide
wall
rectangular
Prior art date
Application number
SU813352544A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Игорь Николаевич Москалев
Алексей Олегович Чистяков
Виктор Алексеевич Поспелов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-7094
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-7094 filed Critical Предприятие П/Я А-7094
Priority to SU813352544A priority Critical patent/SU1046661A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1046661A1 publication Critical patent/SU1046661A1/en

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

КАМЕРА ДЛЯ- ИЗМЕРЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ ПЛАЗМЫ И ПЛОТ-. НОСТИ ГАЗОВЫХ СТРУЙ,.содержаща  резонатор в виде отрезка круглого волновода и отрезок пр моугольного волновода, свернутый вокруг отрезка круглого волновода и св эа нный с ним через отверсти , расположенные в общей широкой стенке отрезка пр моугольного волновода и стенке отрезка круглого волновода, отличающа с  тем, что, с целью расширени  пределов значений измер емых концентраций электронов плазкы и плот ностей газовых струй в области малых значений, в нее введен дополнительный отрезок пр моугольного волновода,, свернутый вокруг отрезка круглого волновода и св занный с ним через отверсти , расположенные в общей широкой стенке дополнительного отрезка пр моугольного волновода и стенке отрезка круглого волновода , ка сдый из отрезков пр моугольного волновода разделен двум  металлическими пластинами, установленнь 4:й диаметрально противоположно, при этом . отверсти ,, расположенные в широкой | стенке одного отрезка пр моугольного волновода, отсто т друг от друга на рассто нии, равном А-в /2, а другого - на рассто нии Д-в где А-в длина волны в отрезке пр моугольного волновода, соответствующа  резон, нансной частоте резонатора.CAMERA FOR MEASUREMENT OF THE CONCENTRATION OF ELECTRONS OF PLASMA AND PLASTICS. GAS JETS, which contain a resonator in the form of a circular waveguide segment and a rectangular waveguide segment, rolled around a circular waveguide segment and connected to it through holes located in the common wide wall of the rectangular waveguide segment, characterized by that, in order to expand the limits of the measured concentrations of the electrons of the plasma and the densities of gas jets in the region of small values, an additional segment of the rectangular waveguide, rolled up The corner of the circular waveguide segment and connected with it through the holes located in the common wide wall of the additional rectangular waveguide segment and the circular waveguide segment wall, which is divided from two rectangular waveguide segments by two metal plates, is diametrically opposite. holes, located in the wide | the wall of one segment of a rectangular waveguide is separated from each other at a distance equal to Ab / 2, and the other at a distance Dc in which A is the wavelength in a segment of a rectangular waveguide corresponding to the resonance frequency of the resonator .

Description

ОABOUT

а да Изобретение относитс  к технике измерений на сверхвысоких частотах Известно устройство дл  измерени  параметров плазмы, содержащее СВЧ резонатор, частота которого зависит от параметров введенного в -ег полость электронного пучка tl. Однако устройство не обладает высокой чувствительностью. Наиболее близкой по технической сущности  вл етс  камера дл  измер ни  концентрации электронов плазмы и плотности газовых струй, содержа ща  резонатор в виде отрезка круглого волновода и отрезок пр моугол ного -волновода, свернутый вокруг отрезка круглого во.лноврда и ев за , ный с ним через отверс и ,. располо женные В общей.широкой стенке отре ка пр моугольного волновода и стен отрезка круглого волновода C2j. I Однако известна  камера не обес печивает измерение малых значени й .концентраций электронов плазмы и плотностей.газовых струй из-за малой чувствительности, обусловленной нестабильностью частоты СВЧ генератора и собственной частоты СВЧ резонатора. Цель изобретени  - расширение пределов значений измер емых концентраций электронов плазмы и плотностей газовых- струй. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в .камеру дл  измерени  концентрации электронов плазмы и плотности газовых струй, содержащую резонатор в виде отрезка круглого волновода и отрезок пр моуголь ного волновода, свернутый вокруг отрезка круглого волновода и св ванный с ним через отверсти , рас-положенные в общей широкой стенке отрезка пр моугольного волновода и стенке отрезка круглрго волново,да , введен дополнительный отрезок пр моугольного волнов.ода, свернутый вокруг отрезка круглого волновода и св занный с HiiM через отве ти , расположенные в общей широкой стенке дополнительного отрезка.. . .пр моугольного волновода и стенке отрезка круглого волновода,, каждый из отрезков пр моугольного ВОЛНОВО да разделен даум  металлическими ::пластинами, установленными диамет рально противоположно, при этом отверсти , расположенные в широкой стенке одного отрезка пр моугольно волновода отсто т друг от друга на {зассто нин, равном Д. /2, а друго на расстго нии A-g , где - длина волны в отрезке пр моугольного вол новода, соответствующа  резонансно частоте резонатора. На фиг.1.приведена конструкци  камеры на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.1. Камера дл  измерени  концентрации электронов плазмы и плотности газовых струй содержит резонаторв виде отрезка 1 круглого волновода, отрезок 2 пр моугольного волновода, дополнительный отрезок 3 пр моугольного волновода, отверсти  4, расположенные на рассто нии Д. 0 друг от др,уга в общей широкой стенке отрезка 2 пр моугрльного волновода и стенке отрезка 1 круглого волновода, отверсти  5, расположенные на рассто нииДц/2 друг от друга в общей широкой стенке дополнительного отр.езка 3 пр моугольного волновода и стенке отрезка 1 круглого волновода, металлические пластины 6-9, установленные диамет- . рально противоположно в отрезке 2 -и дополнительном отрезке 3 пр моугольного волноводаи дел щие их соответственно на два участка - Ю, 11 и 12, 13, а также вывод щие волноводы 1417 . Диаметр (2а) отрезка 1 круглого волновода должен в несколько раз превышать размер измер емого ч электронов или газовой струи Диапазон рабочих длин волн Л резонатора та.ков, что -г f длина j резонатора Пары участков 10, 11 и 12, 13 отрезков 2 и 3 пр моугольного волновода образуют системы св зи, рассчитанные на возбуждени  и прием двух различных типов колебаний. Эти типы колебаний подбираютс  из спектра собственных частот резонатора по следующим признакам: а)кмеют- близкие или равные частоты; б)одно из них должно характеризоватьс  азимуггальным индексом , а--, другое - индексом ,Де%акс азимутальный индекс колебани , рав. диальный индекс которого Vi. 1; 2. Частоты различньк типов колебаний В открытых цилиндрических резонаторах (дл  определенности будем считать их ТМ-колебани ми) определ ютс  по формуле где а - радиус резонатора/ с - скорость света в вакууме; - корень 1Т1-Й функции Бессел ; 1И - собственна  частота резона Таким образом, услови , налагаемые на выбираемые типы колебаний, могут быть удовлетворены, если выбрать Ш и И такими, чтобы (например од5-) 77,756 и -77,765, поэтому можно выбрать колебани  TMja и . При описанной выше конструкции участок 11 возбуждает преимуществен-;a yes The invention relates to a technique of measurements at ultrahigh frequencies. A device for measuring plasma parameters is known, which contains a microwave resonator whose frequency depends on the parameters of the electron beam introduced into the electron cavity tl. However, the device does not have high sensitivity. The closest to the technical essence is a chamber for measuring the concentration of plasma electrons and the density of gas jets, containing a resonator in the form of a segment of a circular waveguide and a segment of a rectangular-angled waveguide, rolled around a segment of a circular waveguide and of an electron with it open and located in a common wide wall, a segment of a rectangular waveguide and the walls of a segment of a circular waveguide C2j. I However, a well-known chamber does not provide for the measurement of low concentrations of plasma electrons and gas jet densities due to low sensitivity due to the instability of the frequency of the microwave generator and the natural frequency of the microwave resonator. The purpose of the invention is to expand the limits of values of measured plasma electron concentrations and gas-jet densities. This goal is achieved by the fact that a chamber for measuring plasma electron concentration and gas jet density, comprising a resonator in the form of a segment of a circular waveguide and a segment of a rectangular carbon waveguide, rolled up around a segment of a circular waveguide and connected to it through holes the common wide wall of the rectangular waveguide segment and the wall of the circular waveguide segment, yes, an additional rectangular waveguide segment is introduced, rolled up around the circular waveguide segment and connected to HiiM via answer, p memory location in the broad common wall additional length ... The rectangular waveguide and the wall of a circular waveguide segment, each of the rectangular WAVELOW segments and the daum are divided by metal :: plates installed diametrically opposite, with the holes located in the wide wall of one segment of the rectangular waveguide spaced apart by { The distance is equal to A / 2, and the other on the Ag distri- bution, where is the wavelength in the segment of the rectangular waveguide, corresponding to the resonant frequency of the resonator. Fig. 1 shows the construction of the camera in Fig. 2 - section A-A in Fig. 1; on fig.Z - section bb in figure 1. A chamber for measuring plasma electron density and gas jet density contains a resonator in the form of a segment 1 of a circular waveguide, a segment 2 of a rectangular waveguide, an additional segment 3 of a rectangular waveguide, orifices 4, located at a distance D. of each other, ugg in a common wide wall segment 2 of the smooth carbon waveguide and the wall of segment 1 of the circular waveguide, holes 5, located at a distance of D / 2 from each other in the common wide wall of the additional external bezel 3 of the rectangular waveguide and the wall of the segment 1 of the circular wave gadfly, metal plates 6-9 set diameter. are opposite in the segment 2 - and the additional segment 3 of the rectangular waveguide and dividing them into two sections, Yu, 11 and 12, 13, as well as output waveguides 1417, respectively. The diameter (2a) of segment 1 of a circular waveguide must be several times larger than the size measured by electrons or gas jets. The range of operating wavelengths of a L resonator is that rf f resonator length j j Pairs of sections 10, 11 and 12, 13 segments 2 and 3 rectangular waveguides form communication systems designed to excite and receive two different types of vibrations. These types of oscillations are selected from the spectrum of the eigenfrequencies of the resonator according to the following features: a) are close or equal frequencies; b) one of them must be characterized by an azimugal index, and--, the other by an index, De% ax, the azimuthal oscillation index, equals. the dial index of which is vi. one; 2. Frequencies of different types of oscillations In open cylindrical resonators (for definiteness, we will consider them as TM oscillations) are determined by the formula where a is the resonator radius / s is the speed of light in a vacuum; - root 1T1-th function Bessel; 1I is the natural frequency of the resonance. Thus, the conditions imposed on the chosen types of oscillations can be satisfied if one chooses W and I such that (for example, one) 77.756 and -77.765, therefore one can choose the oscar TMja and. With the construction described above, section 11 excites predominantly;

Claims (2)

КАМЕРА ДЛЯ* ИЗМЕРЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ ПЛАЗМЫ И ПЛОТ-. НОСТИ ГАЗОВЫХ СТРУЙ,.содержащая резонатор в виде отрезка круглого волновода и отрезок прямоугольного волновода, свернутый вокруг отрезка круглого волновода и связанный- с ним через отверстия, расположенные в общей широкой стенке отрезка прямоугольного волновода и стенке отрезка круглого волновода, отличаю щ а яся тем, что, с целью расширения пределов значений измеряемых концентраций электронов плазкм и плотностей газовых струй в области малых значений, в нее введен дополнительный отрезок прямоугольного волновода,, свернутый вокруг отрезка круглого волновода и связанный с ним через отверстия, расположенные в общей широкой стенке дополнительного отрезка прямоугольного волново да и стенке отрезка круглого волновода, каждый из отрезков прямоугольного волновода разделен двумя металлическими пластинами, установленными диаметрально противоположно, при этом . отверстия., расположенные в широкой ( стенке одного отрезка прямоугольного волновода, отстоят друг от друга на расстоянии, равном Д-е /2, а другого - на расстоянии ,где А. в длина волны в отрезке прямоугольного волновода, соответствующая резон, нансной частоте резонатора.CAMERA FOR * MEASURING THE CONCENTRATION OF ELECTRONS OF PLASMA AND RAFT-. GAS JET BLOCKS, containing a cavity in the form of a circular waveguide segment and a rectangular waveguide segment, rolled around a circular waveguide segment and connected through holes located in a common wide wall of a rectangular waveguide segment and a wall of a circular waveguide segment, characterized in that that, in order to expand the limits of measured plasma electron densities and gas jet densities in the region of small values, an additional segment of a rectangular waveguide, curled around Cutting a circular waveguide and connected through it through openings located in the common wide wall of an additional segment of a rectangular waveguide and the wall of a segment of a circular waveguide, each of the segments of a rectangular waveguide is separated by two metal plates installed diametrically opposite, while holes., located in a wide (wall of one segment of a rectangular waveguide, are spaced from each other at a distance equal to D-e / 2, and the other at a distance where A. is the wavelength in the segment of a rectangular waveguide corresponding to the resonant resonant frequency . sum, 1046661su m , 1046661 2σ фиг.12σ Fig. 1
SU813352544A 1981-10-27 1981-10-27 Chamber for measuring concentration of plasma electrons and gas jet density SU1046661A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813352544A SU1046661A1 (en) 1981-10-27 1981-10-27 Chamber for measuring concentration of plasma electrons and gas jet density

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813352544A SU1046661A1 (en) 1981-10-27 1981-10-27 Chamber for measuring concentration of plasma electrons and gas jet density

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1046661A1 true SU1046661A1 (en) 1983-10-07

Family

ID=20982001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813352544A SU1046661A1 (en) 1981-10-27 1981-10-27 Chamber for measuring concentration of plasma electrons and gas jet density

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1046661A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Голант В.Е. Сверхвысокочастотные методы исследовани плазмы.. М., Наука, 1968, с. 104-149. 2. Харвей А. Техника сверхвысоких частот. Ч.П. М., Советское Радио 1965, с. 515-518 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1046661A1 (en) Chamber for measuring concentration of plasma electrons and gas jet density
Bionducci et al. Design of molecular FIR lasers frequency tunable by stark effect: Electric breakdown of CH3OH, CH3F, CH3I and CH3CN∗
CN109638621B (en) kHz-magnitude single-passband microwave photonic filter
US3993969A (en) Vacuum-tight window arrangement for rectangular waveguides
US4439746A (en) Extended interaction microwave oscillator including a sucession of vanes with orifices
Colley et al. Discharge-induced frequency modulation of RF excited CO/sub 2/waveguide lasers
GB1020043A (en) Cavity resonator apparatus
Chebotayev et al. Argon ion laser with high frequency stability
US3403348A (en) Frequency selective laser devices
US3486131A (en) Dual cavity single-mode laser with feedback control of main cavity resonance
Gonchukov et al. Helium-neon waveguide laser
SU1552125A1 (en) Mcw measuring cell
SU599610A1 (en) Resonance wavemeter
RU2025007C1 (en) Resonator of submillimeter laser with optical pumping
Batt et al. An open resonator technique for the measurement of atmospheric propagation characteristics at submillimetre wavelengths
SU1385164A1 (en) Tuneable filter
SU1603146A1 (en) Device for monitoring process of combustion in gas duct of power plant
SU1589220A1 (en) Method of checking parameters of dielectrics having cylindrical shape
SU982479A1 (en) Open resonator
SU1627841A1 (en) Method for measuring mass flow rate of gas and device effecting this method
SU1183876A1 (en) Resonance cell of induction-type epr spectometer
SU710083A1 (en) Microwave device electrodynamic system
RU2014674C1 (en) S h f filter
SU1354289A1 (en) Resonance element
SU1290440A1 (en) Superhigh-frequency filter