SU1036155A1 - Устройство разбраковки изделий радиоэлектроники по инфракрасному излучению - Google Patents
Устройство разбраковки изделий радиоэлектроники по инфракрасному излучению Download PDFInfo
- Publication number
- SU1036155A1 SU1036155A1 SU813271422A SU3271422A SU1036155A1 SU 1036155 A1 SU1036155 A1 SU 1036155A1 SU 813271422 A SU813271422 A SU 813271422A SU 3271422 A SU3271422 A SU 3271422A SU 1036155 A1 SU1036155 A1 SU 1036155A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pyrometer
- input
- output
- unit
- image analyzer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
УСТРОЙСТВО РАЗБРАКОВКИ ИЗДЕЛИЙ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ ПО ИНФРА КРАСНШУ ИЗЛУЧЕНИЮ, содержащее пирометр , соединен1а 1Й с входом анализатора инфракрасного изображени . и блок перемещени , соединенный с первьм выходом блока программного управлени перемещением, второй.выход которого подключен к пирометру, отличающеес тем, что с целью -повыбени производатепьности н точности разбраковки, оно дополнительно соде1хкит блок идентификации и определени координат контролируемых элементов в видимой области спектра, вход которого оптически св зан с пирометром, а выходы соединены через блсж пам ти с анализатором инфракрасного изображени и блоксж программного управлени 5 перемещением, третий выкод которого соединен с входом блока пам ти.
Description
СС Э)
i
ел
11
Изобретение относитс к области «еразрушающего контрол изделий радиоэлектроники по собственному инфракрасному (ИК) излучению, и может быть использовано, в частности, дл автоматической разбраковки потенциально ненадежных микросборок, гибридных интегральных схем (ИС), НЧи СВЧ-транзисторов средней и повьш1енной мощности, когда тепловые параметры вл ютс критери ми качества контролируемых изделий.
Известно устройство, реализующее способ обнаружени дефектов по инфракрасному излучению (ИК-излучению) содержащее сканирующий пирометр, анализатор ИК-изображени , программное устройство управлени сканированием , задатчик режимов испытуемого издели , в котором осуществл етс измерение температуры всей поверхности контролируемого издели , наход D eгoc в определенном электрическом режиме, путем перемещени самого издели последовательно по определенной жесткой программе.
Недостатком устройства вл етс низка производительность контрол вследствие необходимости измерени и анализа большого объема информации и малых скоростей сканировани . Однако при контроле достаточно измер ть температуру лишь в отдельных характерных участках поверхности издели : в гибридных ИС необходимо измер ть температуру активных элементов и резисторов, в СБЧ-транзисторах распределение температуры поперек разветвленной структуры р-п-перехода и т.д.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс устройство разбраковки изделий радиоэлектроники по ИК-излучению, содержащее пирометр, соединенный с входом анализатора ИК-изображени , и блок перемещени , соединенный с выходом блока программного управлени перемещением , второй выход которого подключен к пирометру.
Недостатками устройства вл ютс необходимость точной установки и ориентации каждого контролируемого издели по маркерам, что вл етс ручной операцией и снижает производительность контрол , кроме того, требуетс значительное врем на получение и занесение зв анализатор Жизоблэажени исходной эталонной ин552
формации, жестко св занной с координатами элементов издели , которую необходимо мен ть при смене типа контролируемого издели .
С целью повышени производительности и точности разбраковки устройство разбраковки изделий по ИК-излучению , содержащее пирометр, соединенный с входом анализатора ИК-изображени , и блок перемещени , соединенный с вьгеодом блока программного управлени перемещением, второй выход которого подключен к пирометру, дополнительно содержит блок идентификации и определени координат контролируемых элементов в видимой области спектра, вход которого оптически св зан с пирометром, а выходы соединены через блок пам ти с анализатором ИК-изображени и блоком программного управлени перемещением, третий выход которого соединен с входом блока пам ти.
На чертеже приведена функциональна схема устройства разбраковки изделий радиоэлектроники по ИК-излучению .
Устройство содержит пирометр 1, выход которого соединен с входом анализатора Ж-изображени 2, а вход с выходом программного блока 3 управлени перемещением, второй выход которого соединен с блоком перемещени 4, а третий - с запоминающим устройством 5. Пирометр оптически св зан с блоком 6 идентификации и определени координат контролируемых элементов в видимой области спектра , выходы которого через запоминающее устройство 5 подключены к программному устройству 3 управлени перемещением и анализатору Ж-изображени 2. Оптическа св зь пирометра 1 с блоком 6 определени координат осуществл етс с помощью разделительного элемента 7, вход щего в состав пирометра 1. В качестве разделительного элемента может быть, например, использована полированна пластинка из просветленного германи , пропускающа поток Ж- излучени в пирометр 1 и отражающа поток в видимой области спектра на блок идентификации и определени координат . В свою очередь, блок идентификации определени координат содержит датчик видеосигнала 8, соединенный с видеоконтрольным устройством 9 и блоком 10 выделени и идентификации элементов, к выходу которого подключен блок 11 измерени координат. Контролируемое изделие, установленное на платформе устройства перемещени 4, находитс в фокальной плоскости датчика видеосигнала 8, фокальна плоскость которого, совпадает с фокальной плоскостью пирометра 1, Поле зрени датчика видеосигнала 8 значительно больше пол зрени пирометра 1 и выбираетс в зависимости от размеров издели . Изображение издели выводитс на экран видеоконтрольного устройства 9. В качестве датчика видеосигнала 8 и видеоконтрольного устройства 9 может быть использована, например, стандартна промьшшенна телевизионна установка с объективом. Устройство работает следующим образом . Отраженное от поверхности кон тролируемого издели , размещенного в поле зрени пирометра 1 и датчика видеосигнала, а затем от разделитель ного элемента 7 видимое излучение поступает на чувствительную площадку датчика видеосигнала 8, например на мшпень видикона, где преобразуетс в видеосигнал, С выхода датчика видеосигнала 8 видеосигнал поступает на видеоконтрольное устройство 9 и блок 10 выделени и идентификации элементов. Выделение элементов и их идентификаци происходит путем анализа видеосигнала с учетом априорных призна ков элементов изделий: окраски, площади , предельных размеров и т.д. В простейших микросборках контролируемые элементы имеют одинаковые размеры , но отличаютс по цвету и дл их вьрелени достаточно одного параметра - цвета и одного устройства - дис криминатора уровн . В более сложных издели х определение типов элементов может осуществл тьс по другим названным признакам.. Информаци о вы деленном элементе саперного выхода блока 10, вл ющегос одним из выходов устройства определени координат контролируемых элементовj- поступает на вход запоминающего устройства 5 и одновременно с второго выхода блока 10 на вход блока 11 измерени координат , так как она вл етс исходной дл измерени координат. Информаци о типе каждого вьщелен ного элемента вместе с его координа1 54 тами, поступающими в запоминающее устройство 5 с второго выхода блока 6, хранитс там до начала контрол следующего издели , если контроль осуществл етс в один прием, или в общем случае до следующей установки издели . После осзгществлени анализа видеоинформации и определени координат всех вьщеленных элементов начинает работать блок 3 программного управлени , который поочередно считьгоает информацию о координатах элементов и перемещает с помощью устройства перемещени 4 контролируемое изделие таким образом, чтобы установить провер емый элемент в центре пол зрени пирометра 1, После этого программное устройство осутцествл ет запуск пирометра и производитс измерение интенсивности ЙКизлучени , данные о котором поступают в анализатор 2, Сюда же по сигналу программного устройства из запоминаищего устройства 5 поступает информаци о типе контролируемого элемента. В анализаторе Ж-изображени 2 измеренное значение потока Ж-излз ени в соответствии с полученной информацией о типе элемента сравниваетс с эталонным значением дл данного типа элемента и, если полученное отклонение превышает допустимые величины, в анализаторе формируетс сигнал о браке, которьй поступает к исполнительному механизму дл смены издели или к оператору. Если полученное отклонение не превышает нормы, анализируетс следующий элемент и так далее до тех пор, пока не будут просмотрены все вьщеленные элементы. Когда размеры контролируемого издели превьш1ают размеры пол изображени пирометра 1, блок перемещени 4 по программе автоматически или оператором перемещает контролируемое изделие на рассто ние, необходимое дл анализа нового пол изображени . Таким образом устройство позвол ет сократить затраты времени на получение и занесение в анализатор ИКизображени исходной эталонной информации , тесно св занной с координатами контролируемых элементов; исключить смену программ при изменении типа издели ; исключить точную установку издели в исходное положение перед контролем; исключить погрешность контрол за счет смещени кон510361556
тролируемых элементов на изделии в изделий по инфракрасному излучению, пределах пол допуска., Кроме того, данное устройство позвоВ результате повьшаетс произво- троль по внешнему виду, что расшир дительность и точность разбраковки с ° функциональные возможности.
л ет одновременно осуществл ть кон
Claims (1)
- УСТРОЙСТВО РАЗБРАКОВКИ ИЗДЕЛИЙ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ ПО ИНФРАКРАСНОМУ ИЗЛУЧЕНИЮ, содержащее пирометр, соединенный с входом анализатора инфракрасного изображения, и блок перемещения, соединенный с первьм выходом блока программного управления перемещением, второй-выход которого подключен к пирометру, отличающееся тем, что* с целью -повышения производительности и точности разбраковки, оно дополнительно содержит блок идентификации и определения координат контролируемых элементов в видимой области спектра, вход которого оптически связан с пирометром, а выходы соединены через блок памяти с анализатором инфракрасного изображения и блоком программного управления перемещением, третий выход которого соединен с входом блока памяти.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813271422A SU1036155A1 (ru) | 1981-04-09 | 1981-04-09 | Устройство разбраковки изделий радиоэлектроники по инфракрасному излучению |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813271422A SU1036155A1 (ru) | 1981-04-09 | 1981-04-09 | Устройство разбраковки изделий радиоэлектроники по инфракрасному излучению |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1036155A1 true SU1036155A1 (ru) | 1987-03-23 |
Family
ID=20951821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813271422A SU1036155A1 (ru) | 1981-04-09 | 1981-04-09 | Устройство разбраковки изделий радиоэлектроники по инфракрасному излучению |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1036155A1 (ru) |
-
1981
- 1981-04-09 SU SU813271422A patent/SU1036155A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР и 346590, кл. G 01 J 5/12. 1970. Иванов Ю.В., Осипов Ю.В. Неразрушающий контроль изделий электронной техники по ИК-излучению. Электронна промышленность, 1975, вып.11 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4951502B2 (ja) | スペクトル分析用測定ヘッドおよびそれのリキャリブレーションのための方法 | |
CN104204777B (zh) | 用于测量结晶硅铸造的单晶晶片的晶体分数的工艺和装置 | |
US5801965A (en) | Method and system for manufacturing semiconductor devices, and method and system for inspecting semiconductor devices | |
US6546308B2 (en) | Method and system for manufacturing semiconductor devices, and method and system for inspecting semiconductor devices | |
US4223346A (en) | Automatic defect detecting inspection apparatus | |
JP4373219B2 (ja) | 製品の空間選択的なオンライン質量または容積測定を実行するための装置および方法 | |
US4463600A (en) | Automatic measurement of areas | |
CN102589705B (zh) | 热成像仪单黑体温控mrtd野外在线自动检测装置及检测方法 | |
KR100715140B1 (ko) | 시정 측정 장치 및 그 방법 | |
KR20140011258A (ko) | 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치 | |
KR102108956B1 (ko) | 인공지능을 활용한 머신비전 모듈형 소프트웨어를 갖는 머신비전 검사장치 및 그 장치의 구동방법, 그리고 컴퓨터 판독가능 기록매체 | |
GB2057124A (en) | Crack development measuring equipment | |
KR20180095972A (ko) | 이중 스캔방식을 지원하는 고속 자동 광학 검사 장치 | |
SU1036155A1 (ru) | Устройство разбраковки изделий радиоэлектроники по инфракрасному излучению | |
KR20190020589A (ko) | 다중 방식의 제품 검사시스템 | |
CN109884078B (zh) | 分层晶片检测 | |
CN116203072A (zh) | 用于焊接缺陷检测的方法和系统 | |
JPS63163150A (ja) | プリント基板検査装置 | |
CN111220621B (zh) | 芯片倾斜表面检测方法 | |
CN109186940B (zh) | 测试精度的监控方法及测试精度的监控装置 | |
Dziarski et al. | Effect of unsharpness on the result of thermovision diagnostics of electronic components | |
KR100460641B1 (ko) | 감응식 플랫패널용 광관련판요소의 검사장치 | |
JPH11326055A (ja) | 色検査と塗装欠陥検査を行う方法 | |
CN105928887A (zh) | 通过高清摄像在线检测产品色值的系统及方法 | |
CN115839918A (zh) | 飞机残冰检测系统校准装置、方法、存储介质及机器人 |